主动湿式洗涤过滤系统技术方案

一种用于净化气流的主动湿式洗涤过滤系统，其包括包含以下一或多个的组件：a)涡流设备，所述涡流设备将含污染物气流诱导到螺旋流中；b)初始洗涤液喷洒部分，所述初始洗涤液喷洒部分被配置成将洗涤液喷雾喷射到所述含污染物气流中；c)吸收结构；d)冷凝器；以及e)第一洗涤液净化系统和第二洗涤液净化系统，所述第一洗涤液净化系统和所述第二洗涤液净化系统可以彼此独立地接合或分离。在一些实施例中，工作场所包括清洁室或一或多个半导体加工工具，所述半导体加工工具可以包含光刻工具或光刻工具集群。在一些实施例中，所述主动湿式洗涤过滤系统可用于清洁和再循环空气或用于清洁室或半导体加工工具中的其它工艺气体。

【技术实现步骤摘要】
主动湿式洗涤过滤系统
本公开涉及主动湿式洗涤过滤系统，所述主动湿式洗涤过滤系统可用于清洁和再循环空气或用于清洁室或半导体加工工具的其它工艺气体。
技术介绍
半导体加工工具中的空气质量是半导体制造行业的主要关注点。光刻工具尤其需要具有适当温度、湿度和清洁度的空气(相对于颗粒和分子污染物而言)。传统的空气湿度和温度控制方法使用例如可以与气流交换热量并将水蒸气去除或添加到气流中的空调装置。从气流中去除污染物，尤其是去除分子污染物传统上是用另一种装置进行的。例如，传统方法通常涉及使用活性炭过滤器和/或吸附和化学吸附介质的组合来控制污染，并结合温度和/或湿度控制空气处理装置以管理所递送的空气的温度和湿度。传统的污染物去除方法采用过滤器或一系列过滤器来去除微粒和分子污染物。微粒通常被认为是尺寸大于约0.1微米的污染物。分子污染物通常被认为是形成沉积物(例如，有机物)和/或抑制加工性能(例如，碱)的那些污染物。然而，过滤器存在几个问题。过滤器增加了压力阻力，从而增加了用于加工工具的空气处理系统中的压降。而且过滤器的使用寿命有限本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于净化气流的设备，其包括：/na)气流输入，所述气流输入用于接收含污染物气流；/nb)涡流设备，所述涡流设备从所述气流输入接收所述含污染物气流并且被配置成将所述含污染物气流诱导到螺旋流中；/nc)吸收结构，所述吸收结构配备有用于将洗涤液的喷洒施加到所述吸收结构的洗涤液施加系统，其中所述含污染物气流由所述涡流设备引导以螺旋流的方式冲击所述吸收结构并且穿过所述吸收结构，从而接触所述洗涤液，所述洗涤液至少部分地从所述气流中去除污染物以形成至少部分净化的气流；以及/nd)气流输出，所述气流输出接收所述至少部分净化的气流并且被配置成递送所述至少部分净化的气流。/n

【技术特征摘要】
20181220 US 62/782,9461.一种用于净化气流的设备，其包括：
a)气流输入，所述气流输入用于接收含污染物气流；
b)涡流设备，所述涡流设备从所述气流输入接收所述含污染物气流并且被配置成将所述含污染物气流诱导到螺旋流中；
c)吸收结构，所述吸收结构配备有用于将洗涤液的喷洒施加到所述吸收结构的洗涤液施加系统，其中所述含污染物气流由所述涡流设备引导以螺旋流的方式冲击所述吸收结构并且穿过所述吸收结构，从而接触所述洗涤液，所述洗涤液至少部分地从所述气流中去除污染物以形成至少部分净化的气流；以及
d)气流输出，所述气流输出接收所述至少部分净化的气流并且被配置成递送所述至少部分净化的气流。


2.根据权利要求1所述的设备，其中所述涡流设备是包括一或多个固定叶片的被动涡流设备。


3.根据权利要求1所述的设备，其中所述涡流设备是包括一或多个活动叶片的主动涡流设备。


4.根据权利要求1所述的设备，其中所述螺旋流围绕平行于所述含污染物气流的净运动的轴线。


5.根据权利要求1所述的设备，其中所述含污染物气流从工作场所抽取，并且其中所述至少部分净化的气流回流到所述工作场所。


6.根据权利要求1所述的设备，其进一步包括：
e)第一洗涤液净化系统，所述第一洗涤液净化系统可操作地连接以接收离开所述吸收结构的洗涤液，并且被配置成净化所述洗涤液并将所述洗涤液回流到所述洗涤液施加系统以供重复使用；以及
f)第二洗涤液净化系统，所述第二洗涤液净化系统可操作地连接以接收离开所述吸收结构的洗涤液，并且被配置成净化所述洗涤液并将所述洗涤液回流到所述洗涤液施加系统以供重复使用，
其中所述第一洗涤液净化系统和所述第二洗涤液净化系统可以彼此独立地接合或分离。


7.根据权利要求1或6所述的设备，其进一步包括：
g)初始洗涤液喷洒部分，所述初始洗涤液喷洒部分位于所述涡流设备与所述吸收结构之间，使得由所述涡流设备诱导到螺旋流中的含污染物气流在进入所述吸收结构之前穿过所述初始洗涤液喷洒部分，其中所述初始洗涤液喷洒部分被配置成将洗涤液喷雾喷射到所述含污染物气流中。


8.根据权利要求1或6所述的设备，其进一步包括：
h)冷凝器；所述冷凝器被配置成使得离开所述气流输出的所述至少部分净化的气流接触所述冷凝器，所述冷凝器至少部分地从所述至少部分净化的气流中去除溶解的或夹杂的洗涤液。


9.一种用于净化气流的设备，其包括：
a)气流输入，所述气流输入用于接收含污染物气流；
b)吸收结构，所述吸收结构配备有用于将洗涤液的喷洒施加到所述吸收结构的洗涤液施加系统，其中所述含污染物气流通过所述吸收结构，从而接触所述洗涤液，所述洗涤液至少部分地从所述气流中去除污染物以形成至少部分净化的气流；以及
c)气流输出，所述气流输出接收所述至少部分净化的气流并且被配置成递送所述至少部分净化的气流；
d)第一洗涤液净化系统，所述第一洗涤液净化系统可操作地连接以接收离开所述吸收结构的洗涤液、净化所述洗涤液并将所述洗涤液回流到所述洗涤液施加系统以供重复使用；
e)第二洗涤液净化系统，所述第二洗涤液净化系统可操作地连接以接收离开所述吸收结构的洗涤液、净化所述洗涤液并将所述洗涤液回流到所述洗涤液施加系统以供重复使用；
其中所述第一洗涤液净化系统和所述第二洗涤液净化系统可以彼此独立地接合或分离。


10.一种用于净化气流的设备，其包括：
a)气流输入，所述气流输入用于...

【专利技术属性】
技术研发人员：T·贸尔顿，J·布里托，T·勒布朗，J·C·戈德罗，
申请(专利权)人：恩特格里斯公司，
类型：发明
国别省市：美国;US