液体喷射头以及液体喷射装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种能够降低振动板的裂纹等的产生的液体喷射头以及液体喷射装置。液体喷射头具备：振动板，其构成对液体进行收纳的压力室的壁面的一部分；压电元件，其使振动板振动，振动板由多个层构成，在将振动板的厚度设为D，并将振动板的中立轴与由多个层中的最大张力差的相邻的两个层形成的界面之间的距离设为d时，满足d/D≤0.25的关系。

Liquid jet head and liquid injection device

【技术实现步骤摘要】
液体喷射头以及液体喷射装置
本专利技术涉及一种液体喷射头以及液体喷射装置。
技术介绍
已知有一种如下的液体喷射头，所述液体喷射头通过压电元件而使构成压力室的壁面的一部分的振动板进行振动，从而从喷嘴喷射压力室内的液体。例如，在专利文献1所记载的液体喷射头中，弹性膜、绝缘膜、下部电极、压电体层以及上部电极按照该顺序而被层叠。下部电极、压电体层以及上部电极构成压电元件。弹性膜、绝缘膜以及下部电极作为振动板而发挥作用。弹性膜为，由二氧化硅构成的压缩膜。绝缘膜为，由二氧化锆构成的拉伸膜。下部电极为，由铂构成的拉伸膜。在现有的液滴喷射头中，存在如下的课题，即，在存在因构成振动板的多个层的界面而产生的形变的情况下，通过挠曲变形从而易于在振动板的没有压电体层的部分上产生裂纹。尤其是，在专利文献1这样的具有压缩膜和拉伸膜的振动板的情况下，易于发生裂纹等的损伤。专利文献1：日本特开2004-034417号公报
技术实现思路
本专利技术所涉及的液体喷射头的一个方式具备：振动板，其构成对液体进行收纳的压力室的壁面的一部分；压电元件，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种液体喷射头，具备：/n振动板，其构成对液体进行收纳的压力室的壁面的一部分；/n压电元件，其使所述振动板振动，/n所述压电元件以仅覆盖面向所述压力室的所述振动板的一部分的方式被设置，/n所述振动板由多个层构成，/n在将所述振动板的厚度设为D，并将所述振动板的中立轴与由所述多个层中的最大张力差的相邻的两个层形成的界面之间的距离设为d时，/n满足d/D≤0.25的关系。/n

【技术特征摘要】
20181220 JP 2018-2381021.一种液体喷射头，具备：
振动板，其构成对液体进行收纳的压力室的壁面的一部分；
压电元件，其使所述振动板振动，
所述压电元件以仅覆盖面向所述压力室的所述振动板的一部分的方式被设置，
所述振动板由多个层构成，
在将所述振动板的厚度设为D，并将所述振动板的中立轴与由所述多个层中的最大张力差的相邻的两个层形成的界面之间的距离设为d时，
满足d/D≤0.25的关系。


2.如权利要求1所述的液体喷射头，其中，
在所述相邻的两个层中，一个层具有压缩应力，另一个层具有拉伸应力。


3.如权利要求2所述的液体喷射头，其中，
所述另一个层与所述一个层中的所述压电元件侧的面相接合。


4.如权利要求2或3所述的液体喷射头，其中，
所述一个层的结构材料为二氧化硅。


5.如权利要求2所述的液体喷射头，其中，
所述另一个层的结构材料为二氧化锆。


6.如权利要求1所述的液体喷射头，其中，
所述压电元件具备：
第一电极，其被配置在所述振动板中的与所述压力室相反一侧的面上；
压电体层，其被配置在所述第一电极中的与所述压力室相反一侧的面上；
第二电极，其被配置在所述压电体层中的与所述压力室相反一侧的面上，
所述振动板具有在俯视观察时在与所述压力室的外缘相比靠内侧处不与所述压电体层重叠的区域。


7.如权利要求1所述的液体喷射头，其中，
所述压电元件在第一方向上排列有多个，并且呈沿着所述振动板的厚度方向以及与所述第一方向垂直的第二方向的长条形状。


8.如权利要求1所述的液体喷射头，其中，
在将所述振动板的宽度设为W时，
D/W在0.01以上且0.05以下的范围内。


9.如权利要求1所述的液体喷射头，其中，
所述压电元件具...

【专利技术属性】
技术研发人员：御子柴匡矩，矢崎士郎，新保俊尚，鹰合仁司，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP