【技术实现步骤摘要】
一种超纯水系统的节水系统
本技术涉及一种超纯水系统的节水系统，属于净化水设备
技术介绍
超纯水广泛用于电子、医药、生物等行业。超纯水系统是指系统通过自来水制备超纯水供应工艺机台使用的完整的生产系统。一般超纯水系统工艺多是经多重过滤、离子交换、脱气膜、多级反渗透膜、紫外线、超滤、电脱盐、电渗析等步骤生产超纯水。目前超纯水制备过程中，系统产生的反洗废水直接排放至废水站内，由相关废水系统进行处理后直接排放；在线仪表、设备初运行等排水直接排至排水沟；超纯水系统中部分区段水质异常排水直接排至废水站进行处理；反渗透膜(RO)结垢清洗水采用RO产水，未合理利用反渗透浓水(ROR)。由于工业级超纯水系统不间断运行，耗水量巨大，在保证水质前提下，通过合理优化节水设计，对于保障系统安全运行、减少废水产生率及节约水资源具有重要的意义。
技术实现思路
针对现有技术的上述缺陷，本技术提供一种超纯水系统的节水系统，通过节水系统的设计，可以降低纯水制备过程中废水产生率，提高水源的复用率，节约水资源。为实现上述目的，本技术...
【技术保护点】
1.一种超纯水系统的节水系统，其特征在于，其是由超纯水系统、反洗废水净化系统、反渗透浓水池(7)和一次纯水罐(8)组成；/n超纯水系统包括顺序连接的自来水原水池(101)、多介质过滤器(102)、第一中间水池(201)、活性炭过滤器(103)、去阳离子塔(202)、脱碳塔(203)、去阴离子塔(204)、第二中间水池(301)、第一紫外线仪(302)、保安过滤器(303)、反渗透膜(304)、第三中间水池(401)、第二紫外线仪(402)、混床树脂塔(403)、后置过滤器(404)、第一膜脱气装置(405)、超纯水罐(501)、换热器(502)、第三紫外线仪(503)、抛光...
【技术特征摘要】
1.一种超纯水系统的节水系统，其特征在于，其是由超纯水系统、反洗废水净化系统、反渗透浓水池(7)和一次纯水罐(8)组成；
超纯水系统包括顺序连接的自来水原水池(101)、多介质过滤器(102)、第一中间水池(201)、活性炭过滤器(103)、去阳离子塔(202)、脱碳塔(203)、去阴离子塔(204)、第二中间水池(301)、第一紫外线仪(302)、保安过滤器(303)、反渗透膜(304)、第三中间水池(401)、第二紫外线仪(402)、混床树脂塔(403)、后置过滤器(404)、第一膜脱气装置(405)、超纯水罐(501)、换热器(502)、第三紫外线仪(503)、抛光树脂塔(504)、第二膜脱气装置(505)、超滤装置(506)和超纯水使用机台(6)；
多介质过滤器(102)和活性炭过滤器(103)的反洗水出水口分别连接反洗废水净化系统，反洗废水净化系统的出水口连接反渗透浓水池(7)和自来水原水池(101)；
活性炭过滤器(103)、去阴离子塔(204)和混床树脂塔(403)的末道冲洗水出水口分别连接第一中间水池(201)，抛光树脂塔(504)的末道冲洗水出水口连接第一中间水池(201)或第二中间水池(301)；
反渗透膜(304)的反渗透浓水出水口连接反渗透浓水池(7)，反渗透浓水池(7)的出水口分别连接多介质过滤器(102)和活性炭过滤器(103)的反洗水入水口，去阳离子塔(202)和去阴离子塔(204)的再生水入水口，和第一中间水池(201)；
超滤装置(506)的超滤浓水出水口连接一次纯水罐(8)入水口，一次纯水罐(8)的出水口分别连接新风机组(801)和工艺循环冷却水系统(802)的补水入水口；
反渗透膜(304)的清洗水出水口连接清洗罐(9)，清洗罐(9)的出水口连接反渗透膜(304)的清洗水入水口。
2.如权利要求1所述的超纯水系统的节水系统，其特征在于，所述反洗废水净化系统由顺序连接的反洗废水收集池(104)、PH调节池(105)、沉淀池(106)和多介质过滤器(108)组成。
3.如权利要求1或2所述的超纯水系统的节水系统，其特征在于，所述节水系统还包括第一收集罐(110)、第二收...
【专利技术属性】
技术研发人员：姚成才，刘其杰，
申请(专利权)人：世源科技工程有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11
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