一种薄膜微压力传感器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种薄膜微压力传感器，属于压力传感器技术领域。所述薄膜微压力传感器包括相对设置的至少一对膜片，两个膜片的相对面上分别设有QTC材料和探测电极；其中一个膜片可形变、另一个膜片不可形变；可形变的膜片连接有力传导单元，所述力传导单元包括容腔及填充在其中的灌充液；所述力传导单元用于接受外力按压，并将外力传导至可形变的膜片，以使可形变的膜片以连接点为中心产生形变，进而使两个所述膜片相互贴紧或远离。本实用新型专利技术利用液体传导各向同性的属性，即便手指作用在传感器膜片的不同位置，或者手指以不同姿势作用在传感器膜片上，都能在灌充液的作用下实现均匀传导的效果，确保测量的准确性和一致性。

A thin film micro pressure sensor

【技术实现步骤摘要】
一种薄膜微压力传感器
本技术涉及压力传感器
，尤其涉及一种薄膜微压力传感器。
技术介绍
压力传感器(PressureTransducer)是能感受压力信号，并能按照一定的规律将压力信号转换成可用的输出的电信号的器件或装置。现在市面上已经出现薄膜压力传感器，即在两片膜的相对面之间设置对压力敏感的材料，通过挤压膜片，改变两片膜之间的压力和接触面积，从而实现对压力的测量。然而，现有的薄膜压力传感器在使用时存在一致性差的问题。手指在不同的点位进行触摸时，由于手指相对膜片的姿势不同，即便是在相同压力的情况下也可能测得不同的压力值，导致测量失准；人手直接传递压力，存在不均匀的问题。有鉴于此，急需一种新的技术方案来解决上述技术问题。
技术实现思路
本技术的目的在于解决上述现有技术中存在的问题，提供一种薄膜微压力传感器。为了实现上述目的，本技术采用如下技术方案：一种薄膜微压力传感器，其包括相对设置的至少一对膜片，两个所述膜片的相对面上分别设有QTC材料和探测电极；其中一个所述膜片设置为可形变的，另一个膜片设本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种薄膜微压力传感器，其特征在于，包括相对设置的至少一对膜片，两个所述膜片的相对面上分别设有QTC材料和探测电极；其中一个所述膜片设置为可形变的，另一个膜片设置为不可形变的；所述可形变的膜片还连接有力传导单元，所述力传导单元包括一封闭的容腔及填充在其中的灌充液；/n所述力传导单元用于接受外力按压，并将外力传导至所述可形变的膜片，以使所述可形变的膜片以连接点为中心产生形变，进而使两个所述膜片相互贴紧或远离。/n

【技术特征摘要】
1.一种薄膜微压力传感器，其特征在于，包括相对设置的至少一对膜片，两个所述膜片的相对面上分别设有QTC材料和探测电极；其中一个所述膜片设置为可形变的，另一个膜片设置为不可形变的；所述可形变的膜片还连接有力传导单元，所述力传导单元包括一封闭的容腔及填充在其中的灌充液；
所述力传导单元用于接受外力按压，并将外力传导至所述可形变的膜片，以使所述可形变的膜片以连接点为中心产生形变，进而使两个所述膜片相互贴紧或远离。


2.如权利要求1所述的薄膜微压力传感器，其特征在于，还包括传感器本体，所述传感器本体的至少一侧设有内腔、外腔及连通二者的通道；
所述膜片设置在所述内腔中；所述力传导单元设置在所述内腔、所述通道及所述外腔三者形成的连通腔体中。


3.如权利要求2所述的薄膜微压力传感器，其特征在于，所述不可形变的膜片贴附在所述内腔的底壁上，所述底壁为刚性壁；
所述可形变的膜片悬空设置在所述内腔中，且所述可形变的膜片的边缘与所述内腔的内侧壁密封连接；
所述外腔的开口处设有一弹性膜，所述弹性膜的边缘与所述外腔的内周壁密封连接；
所述弹性膜与所述可形变的膜片之间的封闭腔体形成所述容腔。


4.如权利要求2所述的薄膜微压力传感器，其特征在于，所述可形变的膜片贴附在所述内腔的底壁上，所述底壁...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙坤，徐锋，李泽峰，
申请(专利权)人：湃瑞电子科技苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32