多系统制冷机的运转方法、装置及制冷装置制造方法及图纸

在将由一台压缩机压缩的气体通过设置在各制冷机中的阀供应给多个制冷机时，利用转换器，将各阀的开关周期各错开一点。从而，不用观测阀定时，可以用简单的结构使制冷机之间的性能均衡化。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种多系统(multisystem)制冷机的运转方法、装置及冷冻装置。特别是，涉及一种使由一台或多台压缩机压缩的气体通过设置在各制冷机中的阀，供应给多个制冷机的多系统制冷机的运转方法、装置及采用该方法和装置的冷冻装置。
技术介绍
利用工作气体的压力变化和体积变化产生极低的温度的ギフォ-ド·マクマホン(GM)式或脉冲管式制冷机是已知的。在将这种制冷机设置于半导体制造装置的溅射装置等大型装置的多个部位的情况下，不是在各制冷机中设置在制冷机中产生高压和低压的压缩机，而是为了降低成本和节省能源，如图1所示，利用设置在各制冷机中的阀(例如回转阀)21、22、23，以高压和低压交替的方式，将由一台压缩机10中压缩、通过高压线路12和低压线路14供应的气体(例如氦气)供应给多个(在图中为3台)制冷剂31、32、33。前述制冷剂31、32、33进行冷却工序反复绝热膨胀，通过产生冷气，将缸体31A、32A、33A的第一制冷级31B、32B、33B冷却到30～100K，第二制冷级31C、32C、33C冷却到4～20K。在图中，41、42、43分别适用于旋转驱动各回转阀21、22、23的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种将由一台或多台压缩机压缩的气体通过设置在各制冷机中的阀供应给多个制冷机的多系统制冷机的运转方法，其特征为， 将各阀的开关周期各错开一点。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：船山真，田中秀和，山本久，青木一俊，
申请(专利权)人：住友重机械工业株式会社，安内华股份有限公司，
类型：发明
国别省市：JP[日本]