一种陶瓷电容压力传感器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种陶瓷电容压力传感器，涉及传感器生产制造领域，包括外壳，外壳内开设空腔，空腔底部设置台阶，所述台阶的拐角处设置第一圆角，台阶内侧设置O型圈，O型圈的内外表面上下均设置第二圆角，O型圈在非工作状态的厚度大于台阶的高度，O型圈上方设置芯体，芯体上方设置环形的垫片，垫片上方设置压紧盖，所述压紧盖包括外盖和顶盖，外盖的外壁设置有外螺纹，空腔在与压紧盖对应位置设置与外螺纹相匹配的内螺纹且与压紧盖螺纹连接，所述芯体包括相对设置的厚膜片和薄膜片以及设置在其间的基座。本实用新型专利技术能够解决陶瓷电容压力传感器易被腐蚀、易产生零点漂移、易短路报废、结构较为脆弱和芯体易损坏的问题。

A ceramic capacitive pressure sensor

【技术实现步骤摘要】
一种陶瓷电容压力传感器
本技术涉及传感器生产制造领域，尤其涉及一种陶瓷电容压力传感器。
技术介绍
陶瓷电容压力传感器是一种广泛使用的传感器。由于陶瓷是一种公认的高弹性、抗腐蚀、抗磨损、抗冲击和振动的材料，陶瓷具有热稳定特性，它的工作温度范围高达-40～135℃，而且具有测量的高精度、高稳定性。电气绝缘程度>2kV，输出信号强，长期稳定性好。高特性，低价格的陶瓷传感器将是压力传感器的发展方向，在欧美国家有全面替代其它类型传感器的趋势，在中国也越来越多的用户使用陶瓷传感器替代扩散硅压力传感器。然而，现有的陶瓷电容压力传感器存在一些缺陷：1.虽然陶瓷耐腐蚀，但是长期在高温的酸性或碱性环境下工作还是会被腐蚀。2.现有的陶瓷电容压力传感器的O型圈与放置O型圈的台阶等高，当其所处环境的压力值为负压时，O型圈不能对芯体的边缘提供弹力，芯体直接被压在台阶的上表面上导致芯体损坏。3.现有的陶瓷电容压力传感器的装配应力较大，易导致零点漂移和测量数据失实。4.现有的陶瓷电容压力传感器在测量较大压力时，会因为压力超过量程而导致固定电极和可变电极接触短路，传感器报废。5.现有的陶瓷电容压力传感器的垫片一般通过卡簧来限位和紧固，这种方式使传感器的结构较为脆弱、所能承受的耐压较低、可靠性降低。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是提供一种陶瓷电容压力传感器，解决陶瓷电容压力传感器易被腐蚀、易产生零点漂移、易短路报废、结构较为脆弱和芯体易损坏的问题。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种陶瓷电容压力传感器，包括外壳，外壳内开设空腔，空腔底部设置台阶，所述台阶的拐角处设置第一圆角，台阶内侧设置O型圈，O型圈的内外表面上下均设置第二圆角，O型圈在非工作状态的厚度大于台阶的高度，O型圈上方设置芯体，芯体上方设置环形的垫片，垫片上方设置压紧盖，所述压紧盖包括外盖和顶盖，外盖的外壁设置有外螺纹，顶盖上边缘位置和中心位置分别设置导线孔和安装孔，空腔在与压紧盖对应位置设置与外螺纹相匹配的内螺纹且与压紧盖螺纹连接，所述芯体包括相对设置的厚膜片和薄膜片以及设置在其间的基座，厚膜片和薄膜片上分别设置固定电极和可变电极，所述固定电极上覆盖有绝缘的玻璃涂层。进一步地，所述玻璃涂层的材质为铅硼硅铝玻璃。进一步地，所述薄膜片朝向O型圈一侧的表面上设置氯丁橡胶层。进一步地，所述氯丁橡胶层的厚度为0.5mm～0.55mm。进一步地，所述基座的材质为氧化铝。本技术具有如下有益效果：1.本技术在薄膜片朝向O型圈一侧的表面上设置了厚度为0.5mm～0.55mm氯丁橡胶层，这样即使陶瓷电容压力传感器在高温的酸性或碱性环境下工作，薄膜片也不会被腐蚀。2.本技术将台阶的高度设置为小于O型圈在非工作状态的厚度，即使陶瓷电容压力传感器所处的环境为负压时，O型圈能够对芯体的边缘提供弹力，芯体不会被直接压在台阶的表面上而损坏。同时本技术在台阶的拐角处设置第一圆角，保证O型圈在承压后其边缘不会被台阶的拐角处切割而导致损坏。3.本技术在O型圈的内外表面上下均设置第二圆角，使O型圈的舒张和压缩都有充分的空间，降低了陶瓷电容压力传感器的装配应力，避免了零点漂移和测量数据失实等情况的产生。4.本技术在固定电极上覆盖绝缘的铅硼硅铝玻璃的涂层，这样即使陶瓷电容压力传感器测量的压力超过了量程，可变电极也不会直接与固定电极接触。铅硼硅铝玻璃涂层能够保护固定电极，避免了短路的产生。5.本技术使用压紧盖代替卡簧对垫片进行限位，由于压紧盖与外壳为螺纹连接，连接面积大大增加，连接牢固度大大增强，所以传感器的结构强度增加、耐压增加，可靠性也增强。附图说明图1为本技术剖视图；图2为图1的局部放大图；图3为压紧盖俯视图；图4为压紧盖侧视图。具体实施方式如图1、2、3和4所示，一种陶瓷电容压力传感器，包括外壳1，外壳1内开设空腔11，空腔11底部设置台阶12，所述台阶12的拐角处设置第一圆角13，台阶12内侧设置O型圈3，O型圈3的内外表面上下均设置第二圆角31，O型圈3在非工作状态的厚度大于台阶12的高度，O型圈3上方设置芯体2，芯体2上方设置环形的垫片4，垫片4上方设置压紧盖5，所述压紧盖5包括外盖51和顶盖52，外盖51的外壁设置有外螺纹511，顶盖52上边缘位置和中心位置分别设置导线孔521和安装孔522，空腔11在与压紧盖5对应位置设置与外螺纹511相匹配的内螺纹且与压紧盖5螺纹连接，所述芯体2包括相对设置的厚膜片22和薄膜片23以及设置在其间的基座21，厚膜片22和薄膜片23上分别设置固定电极25和可变电极26，所述固定电极25上覆盖有绝缘的玻璃涂层27。所述玻璃涂层27的材质为铅硼硅铝玻璃。所述薄膜片23朝向O型圈3一侧的表面上设置氯丁橡胶层24。所述氯丁橡胶层24的厚度为0.5mm～0.55mm。所述基座21的材质为氧化铝。本技术在薄膜片23朝向O型圈3一侧的表面上设置了厚度为0.5mm～0.55mm氯丁橡胶层24，这样即使陶瓷电容压力传感器在高温的酸性或碱性环境下工作，薄膜片23也不会被腐蚀。本技术将台阶12的高度设置为小于O型圈3在非工作状态的厚度，即使陶瓷电容压力传感器所处的环境为负压时，O型圈3能够对芯体2的边缘提供弹力，芯体2不会被直接压在台阶12的表面上而损坏。同时本技术在台阶12的拐角处设置第一圆角13，保证O型圈3在承压后其边缘不会被台阶12的拐角处切割而导致损坏。本技术在O型圈3的内外表面上下均设置第二圆角31，使O型圈3的舒张和压缩都有充分的空间，降低了陶瓷电容压力传感器的装配应力，避免了零点漂移和测量数据失实等情况的产生。本技术在固定电极上覆盖绝缘的铅硼硅铝玻璃的涂层，这样即使陶瓷电容压力传感器测量的压力超过了量程，可变电极26也不会直接与固定电极25接触。铅硼硅铝玻璃涂层能够保护固定电极25，避免了短路的产生。本技术使用压紧盖5代替卡簧对垫片进行限位，由于压紧盖5与外壳1为螺纹连接，连接面积大大增加，连接牢固度大大增强，所以传感器的结构强度增加、耐压增加，可靠性也增强。以上所述，仅是本技术的较佳实施例而已，并非对本技术作任何形式上的限制，任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本技术技术方案范围内，当可利用上述揭示的
技术实现思路
做出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例，但凡是未脱离本技术技术方案内容，依据本技术的技术实质，在本技术的精神和原则之内，对以上实施例所作的任何简单的修改、等同替换与改进等，均仍属于本技术技术方案的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种陶瓷电容压力传感器，其特征在于：包括外壳（1），外壳（1）内开设空腔（11），空腔（11）底部设置台阶（12），所述台阶（12）的拐角处设置第一圆角（13），台阶（12）内侧设置O型圈（3），O型圈（3）的内外表面上下均设置第二圆角（31），O型圈（3）在非工作状态的厚度大于台阶（12）的高度，O型圈（3）上方设置芯体（2），芯体（2）上方设置环形的垫片（4），垫片（4）上方设置压紧盖（5），所述压紧盖（5）包括外盖（51）和顶盖（52） ，外盖（51）的外壁设置有外螺纹（511），顶盖（52）上边缘位置和中心位置分别设置导线孔（521）和安装孔（522），空腔（11）在与压紧盖（5）对应位置设置与外螺纹（511）相匹配的内螺纹且与压紧盖（5）螺纹连接，所述芯体（2）包括相对设置的厚膜片（22）和薄膜片（23）以及设置在其间的基座（21），厚膜片（22）和薄膜片（23）上分别设置固定电极（25）和可变电极（26），所述固定电极（25）上覆盖有绝缘的玻璃涂层（27）。/n

【技术特征摘要】
1.一种陶瓷电容压力传感器，其特征在于：包括外壳（1），外壳（1）内开设空腔（11），空腔（11）底部设置台阶（12），所述台阶（12）的拐角处设置第一圆角（13），台阶（12）内侧设置O型圈（3），O型圈（3）的内外表面上下均设置第二圆角（31），O型圈（3）在非工作状态的厚度大于台阶（12）的高度，O型圈（3）上方设置芯体（2），芯体（2）上方设置环形的垫片（4），垫片（4）上方设置压紧盖（5），所述压紧盖（5）包括外盖（51）和顶盖（52），外盖（51）的外壁设置有外螺纹（511），顶盖（52）上边缘位置和中心位置分别设置导线孔（521）和安装孔（522），空腔（11）在与压紧盖（5）对应位置设置与外螺纹（511）相匹配的内螺纹且与压紧盖（5）螺纹连接，所述芯体（2）包括相对设置的厚膜片（2...

【专利技术属性】
技术研发人员：张显达，陈王萍，
申请(专利权)人：安徽允昊物联网科技有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽;34