一种水基抛光液制造技术

本发明专利技术涉及一种水基抛光液，属于抛光领域。一种水基抛光液，所述水基抛光液由磁流变液和磨料组成，所述磁流变液按质量百分比，由下述组分组成：水30~80%，触变剂3~8%，分散剂0~5%，润湿剂0~5%，羰基铁粉20~70%，所述磨料与磁流变液的比例为：磨料与羰基铁粉的质量比为1~2:10。本发明专利技术提供一种水基抛光剂，该抛光剂由所述水基抛光液由磁流变液基液和磨料组成，所述磁流变液所用触变剂由本发明专利技术所述方法提供，利用本发明专利技术所述方法制备所得的SiO

A kind of water-based polishing fluid

【技术实现步骤摘要】
一种水基抛光液
本专利技术涉及一种水基抛光液，属于抛光领域。
技术介绍
随着各行各业的飞速发展，芯片加工、精密器件加工、异形件加工等对光滑表面的要求越来越高，获得光滑表面的主要方式为抛光，目前广泛使用抛光方法包括机械抛光、化学抛光、化学机械抛光等。其中一部分抛光仅适用于平面的平坦化抛光，而不适用于曲面工件的抛光。而可用于曲面的抛光方式也各有其问题，如化学抛光所用液体多为腐蚀性液体，对设备具有一定的损坏等。磁流变液是一类新型的人工智能材料，该类材料的流变特性在磁场左右下能够发生可控、可逆和连续的快速转变，可广泛应用于土木工程、机械加工、汽车工程、航天工程等诸多领域。磁流变液是由磁性粒子分散于液体基质中形成的一种悬浮体系。磁流变液在外在磁场的作用下，其内的磁性粒子排成长链，使液体在瞬间即转变为具有一定屈服强度的固体，当磁场撤销后，磁流变液后恢复为液体。磁流变液悬浮体系中的悬浮相（磁性粒子）的粒径较大、且密度较高，一般密度为介质的5倍以上，因此，在悬浮体系中，悬浮粒子易发生沉降、团聚和变质的现象。为解决上述问题，现有技术中提供了多种方本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种水基抛光液，其特征是，所述水基抛光液由磁流变液和磨料组成，所述磁流变液按质量百分比，由下述组分组成：水30~80%，触变剂3~8%，分散剂0~5%，润湿剂0~5%，羰基铁粉20~70%，/n所述磨料与磁流变液的比例为：磨料与羰基铁粉的质量比为1~2:10，/n其中，触变剂按下述方法制得，包括下述工艺步骤：/nS1，将磁性SiO

【技术特征摘要】
1.一种水基抛光液，其特征是，所述水基抛光液由磁流变液和磨料组成，所述磁流变液按质量百分比，由下述组分组成：水30~80%，触变剂3~8%，分散剂0~5%，润湿剂0~5%，羰基铁粉20~70%，
所述磨料与磁流变液的比例为：磨料与羰基铁粉的质量比为1~2:10，
其中，触变剂按下述方法制得，包括下述工艺步骤：
S1，将磁性SiO2纳米粒子与苄基三氯硅烷按质量比1：1~5均匀分散于甲苯中，50~90℃反应1~3d，分离固体，洗涤，干燥，得到氯苄基接枝的SiO2纳米粒子；
S2，将N-(2-氨乙基)-3-氨丙基甲基二乙氧基硅烷加入水中，于pH=10~11下进行水解，得水解物溶液，其中，N-(2-氨乙基)-3-氨丙基甲基二乙氧基硅烷与水的质量比为1：5~20；将磁性SiO2纳米粒子按1g：50~200mL均匀分散于水中，得分散液；将水解物溶液与分散液混合后80~100℃加热回流2~24h，分离，干燥，得到氨基改性SiO2纳米粒子，其中，磁性SiO2纳米粒子与N-(2-氨乙基)-3-氨丙基甲基二乙氧基硅烷的质量比为1~10：1；
S3，将氯苄基接枝的SiO2纳米粒子与氨基改性SiO2纳米粒子按质量比为1：0.5~2均匀分散于甲苯中，20~70℃下搅拌反应0.5~12h，洗涤，干燥，得SiO2纳米粒子触变剂，
所述步骤S1和S2中，所述磁性SiO2纳米粒子以Fe3O4纳米粒子为核，在核上包覆一层SiO2层，磁性SiO2纳米粒子的粒径为20~25nm，Fe3O4纳米粒子核的粒径为6~8nm。


2.根据权利要求1所述的方法，其特征是，所述磁流变液按质量百分比，由下述组分组成：水30~80%，触变剂3~8%，分散剂1~5%，润湿剂1~5%，羰基铁粉20~70%。


3.根据权利要求1所述的方法，其特征是，所述润湿剂为聚乙二醇；分散剂为...

【专利技术属性】
技术研发人员：不公告发明人，
申请(专利权)人：大连圣多教育咨询有限公司，
类型：发明
国别省市：辽宁;21