电流控制射频电源制造技术

本实用新型专利技术涉及电源装置技术领域，且公开了电流控制射频电源，包括电箱，所述电箱的内部边缘处设置有通风管道，所述通风管道内侧边缘处固定安装有第一纤维板，所述第一纤维板的上面固定连接有第二纤维板，所述通风管道的内部固定安装有干燥块，所述第一纤维板的上下左右四角均固定安装有卡接柱，所述电箱的内部且位于第一纤维板的内侧设置有工作电路腔体。通过将卡接环卡接在卡接柱上，可以快速实现盖板的拆装，这样也便于后期的维修检查工作，不必将整个电箱全部拆开，即可检查内部方便维修大大减轻了工人的工作量，从而实现一种可以降低射频电源工作环境中温度及湿度的电流控制射频电源的目的。

Current controlled RF power supply

【技术实现步骤摘要】
电流控制射频电源
本技术涉及电源装置
，具体为电流控制射频电源。
技术介绍
射频电源是PECVD设备中重要的组成部分，它是生成等离子体的能量来源，广泛应用于TFT，半导体和光伏行业中。但是，现有技术中的射频电源工作时受工作环境中湿度的限制较大，当射频电源工作环境中的湿度大于一个额定值时，射频电源将无法正常工作；如，根据厂家提供数据，当射频电源工作环境中的湿度大于70％时，射频电源无法正常工作。尤其是在光伏行业中，工艺条件相对比较简单，厂区条件较差，射频电源工作环境的湿度等很难控制，而且每年到了夏天雨季，射频电源工作环境中的湿度最高可达到95％，在此环境中，射频电源无法维持正常工作，同时在射频电源工作时，常常会产生大量的热量，如果这些热量不及时排出去的话，就会危害射频电源。因此提出一种可以降低射频电源工作环境中温度及湿度的电流控制射频电源。
技术实现思路
为实现上述一种可以降低射频电源工作环境中温度及湿度的电流控制射频电源的目的，本技术提供如下技术方案：电流控制射频电源，包括电箱，所述电箱的内部边缘处设置有通风管道，所述通风本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.电流控制射频电源，包括电箱(100)，其特征在于：所述电箱(100)的内部边缘处设置有通风管道(101)，所述通风管道(101)内侧边缘处固定安装有第一纤维板(116)，所述第一纤维板(116)的上面固定连接有第二纤维板(117)，所述通风管道(101)的内部固定安装有干燥块(107)，所述第一纤维板(116)的上下左右四角均固定安装有卡接柱(109)，所述电箱(100)的内部且位于第一纤维板(116)的内侧设置有工作电路腔体(103)，所述电箱(100)的外部左右两侧均固定安装有拉手(104)，所述电箱(100)的正面表面上设置有区域窗口(105)和操作按钮(106)，所述电箱(100)...

【技术特征摘要】
1.电流控制射频电源，包括电箱(100)，其特征在于：所述电箱(100)的内部边缘处设置有通风管道(101)，所述通风管道(101)内侧边缘处固定安装有第一纤维板(116)，所述第一纤维板(116)的上面固定连接有第二纤维板(117)，所述通风管道(101)的内部固定安装有干燥块(107)，所述第一纤维板(116)的上下左右四角均固定安装有卡接柱(109)，所述电箱(100)的内部且位于第一纤维板(116)的内侧设置有工作电路腔体(103)，所述电箱(100)的外部左右两侧均固定安装有拉手(104)，所述电箱(100)的正面表面上设置有区域窗口(105)和操作按钮(106)，所述电箱(100)的背面下端左右两侧均固定安装有支撑座(111)，所述支撑座(111)的下端固定连接有垫片(114)，所述支撑座(111)的内侧且位于电箱(100)的底部活动连接有排风管(110)，所述电箱(100)的背面底部固定安装有金属滤网背板(115)，所述工作电路腔体(103)的背面活动安装有盖板(102)，所述盖板(102)的内侧设置有电路金属背板(118)，所述盖板(102)的外侧表面固定安装有固定金属片(120)，所述固定金属片(120)的表面固定连接有导热固定合金铜管(121)，所述盖板(102)的四角均固定安装有卡接环(119)，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：李树瑜，王一梅，
申请(专利权)人：天津吉兆源科技有限公司，
类型：新型
国别省市：天津;12