一种基于DMD数字光刻引擎的二维位移平台制造技术

本实用新型专利技术涉及一种基于DMD数字光刻引擎的二维位移平台，包括旋转位移机构，其安装在X向滑块工作台上，包括基座、旋转平台和工作台，基座上固定连接有转盘，转盘下表面通过联轴器与电机的轴连接，转盘上表面固定有齿轮柱，旋转平台底部固定连接有齿形槽，齿形槽与齿轮柱啮合，旋转平台上表面开设有半球形凹槽，半球形凹槽内有半球体，半球体和半球形凹槽的内表面之间有弹性装置，半球体的圆形平面与工作台固定连接；旋转平台上连接有螺纹调节器，螺纹调节器的端部抵靠在工作台上。实现了工作台高度和角度可调节，精度更高，有效的提高工作台的抗击能力。

A two-dimensional displacement platform based on DMD digital lithography engine

【技术实现步骤摘要】
一种基于DMD数字光刻引擎的二维位移平台
本技术涉及位移台设备
，特别涉及一种基于DMD数字光刻引擎的二维位移平台。
技术介绍
二维位移平台是一种广泛应用于DMD数字光刻机的结构，传统的位移台为二维位移平台可以沿X、Y方向进行移动，通过位移感应器对光刻引擎的感应来调节控制工作台移动，工作台水平位置固定，高度和角度不可调节，有时会存在偏差，如调整不及时，影响工作效率，亟需一种新型的基于DMD数字光刻引擎的高精度二维位移平台来解决以上存在的问题。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种基于DMD数字光刻引擎的高精度二维位移平台，实现了工作台高度和角度可调节，精度更高，有效的提高工作台的抗击能力。本技术的目的通过如下技术方案实现：一种基于DMD数字光刻引擎的二维位移平台，包括Y向位移台1、X向位移台2和旋转位移机构3，所述Y向位移台1的Y向位移台侧罩4上安装有Y向滑块工作台6，Y向位移台1的第一液压机构5的活塞杆与Y向滑块工作台6铰接，Y向滑块工作台6的顶部安装有法兰盘7；所述X向位移台2安装在法兰盘7的顶部，且X本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于DMD数字光刻引擎的二维位移平台，包括Y向位移台(1)和X向位移台(2)，其特征在于：还包括旋转位移机构(3)，所述Y向位移台(1)的Y向位移台侧罩(4)上安装有Y向滑块工作台(6)，Y向位移台(1)的第一液压机构(5)的活塞杆与Y向滑块工作台(6)铰接，Y向滑块工作台(6)的顶部安装有法兰盘(7)；所述X向位移台(2)安装在法兰盘(7)的顶部，且X向位移台(2)的一侧安装有X向位移台侧罩(8)，所述X向位移台(2)的另一侧安装有第二液压机构(9)，第二液压机构(9)的活塞杆X向滑块工作台(10)铰接，X向位移台(2)和Y向位移台(1)上均设置有滑动导轨(11)，所述滑动导轨(11...

【技术特征摘要】
1.一种基于DMD数字光刻引擎的二维位移平台，包括Y向位移台(1)和X向位移台(2)，其特征在于：还包括旋转位移机构(3)，所述Y向位移台(1)的Y向位移台侧罩(4)上安装有Y向滑块工作台(6)，Y向位移台(1)的第一液压机构(5)的活塞杆与Y向滑块工作台(6)铰接，Y向滑块工作台(6)的顶部安装有法兰盘(7)；所述X向位移台(2)安装在法兰盘(7)的顶部，且X向位移台(2)的一侧安装有X向位移台侧罩(8)，所述X向位移台(2)的另一侧安装有第二液压机构(9)，第二液压机构(9)的活塞杆X向滑块工作台(10)铰接，X向位移台(2)和Y向位移台(1)上均设置有滑动导轨(11)，所述滑动导轨(11)在Y向位移台(1)上为水平纵向，在X向位移台(2)上设置为水平横向，所述X向滑块工作台(10)和Y向滑块工作台(6)的内部均设置有运动传感器，所述旋转位移机构(3)安装在X向滑块工作台(10)上，旋转位移机构(3)包括基座(14)、旋转平台(15)和工作台(16)，所述基座(14)上固定连接有转盘(17)，转盘(17)下表面通过联轴器与电机(18)的轴连接，转盘(17)上表面固定有齿轮柱(19)，所述旋转平台(15)底部固定连接有齿形槽(20)，所述齿形槽(20)与齿轮柱(19)啮合，所述旋转平台(15)上表面开设有半球形凹槽(21)，所述半球形凹槽(21)内有半球体(23)，半球体(23)和半球形凹槽(21)的内表面之间有弹性装置(22)，半球体(23)的圆形平面与工作台(16)固定连接；所述旋转平台(15)上连接有螺纹调节器(24)，螺纹调节器(24)的上端部抵靠在工作台(16)上。


2.如权利要求1所述的一种基于DMD数字...

【专利技术属性】
技术研发人员：卢振武，孙强，许文斌，蔺春波，刘建卓，许家林，王鹤，徐佳，
申请(专利权)人：长春长光中天光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：吉林;22