用于接收导电燃料的设备制造技术

一种用于接收导电燃料的设备包括：主体；电流产生机构；和磁产生机构。主体限定用于接收燃料的表面。电流产生机构适用于在所述主体中产生电流，所述电流具有至少平行于所述表面的分量。磁产生机构布置成产生具有至少垂直于所述表面的分量的磁场。

Equipment for receiving conductive fuel

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于接收导电燃料的设备相关申请的交叉引用本申请要求于2017年10月26日提交的欧洲/美国申请17198469.3的优先权，该欧洲/美国申请通过引用全文并入本文。
本专利技术涉及一种用于接收导电燃料的设备。本专利技术具体涉及一种用于接收导电燃料的设备，所述设备设置有用于对所接收的燃料施力以使其移动的机构。所述设备可以是适合于接收并至少部分地容纳其接收的导电燃料的燃料收集器。所述设备可以构成激光产生等离子体辐射源的部分。
技术介绍
光刻设备是一种构造为将所期望的图案施加到衬底上的机器。光刻设备能够例如用于集成电路(IC)的制造中。光刻设备可例如将来自图案形成装置(例如，掩模)的图案投影到设置在衬底上的辐射敏感材料(抗蚀剂)层上。光刻设备用于将图案投影到衬底上的辐射波长决定了能够在该衬底上形成的特征的最小尺寸。使用EUV辐射(具有在4-20nm范围内的波长的电磁辐射)的光刻设备可用于在衬底上形成比常规光刻设备(所述常规光刻设备可以例如使用波长为193nm的电磁辐射)更小的特征。EUV辐射可以使用等离子体来产生。等离子本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于接收导电燃料的设备，所述设备包括：/n主体，限定用于接收燃料的表面；/n电流产生机构，用于在所述主体中产生电流，所述电流具有至少平行于所述表面的分量；和/n磁产生机构，布置成产生具有至少垂直于所述表面的分量的磁场。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20171026 EP 17198469.31.一种用于接收导电燃料的设备，所述设备包括：
主体，限定用于接收燃料的表面；
电流产生机构，用于在所述主体中产生电流，所述电流具有至少平行于所述表面的分量；和
磁产生机构，布置成产生具有至少垂直于所述表面的分量的磁场。


2.根据权利要求1所述的燃料收集器，其中所述主体包括非导电支撑部分和导电材料层，所述导电材料层限定所述表面。


3.根据权利要求2所述的设备，其中所述导电材料层的至少一部分包括易被锡润湿的材料。


4.根据权利要求2或权利要求3所述的设备，其中所述导电材料层的至少一部分包括液锡层。


5.根据前述权利要求中任一项所述的设备，还包括布置成加热所述表面的加热器。


6.根据前述权利要求中任一项所述的设备，还包括用于收集入射在所述表面上的燃料的至少一部分的容器。


7.根据权利要求6所述的设备，其中所述电流产生机构被布置成产生电流，所述磁产生机构被布置成产生磁场使得向支持所述电流的介质施加力，所述力整体上指向所述容器。


8.根据前述权利要求中任一项所述的设备，其中所述电流产生机构包括电源，所述电源经由物理链路连接到所述主体以实现在所述主体中产生所述电流。


9.根据权利要求1-7中任一项所述的设备，其中所述电流产生机构包括磁体，所述磁体能够操作以产生用于在所述主...

【专利技术属性】
技术研发人员：约翰内斯·克里斯蒂安·里昂纳多斯·弗兰肯，M·R·德巴尔，
申请(专利权)人：ASML荷兰有限公司，
类型：发明
国别省市：荷兰;NL