【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】等离子体用电源装置、等离子体装置及等离子体用电源装置的控制方法
本说明书涉及向一对电极施加交流电压的等离子体用电源装置、等离子体装置及等离子体用电源装置的控制方法。
技术介绍
已知通过在原料气体中放电来产生等离子体的等离子体装置。等离子体装置是通过向分离的一对电极施加由等离子体用电源装置生成的交流电压来对气体进行等离子体化的装置。等离子体装置广泛应用于固体材料的表面加工、清洗、粘接等工业用、杀菌、空气净化等环境保护用、医疗用等。开发的最初，等离子体装置使用真空泵将原料气体设为低气压(负压)，使放电稳定化来实现等离子体的品质维持。近年来，使用大气压的原料气体的大气压等离子体装置被实际应用，以使获得高的等离子体密度。这种等离子体装置的一技术例在专利文献1中公开。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2012-174736号公报专利文献2：日本特开2008-293925号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题但是，如上述那样，等离子体装置为了在各种用途...
【技术保护点】
1.一种等离子体用电源装置，具有：/n交流电源，生成经由无屏蔽的电源线束向产生等离子体的一对电极施加的预定频率的交流电压；及/n控制部，以所述电源线束越长则频率越低的方式设定所述交流电源的所述预定频率。/n
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种等离子体用电源装置，具有：
交流电源，生成经由无屏蔽的电源线束向产生等离子体的一对电极施加的预定频率的交流电压；及
控制部，以所述电源线束越长则频率越低的方式设定所述交流电源的所述预定频率。
2.根据权利要求1所述的等离子体用电源装置，其中，
所述电源线束为了使布线长变化而一部分乃至全部能够更换且具有挠性，并且包括作为一对芯的导体。
3.根据权利要求1或2所述的等离子体用电源装置，其中，
所述控制部将所述预定频率控制在9kHz以下的范围。
4.根据权利要求1～3中任一项所述的等离子体用电源装置，其中，
所述电源线束越长，则所述控制部使电压波形的上升越快。
5.根据权利要求1～4中任一项所述的等离子体用电源装置，其中，
所述电源线束越长，则所述控...
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