清洗设备的配置生成方法及清洗设备的配置生成系统技术方案

本发明专利技术提供一种清洗设备的配置生成方法及清洗设备的配置生成系统，该方法包括：获取用户端输入的行业类别、槽类别以及槽总个数；根据所述行业类别，确定一特定行业；根据所述行业类别、槽类型以及槽总个数，确定出与所述特定行业相关的一槽类型组合；根据所述槽类型组合，确定出与所述槽类型组合相对应的至少一种槽名称；根据所述槽名称，确定出一槽结构文件名；获取用户端输入的与所述槽名称及所述槽结构文件名相对应的多个参数信息；基于所述多个参数信息，生成工艺配置文件。通过本发明专利技术提高了清洗设备配置的通用性。

Configuration generation method of cleaning equipment and configuration generation system of cleaning equipment

【技术实现步骤摘要】
清洗设备的配置生成方法及清洗设备的配置生成系统
本专利技术涉及半导体制造领域，具体地，涉及一种清洗设备的配置方法及清洗设备的配置生成系统。
技术介绍
目前，在太阳能光伏行业多晶硅电池片去损伤清洗、半导体制造行业中每道工艺之后的晶圆表面的颗粒清洗、光电行业LED(LightEmittingDiode，发光二极管)芯片清洗都需要用槽式清洗设备。每个行业的槽结构种类多，不同的槽式清洗设备由于组成的化学液成分不同，使用的槽结构的种类也不相同。进一步，由于组成槽式清洗设备的槽结构的种类或数量不相同，使槽结构之间的机械手个数也不相同，而针对不同的行业的槽式清洗设备，现有技术中需要软件工程师手动对不同槽式清洗设备的不同软件配置特定的配置文件，因此，成本较高，适用性差。
技术实现思路
本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种清洗设备的配置生成方法及清洗设备的配置生成系统，以提高配置效率以及用户体验。为实现本专利技术的目的而提供一种清洗设备的配置生成方法，所述方法包括：获取用户端输入的行业类别、槽类型以及槽总个数；根据所述行业类型，确定出一特定行业；根据所述行业类别、槽类型以及槽总个数，确定出与所述特定行业相关的一槽类型组合；根据所述槽类型组合，确定出与所述槽类型组合相对应的至少一种槽名称；根据所述槽名称，确定出一槽结构文件名；获取用户端输入的与所述槽名称及所述槽结构文件名相对应的多个参数信息；基于所述多个参数信息，生成工艺配置文件。优选地，所述行业类别包括：太阳能光伏行业、集成电路装备和光电行业。优选地，根据所述行业类别、槽类型以及槽总个数，确定出与所述特定行业相关的一槽类型组合，具体包括：根据用户端输入的所述行业类别、槽类型以及槽总个数，确定一槽类型组合；判断所述槽类型组合是否与数据库中的槽类型组合表中的槽类型组合相匹配；若判断结果为匹配，则确定出特定行业槽类型组合对应的文件名；若判断结果为不匹配，则将该新的槽类型组合添加至槽类型组合表中。优选地，所述根据所述槽类型组合，确定出与所述槽类型组合相对应的至少一种槽名称；根据所述槽名称，确定出一槽结构文件名，具体包括：向用户端发送是否从预先存储的槽类型组合及名称表中选择已有的槽结构文件名的确认请求，若反馈结果为是，则确定出所述槽结构文件名；根据所述槽结构文件名获取对应的所述槽名称，由所述槽名称获取与其对应的至少一个槽结构；根据所述槽结构从预设的不同槽类型图库中获取与所述槽结构相对应的槽结构图形，并将其显示于所述用户端的界面上。优选地，所述槽结构图形包括：槽图形界面、槽参数界面以及工艺参数界面；所述参数信息包括：各个所述槽结构的槽参数以及工艺参数；所述根据所述槽结构从预设的不同槽类型图库中获取与所述槽结构相对应的槽结构图形，并将其显示于所述用户端的界面上，具体包括：在所述用户端的界面上显示一所述槽结构文件对应的每个所述槽结构的按钮；获取对所述槽结构的按钮的第一点击信息；根据所述第一点击信息，控制所述用户端根据所述槽类型图库形成特定槽图形界面；在所述特定槽图形界面上显示槽参数按钮以及工艺参数按钮；判断是否有电机所述槽参数按钮的第二点击信息；若是，根据所述第二点击信息，在所述特定槽图形界面上形成至少一个所述槽参数界面，以使用户通过所述槽参数界面输入所述槽参数的数值；若否，判断是否有点击所述工艺参数按钮的第三点击信息；若是，根据所述第三点击信息，在所述特定槽图形界面上形成至少一个所述工艺参数界面，以使用户通过所述工艺参数界面输入所述工艺参数的数值。优选地，所述槽类型图库包括：化学液槽图库、水槽图库、洗手槽图库、快排槽图库、慢提拉槽图库或甩干槽图库。优选地，所述根据所述第一点击信息，控制所述用户端根据所述槽类型图库形成特定槽图形界面，具体包括：逐一判断用户点击的所述槽结构是否为化学液槽图库、水槽图库、洗手槽图库、快排槽图库、慢提拉槽图库或甩干槽图库中一种；若判断结果为是，则根据所述用户的点击结果以及预设的化学液槽表、水槽表、洗手槽表、快排槽表、慢提拉槽表、甩干槽表，生成与所述用户点击的所述槽结构相关联的槽图形界面，并将其显示于用户端的界面上；获取用户端输入的按清洗硅片顺序形成用户点击的所有的槽结构的槽图形界面。优选地，还包括：获取用户端输入或选择出的与所述槽结构相对应的机械手类型信息；根据所述机械手类型信息，在所述用户端的界面显示出与所述槽结构对应的槽示教位置参数与性能参数界面；获取用户通过所述槽示教位置参数与性能参数界面输入或选择出的机械手覆盖的槽结构、机械手位置参数的数值、机械手性能参数的数值，以基于所述多个参数信息、机械手覆盖的槽结构、机械手位置参数的数值、机械手性能参数的数值，生成工艺配置文件。优选地，所述获取用户通过所述槽示教位置参数与性能参数界面输入或选择出的机械手覆盖的槽结构、机械手位置参数的数值、机械手性能参数的数值之后，还包括：获取用户输入或选择出的机械手覆盖的共享槽及相邻槽隔离门信息；基于所述多个参数信息、机械手覆盖的槽结构、机械手位置参数的数值、机械手性能参数的数值、机械手覆盖的共享槽及相邻槽隔离门信息，生成工艺配置文件。一种清洗设备的配置生成系统，所述配置生成系统包括：第一获取模块，用于获取用户端输入的行业类别、槽类型以及槽总个数；第一确定模块，用于根据所述行业类别，确定出一特定行业；第二确定模块，用于根据所述行业类别、槽类型以及槽总个数，确定出与所述特定行业相关的一槽类型组合；第三确定模块，用于根据所述槽类型组合，确定出与所述槽类型组合相对应的至少一种槽名称；第四确定模块，用于根据所述槽名称，确定出一槽结构文件名；第二获取模块，用于获取用户端输入的与所述槽名称及所述槽结构文件名相对应的多个参数信息；生成模块，用于基于所述多个参数信息，生成工艺配置文件。本专利技术具有以下有益效果：本专利技术提供的清洗设备的配置生成方法及清洗设备的配置生成系统，获取用户端输入的行业类别、槽类型以及槽总个数；根据行业类别，确定一特定行业；根据行业类别、槽类型以及槽总个数，确定出与特定行业相关的一槽类型组合；根据槽类型组合，确定出与槽类型组合相对应的至少一种槽名称；根据槽名称，确定出一槽结构文件名；获取用户端输入的与槽名称及槽结构文件文件名相对应的多个参数信息；基于多个参数信息，生成工艺配置文件由此，可以由用户端输入的行业类别、槽类型以及槽总个数以及用户端输入的与槽名称以及槽结构文件名相对应的多个参数信息自动生成清洗设备的工艺配置文件，节省了设备配置时间以及成本；由于该工艺配置文件可针对不同行业类别，因此本专利技术可适用于多种不同行业的清洗设备，提高了清洗设备配置的通用性。附图说明图1为本专利技术一个实本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种清洗设备的配置生成方法，其特征在于，所述方法包括：/n获取用户端输入的行业类别、槽类型以及槽总个数；/n根据所述行业类别，确定出一特定行业；/n根据所述行业类别、槽类型以及槽总个数，确定出与所述特定行业相关的一槽类型组合；/n根据所述槽类型组合，确定出与所述槽类型组合相对应的至少一种槽名称；/n根据所述槽名称，确定出一槽结构文件名；/n获取用户端输入的与所述槽名称及所述槽结构文件名相对应的多个参数信息；/n基于所述多个参数信息，生成工艺配置文件。/n

【技术特征摘要】
1.一种清洗设备的配置生成方法，其特征在于，所述方法包括：
获取用户端输入的行业类别、槽类型以及槽总个数；
根据所述行业类别，确定出一特定行业；
根据所述行业类别、槽类型以及槽总个数，确定出与所述特定行业相关的一槽类型组合；
根据所述槽类型组合，确定出与所述槽类型组合相对应的至少一种槽名称；
根据所述槽名称，确定出一槽结构文件名；
获取用户端输入的与所述槽名称及所述槽结构文件名相对应的多个参数信息；
基于所述多个参数信息，生成工艺配置文件。


2.根据权利要求1所述的清洗设备的配置生成方法，其特征在于，所述行业类别包括：太阳能光伏行业、集成电路装备和光电行业。


3.根据权利要求1所述的清洗设备的配置生成方法，其特征在于，根据所述行业类别、槽类型以及槽总个数，确定出与所述特定行业相关的一槽类型组合，具体包括：
根据用户端输入的所述行业类别、槽类型以及槽总个数，确定一槽类型组合；
判断所述槽类型组合是否与数据库中的槽类型组合表中的槽类型组合相匹配；
若判断结果为匹配，则确定出特定行业槽类型组合对应的文件名；
若判断结果为不匹配，则将该新的槽类型组合添加至槽类型组合表中。


4.根据权利要求1所述的清洗设备的配置生成方法，其特征在于，所述根据所述槽类型组合，确定出与所述槽类型组合相对应的至少一种槽名称；根据所述槽名称，确定出一槽结构文件名，具体包括：
向用户端发送是否从预先存储的槽类型组合及名称表中选择已有的槽结构文件名的确认请求，若反馈结果为是，则确定出所述槽结构文件名；
根据所述槽结构文件名获取对应的所述槽名称，由所述槽名称获取与其对应的至少一个槽结构；
根据所述槽结构从预设的不同槽类型图库中获取与所述槽结构相对应的槽结构图形，并将其显示于所述用户端的界面上。


5.根据权利要求4所述的清洗设备的配置生成方法，其特征在于，所述槽结构图形包括：槽图形界面、槽参数界面以及工艺参数界面；
所述参数信息包括：各个所述槽结构的槽参数以及工艺参数；
所述根据所述槽结构从预设的不同槽类型图库中获取与所述槽结构相对应的槽结构图形，并将其显示于所述用户端的界面上，具体包括：
在所述用户端的界面上显示一所述槽结构文件对应的每个所述槽结构的按钮；
获取对所述槽结构的按钮的第一点击信息；
根据所述第一点击信息，控制所述用户端根据所述槽类型图库形成特定槽图形界面；
在所述特定槽图形界面上显示槽参数按钮以及工艺参数按钮；
判断是否有点击所述槽参数按钮的第二点击信息；若是，根据所述第二点击信息，在所述特定槽图形界面上形成至少一个所述槽参数界面，以使用户通过所述槽参数界面输入所述槽参数的数值；
若否，判断是否有点击所述工艺参数按钮的第三点击信息；若...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭训容，
申请(专利权)人：北京北方华创微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11