红外线摄像机的校正方法和红外线摄像机的校正系统技术方案

本发明专利技术提供一种红外线摄像机的校正方法和红外线摄像机的校正系统，能够提高红外线摄像机的温度的检测精度，包括取得工序、校正值计算工序、插补曲线确定工序、和保存工序。在取得工序中，载置基板的载置台被设定为多个不同的温度，在各温度下由红外线摄像机取得来自载置台的上表面的多个区域各自的红外线的放射量的检测值。在校正值计算工序中，在各温度下计算设置有温度传感器的区域即基准区域的检测值与其它区域的检测值的差量来作为校正值。在插补曲线确定工序中，对各区域确定表示相对于基准区域的检测值的校正值的变化趋势的插补曲线。在保存工序中，保存规定对各个区域确定的插补曲线的参数。

Calibration method of infrared camera and calibration system of infrared camera

【技术实现步骤摘要】
红外线摄像机的校正方法和红外线摄像机的校正系统
本专利技术的各个方面和实施方式涉及红外线摄像机的校正方法和红外线摄像机的校正系统。
技术介绍
例如，在下述专利文献1中，公开有如下方法：将静电卡盘设定为不同的温度，检测配置于各温度下的静电卡盘的各区域的加热器的电阻值，由此，创建表示温度与电阻值的对应关系的转换表。静电卡盘的温度使用红外线(IR：InfraRed)摄像机来检测。能够通过参照创建的转换表，根据配置于各区域的加热器的电阻值来推定静电卡盘的各区域的温度。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2017-228230号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的课题本专利技术提供一种能够提高红外线摄像机的温度的检测精度的红外线摄像机的校正方法和红外线摄像机的校正系统。用于解决课题的手段本专利技术的一个方面为红外线摄像机的校正方法，包括取得工序、校正值计算工序、插补曲线确定工序、和保存工序。在取得工序中，载置基板的载置台被设定为多个不同的温度，在各温度下由红外线摄像机取得来本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种红外线摄像机的校正方法，其特征在于，包括：/n取得工序，将载置基板的载置台设定为多个不同的温度，在各温度下从红外线摄像机取得来自所述载置台的上表面的多个区域各自的红外线的放射量的检测值；/n校正值计算工序，在各所述温度下，计算出作为设置有温度传感器的所述区域的基准区域的所述检测值与其它所述区域的所述检测值的差量来作为校正值；/n插补曲线确定工序，对各所述区域确定表示相对于所述基准区域的所述检测值的所述校正值的变化趋势的插补曲线；和/n保存工序，保存对各所述区域确定的所述插补曲线的参数。/n

【技术特征摘要】
20181129 JP 2018-222968;20191029 JP 2019-1966951.一种红外线摄像机的校正方法，其特征在于，包括：
取得工序，将载置基板的载置台设定为多个不同的温度，在各温度下从红外线摄像机取得来自所述载置台的上表面的多个区域各自的红外线的放射量的检测值；
校正值计算工序，在各所述温度下，计算出作为设置有温度传感器的所述区域的基准区域的所述检测值与其它所述区域的所述检测值的差量来作为校正值；
插补曲线确定工序，对各所述区域确定表示相对于所述基准区域的所述检测值的所述校正值的变化趋势的插补曲线；和
保存工序，保存对各所述区域确定的所述插补曲线的参数。


2.如权利要求1所述的红外线摄像机的校正方法，其特征在于，
所述红外线摄像机按每个像素输出所述检测值，
各所述区域的所述检测值是所述红外线摄像机拍摄所述区域时的多个像素的所述检测值的平均值。


3.如权利要求1或2所述的红外线摄像机的校正方法，其特征在于，
在载置有所述基板这一侧的所述载置台的面上形成有多个凸部，
各所述区域配置为在所述区域之间，包含于所述区域的所述凸部的个数的差值小。


4.如权利要求1～3中任一项所述的红外线摄像机的校正方法，其特征在于，
在所述载置台的内部形成有供温度得到控制的热介质流动的流路，
在所述取得工序中，通过控制流经所述流路内的所述热介质的温度，来设定所述载置台的温度。


5.一种红外线摄像机的校正系统，其特征在于，包括：
腔室；
载置台，其设置于所述腔室内，载置基板；
温度传感器，其检测所述载置台的一部分的温度；
红外线摄像机，其检测从所述载置台的上表面放射的红外线的量；和
控制装置，
所述控制装置执行：
取得工序，将所述载置台设定为多个不同的温度，在各温度下由所述红外线摄像机取得来自所述载置台的上表面的多个区域各自的红外线的放射量的检测值；
校正值计算工序，在各所...

【专利技术属性】
技术研发人员：北山智久，久保敬，山本能吏，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP