【技术实现步骤摘要】
应用于真空扫描探针显微镜与真空管道间样品传送的装置
本专利技术属于扫描探针技术或设备领域，具体而言，涉及一种应用于真空扫描探针显微镜与真空管道间样品传送的装置。
技术介绍
扫描探针显微镜是扫描隧道显微镜以及在扫描隧道显微镜的基础之上发展起来的各种新型探针显微镜(原子力显微镜、力调制显微镜、相位检测显微镜、静电力显微镜、电容扫描显微镜、热扫描显微镜和近场光学显微镜等)的统称，是一种应用于纳米科学领域和表面科学领域的精密分析仪器。近几年，随着纳米科技的迅速发展，对扫描探针显微镜的需求日益上升。扫描探针显微镜在进行成像时，利用微小的探针针尖接近待测样品，该针尖与待测样品表面产生相互作用，通过检测这种相互作用，能够获得待测样品表面的高分辨率三维形貌。此外，也可以利用针尖对待测样品进行微观摩擦磨损实验。如果扫描探针显微镜是在普通大气环境中进行操作，那么由于大气中存在水蒸气的缘故，容易在待测样品表面形成水膜，要想实现高分辨率探测较为困难；此外，大气环境异常复杂，含有氧气、微颗粒以及有机物等，上述成分极有可能会污染待测样品表面，导...
【技术保护点】
1.一种应用于真空扫描探针显微镜与真空管道间样品传送的装置，其特征在于：包括进样腔(2)、进样机构(3)和传样盒(4)，进样腔(2)通过法兰(12)与真空扫描探针显微镜(1)相连，进样机构(3)穿过进样腔(2)与真空扫描探针显微镜(1)内部相连，在进样腔(2)的侧面分布有进样腔观察窗口(23)，工作人员通过进样腔观察窗口(23)可以看到进样机构(3)在进样腔(2)与真空扫描探针显微镜(1)内部的工作过程。/n
【技术特征摘要】
1.一种应用于真空扫描探针显微镜与真空管道间样品传送的装置，其特征在于：包括进样腔(2)、进样机构(3)和传样盒(4)，进样腔(2)通过法兰(12)与真空扫描探针显微镜(1)相连，进样机构(3)穿过进样腔(2)与真空扫描探针显微镜(1)内部相连，在进样腔(2)的侧面分布有进样腔观察窗口(23)，工作人员通过进样腔观察窗口(23)可以看到进样机构(3)在进样腔(2)与真空扫描探针显微镜(1)内部的工作过程。
2.根据权利要求1所述的应用于真空扫描探针显微镜与真空管道间样品传送的装置，其特征在于：所述真空扫描探针显微镜(1)包括真空扫描探针显微镜主体(11)和法兰(12)，真空扫描探针显微镜主体(11)呈圆柱状结构，真空扫描探针显微镜主体(11)与样品台相连，法兰(12)位于真空扫描探针显微镜主体(11)侧面，用于连接真空扫描探针显微镜(1)与进样腔(2)。
3.根据权利要求1所述的应用于真空扫描探针显微镜与真空管道间样品传送的装置，其特征在于：所述进样腔(2)包括进样腔腔体(21)、进样口(22)、进样腔观察窗口(23)、操作杆(24)和进样腔盖子(25)，进样腔腔体(21)为内部中空的长方体结构，进样口(22)位于进样腔腔体(21)的顶部，进样腔观察窗口(23)的数量为二，对称的分布在进样腔腔体(21)的两侧，进样腔盖子(25)与操作杆(24)相连，操作杆(24)的端部设有操作杆凸起，操作杆凸起呈“T”字形结构，用于打开或关闭传样盒(4)。
4.根据权利要求1所述的应用于真空扫描探针显微镜与真空管道间样品传送的装置，其特征在于：所述进样机构(3)包括推杆(31)、进样导轨(32)、进样平台(33)和样品刮片(34)，进样导轨(32)的数量为二且互相平行，进样导轨(32)的一端位于进样腔(2)内部，进样导轨(32)的另一端位于真空扫描探针显微镜(1)的内部；进样导轨(32)包括层叠的进样上层导轨(321)和进样下层导轨(322)，进样平台(33)位于相邻进样导轨(32)之间，安装在进样下层导轨(322)；样品刮片(34)位于进样平台(33)上方，安装在进样上层导轨(321)；推杆(31)包括推杆主轴(311)、推杆主轴第一挡块(312)、推杆主轴第二挡块(313)和推杆第三挡块(314)，推杆主轴第一挡块(312)位于推杆主轴(311)的端部，推杆主轴第三挡块(314)位于推杆主轴(311)的另一端，推杆主轴第二挡块(313)套设在推杆主轴(311)上，推杆主轴(311)呈阶梯式的柱状体结构，推杆主轴第三挡块(314)为半圆柱体结构，推杆主轴(311)中直径较小的端...
【专利技术属性】
技术研发人员：江亮，吴渊，钱林茂，陈宇山，徐文镔，
申请(专利权)人：西南交通大学，
类型：发明
国别省市：四川;51
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