【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术是有关一种,尤指一种可提供半导体、生化材料、食品加工、原材料等工业制程所需低温或中温或高温的不同温度的恒温工作流体的冷冻系统及控制该冷冻系统的方法。
技术介绍
一般制程所需的冷冻设备,通常采用冷媒压缩式冷冻机,搭配电热装置自动补偿,达到加热或冷却的双重功能,并使制程用的工作流体,例如冷却剂、不冻液、卤水或制程用液态混合物,维持准确的设定温度。公知恒温冷冻系统2如图8所示,包含具有输入管路27及输出管路28的槽体20;串联于所述输出管路28的帮浦26;置于所述槽体20内,提供冷源的板式热交换器21;置于所述槽体20内,提供热源的加热器22;串接于所述热交换器21,由冷凝器23、膨胀阀24及压缩机25所构成提供冷媒回路的冷冻机。所述输入管路27是提供工作流体输入至槽体20内部之用,所述输出管路28则输出制程所需准确设定温度的工作流体。公知恒温冷冻系统2因采用一组冷源进行冷却功能及一组热源进行温度回授补偿加热,由于提供冷源的板式热交换器21与提供热源的加热器22是置放在同一槽体20内,这种方式对于小负载类型的制程或恒温控制,还不致于出现压缩机25运转异常的现 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
【专利技术属性】
技术研发人员:张文瑞,刘德勇,张展祥,
申请(专利权)人:财团法人工业技术研究院,
类型:发明
国别省市:
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