一种键合金丝可靠性评价方法技术

本发明专利技术公开一种键合金丝可靠性评价方法，4组样品，其中1组做键合强度试验，其余3组先温度循环加速寿命试验，再进行键合强度试验，得出3组器件的敏感参数，每组敏感参数均利用退化轨迹模型进行拟合，得出每组器件的退化轨迹模型，然后外推各个器件的伪寿命，各器件的伪寿命利用寿命分布图示法进行分析，从而得到加速应力试验下试验器件的寿命分布函数，利用寿命分布函数计算器件平均寿命，平均寿命代入温度循环应力加速模型得出模型参数，利用模型参数可计算出加速因子，再用寿命分布函数和加速因子，通过加速因子与加速应力条件下的平均寿命，可算出器件正常应力条件下的平均寿命，此数值可直观评价键合金丝的可靠性。

【技术实现步骤摘要】
一种键合金丝可靠性评价方法
本专利技术属于半导体工艺材料可靠性评估
，具体涉及一种键合金丝可靠性评价方法。
技术介绍
现在产品都需要进行可靠性试验，提高产品的可靠性，进行加速寿命试验是评估方法之一。加速寿命试验只对元器件、材料和工艺方法进行，用于确定元器件、材料及生产工艺的寿命。其目的不是暴露缺陷，而是在不改变产品失效机理的前提下，通过提高对产品所施加的应力水平来加速产品性能的退化，收集产品在较高应力条件下性能参数的退化数据，分析得到产品在正常工作应力条件下的可靠性信息(寿命/失效率)。然而目前只有针对半导体集成电路成品的加速寿命评价方法，键合金丝作是半导体集成电路成品中的关键工艺材料，因此设计一种键合金丝的可靠性评价方法，用来判定键金合丝的可靠性是非常有必要的。
技术实现思路
针对现有技术存在的技术问题，本专利技术提供一种键合金丝可靠性评价方法。为了实现上述目的，本专利技术采用如下技术方案：1、一种键合金丝可靠性评价方法，包括以下步骤：1)抽取至少200只合格器件样品，对每只器件进行编本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种键合金丝可靠性评价方法，包括以下步骤：/n1)抽取至少200只合格器件样品，对每只器件进行编号，将抽取的待测器件随机分为4组，每组至少50只器件；/n2)随机抽取1组作为对照组，并对其进行键合强度试验，记录该组键合强度数据；/n3)其余3组器件先进行温度循环加速寿命试验，后进行键合强度试验，得出每组的键合强度数据为该组敏感参数；/n4)将3组器件的敏感参数，均用至少四类退化轨迹模型函数进行拟合，确定拟合程度最高的即为该组器件敏感参数的退化轨迹模型；/n5)根据步骤4)得到的敏感参数退化轨迹模型，结合GJB548B-2005方法2011.1范围内器件的失效阀值，外推得到每个器件的伪寿命；...

【技术特征摘要】
1.一种键合金丝可靠性评价方法，包括以下步骤：
1)抽取至少200只合格器件样品，对每只器件进行编号，将抽取的待测器件随机分为4组，每组至少50只器件；
2)随机抽取1组作为对照组，并对其进行键合强度试验，记录该组键合强度数据；
3)其余3组器件先进行温度循环加速寿命试验，后进行键合强度试验，得出每组的键合强度数据为该组敏感参数；
4)将3组器件的敏感参数，均用至少四类退化轨迹模型函数进行拟合，确定拟合程度最高的即为该组器件敏感参数的退化轨迹模型；
5)根据步骤4)得到的敏感参数退化轨迹模型，结合GJB548B-2005方法2011.1范围内器件的失效阀值，外推得到每个器件的伪寿命；
6)将步骤5)的各器件的伪寿命利用寿命分布图示法进行分析，确定器件敏感参数伪寿命的统计分布类型，然后采用极大似然法对寿命分布函数的参数进行拟合，从而得到加速应力试验下试验器件的寿命分布函数；
7)根据步骤6)得到的寿命分布函数，计算试验器件在加速应力试验下的平均寿命；
8)根据步骤7)得到的平均寿命计算温度循环应力加速模型的模型参数和加速因子；
9)通过步骤8)得出的加速因子与步骤7)得出的加速应力条件下的平均寿命，计算出器件正常温度循环应力条件时的平均寿命，通过此平均寿命值评价键合金丝的可靠性。


2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所有键合强度试验均依据GJB548B-2005方法2011.1进行，试验环境温度为25±3℃，湿度为45％RH～80％RH。


3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：步骤3)中的温度循环加速寿命试验，温度循环应力为-55℃～125℃，总...

【专利技术属性】
技术研发人员：谭骁洪，秦国林，李晓红，罗俊，陈湘渝，燕子鹏，杨迁，杨勇，邢宗锋，吴兆希，林震，朱朝轩，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第二十四研究所，
类型：发明
国别省市：重庆;50