【技术实现步骤摘要】
聚氨酯树脂组合物和研磨垫
本专利技术涉及聚氨酯树脂组合物和研磨垫。
技术介绍
在液晶玻璃、硬盘玻璃、硅晶片、半导体等要求高度表面平坦性的领域,使用了聚氨酯树脂组合物的研磨垫被广泛应用。其中,在最终的精加工研磨中,使用软质的多孔体,该软质的多孔体是通过使利用DMF(二甲基甲酰胺)等溶剂稀释了的聚氨酯树脂在水中凝固的湿式成膜法加工成的(例如,参照专利文献1。)。作为基于该多孔体的研磨垫所需的特性,可举出例如,具备用于保持加工体表面的平坦性的高体积弹性模量(=低压缩率)、作为抑制表面的划痕的材料的柔软性以及承担浆料(研磨液)的保持和稳定的研磨的多孔单元的细微度和均匀性(湿式成膜性)等。然而,上述的低压缩率性、柔软性以及湿式成膜性是相反的物性,例如,可举出在重视平坦性而尝试了研磨垫的低压缩率化的情况下,聚氨酯树脂硬质化,划痕恶化的情况。另外,在重视划痕而将聚氨酯树脂软质化的情况下,在水中的凝固变得不能快速进行,由此失去多孔单元的均匀性,引起研磨的不稳定化。如此,难以以高水平兼顾上述全部的物性。现有技术 ...
【技术保护点】
1.一种聚氨酯树脂组合物,其特征在于,所述聚氨酯树脂组合物含有聚氨酯树脂X,所述聚氨酯树脂X以多元醇a、多异氰酸酯b和扩链剂c作为原料,/n基于脉冲NMR测定法测得的聚氨酯树脂X的非晶相的存在比率为20%~50%的范围,并且晶相的存在比率为20%~50%的范围。/n
【技术特征摘要】
20181220 JP 2018-2383361.一种聚氨酯树脂组合物,其特征在于,所述聚氨酯树脂组合物含有聚氨酯树脂X,所述聚氨酯树脂X以多元醇a、多异氰酸酯b和扩链剂c作为原料,
基于脉冲NMR测定法测得的聚氨酯树脂X的非晶相的存在比率为20%~50%的范围,并且晶相的存在比率为20%~50%的范围。
2.根据权利要求1所述的聚氨酯树脂组合...
【专利技术属性】
技术研发人员:大仓雄介,前田亮,
申请(专利权)人:DIC株式会社,
类型:发明
国别省市:日本;JP
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