静电电容式传感器制造技术

静电电容式传感器，具有：第一连结部，其将相邻的两个第一透明电极相互电连接，并包含非晶态氧化物系材料；以及第二连结部，其将相邻的两个第二透明电极相互电连接，并包含非晶态氧化物系材料，第一连结部和第二连结部配置成，在从与主面正交的方向看的俯视观察下不相互交叉，在第一连结部具有分别被配设于相邻的两个第一透明电极上的第一连接面，第一连接面与各个第一透明电极电连接，在第二连结部具有分别被配设于相邻的两个第二透明电极上的第二连接面，第二连接面与各个第二透明电极电连接，该静电电容式传感器能够抑制导通稳定性以及ESD耐性低下。

Electrostatic capacitance sensor

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】静电电容式传感器
本专利技术涉及一种静电电容式传感器，特别地，涉及一种设置了包含导电性纳米线的透明电极的静电电容式传感器。
技术介绍
专利文献1中公开了一种在透明玻璃基板上形成了氧化铟锡(ITO)层的X电极以及Y电极的手指接触式检测面板。在专利文献1中记载的手指接触式检测面板，设置有X电极以及Y电极相互相交的部分。Y电极经由开孔部通过导电体膜而电连接。这样，在基板上使X电极以及Y电极相互相交，并设置将Y电极电连接的桥接布线部，由此，能够使检测面板薄型化。这里，作为市场的动向，期望使静电电容式传感器的形状为曲面、或者能够使静电电容式传感器折弯。为此，作为静电电容式传感器的透明电极的材料，有时使用例如包含金纳米线、银纳米线以及铜纳米线等金属纳米线(导电性纳米线)的材料。在先技术文献专利文献专利文献1：日本特开昭58-166437号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题若将包含导电性纳米线的材料用于透明电极的材料，则存在如下问题：各个独立的透明电极和在接通这些透明电极的交叉部分设置的桥接布本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种静电电容式传感器，其特征在于，/n所述静电电容式传感器具有：/n基材，其具有透光性；/n多个第一透明电极，其在所述基材的一个主面的检测区域沿着第一方向并排地配置，具有透光性，并包含导电性纳米线；/n多个第二透明电极，其在所述检测区域沿着与所述第一方向交叉的第二方向并排地配置，具有透光性，并包含导电性纳米线；/n第一连结部，其将相邻的两个所述第一透明电极相互电连接，并包含非晶态氧化物系材料；以及/n第二连结部，其将相邻的两个所述第二透明电极相互电连接，并包含非晶态氧化物系材料，/n所述第一连结部和所述第二连结部配置成，在从与所述主面正交的方向看的俯视观察下不相互交叉，/n在所述第一连结部...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20171101 JP 2017-2117401.一种静电电容式传感器，其特征在于，
所述静电电容式传感器具有：
基材，其具有透光性；
多个第一透明电极，其在所述基材的一个主面的检测区域沿着第一方向并排地配置，具有透光性，并包含导电性纳米线；
多个第二透明电极，其在所述检测区域沿着与所述第一方向交叉的第二方向并排地配置，具有透光性，并包含导电性纳米线；
第一连结部，其将相邻的两个所述第一透明电极相互电连接，并包含非晶态氧化物系材料；以及
第二连结部，其将相邻的两个所述第二透明电极相互电连接，并包含非晶态氧化物系材料，
所述第一连结部和所述第二连结部配置成，在从与所述主面正交的方向看的俯视观察下不相互交叉，
在所述第一连结部具有分别被配设于相邻的两个所述第一透明电极上的第一连接面，该第一连接面与各个所述第一透明电极电连接，
在所述第二连结部具有分别被配设于相邻的两个所述第二透明电极上的第二连接面，该第二连接面与各个所述第二透明电极电连接。


2.根据权利要求1所述的静电电容式传感器，其特征在于，
在形成所述第一连结部的区域，形成了在所述俯视观察下覆盖所述第二透明电极的一部分的绝缘层，
将两个所述第一透明电极电连接的所述第一连结部被配置于与该两个所述第一透明电极相邻的所述第二透明电极上的所述绝缘层上。


3.根据权利要求2所述的静电电容式传感器，其特征在于，
所述第一连结部具有：在成为电连接的对象的两个所述第一透明电极的每一个上沿着与所述第一方向交叉的方向延伸的图案。


4.根据权利要求3所述的静电电容式传感器，其特征在于，
所述第一连结部具有：在成为电连接的对象的两个所述第一透明电极的每一个上沿着所述第二方向延伸的图案，并且，具有：在与该两个所述第一透明电极相邻的两个所述第二透明电极上的每一个所述绝缘层上沿着所述第一方向延伸的图案。


5.根据权利要求2至4...

【专利技术属性】
技术研发人员：平木勇太，山井知行，矢泽学，田代圭太，
申请(专利权)人：阿尔卑斯阿尔派株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP