基板运载容器制造技术

一种基板运载容器，包含至少一识别资料载座及外壳。识别资料载座用以设置识别资料，并具有本体及结合单元。外壳包括主壳体、封盖及载座安装单元。封盖可拆离地与主壳体结合以共同界定容置空间。主壳体具有外壁面，载座安装单元设于外壁面并与结合单元对应结合。结合单元与载座安装单元中的至少一者沿第一方向设置或延伸，且结合单元与载座安装单元是以两者在第一方向上的相对位置可变地结合，以使识别资料载座可受操作地设置于主壳体的外壁面上位于第一方向上的不同位置，以满足不同的使用需求。

Baseplate carrier

【技术实现步骤摘要】
基板运载容器
本技术涉及一种运载容器，特别是涉及一种基板运载容器。
技术介绍
一般半导体制程需要在基板上进行多道工序处理，不同的工序需要在不同工作站进行。又由于半导体用基板本身材质易碎且须避免微粒污染，因此在将基板于不同工作站间传输的过程中需要通过专门的运载容器储存并保护基板，并同时兼顾半导体厂内高度自动化的作业需求。为了确实掌握及管理各运载容器内所承载的基板的制程状态，因此通常会在运载容器上随附制程资料卡(RunCard)以记录运载容器内的基板所经过的处理程序。而随着资讯及通讯技术的迅速发展，在传统的纸本制程资料卡之外，又出现了利用无线射频辨识标签(RFIDTag)、一维或二维条码等辨识技术以进行制程进度管制的方式。然而，现有的运载容器通常只在容器的一个固定位置设置一、两种形式的辨识资料。若制程中有某些工段因为设备更新等缘故，或是因为其他因素考量而采用了不同的辨识技术，因而使得承载基板的运载容器在通过整个制程的过程中需要面对并相容于各种不同的辨识技术，造成运载容器需要设置多种不同形式的辨识资料，并且依照不同设备的读取位置而将这本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基板运载容器，其特征在于：包含：/n至少一识别资料载座，用以设置识别资料，该识别资料载座具有本体及结合单元；及/n外壳，包括主壳体、封盖及载座安装单元，该封盖可拆离地与该主壳体结合以共同界定容置空间，该主壳体具有外壁面，该载座安装单元设于该外壁面并与该结合单元对应结合，/n其中，该结合单元与该载座安装单元中的至少一者是沿第一方向设置或延伸，且该结合单元与该载座安装单元是以两者在该第一方向上的相对位置可变地结合，以使该识别资料载座可受操作地设置于该主壳体的该外壁面上位于该第一方向上的不同位置。/n

【技术特征摘要】
1.一种基板运载容器，其特征在于：包含：
至少一识别资料载座，用以设置识别资料，该识别资料载座具有本体及结合单元；及
外壳，包括主壳体、封盖及载座安装单元，该封盖可拆离地与该主壳体结合以共同界定容置空间，该主壳体具有外壁面，该载座安装单元设于该外壁面并与该结合单元对应结合，
其中，该结合单元与该载座安装单元中的至少一者是沿第一方向设置或延伸，且该结合单元与该载座安装单元是以两者在该第一方向上的相对位置可变地结合，以使该识别资料载座可受操作地设置于该主壳体的该外壁面上位于该第一方向上的不同位置。


2.根据权利要求1所述基板运载容器，其特征在于：该结合单元和该载座安装单元其中一者还包括滑槽且其中另一者还包括滑轨，该滑轨配合卡设于该滑槽中以使该识别资料载座可受操作地沿该第一方向滑移。


3.根据权利要求2所述基板运载容器，其特征在于：该滑槽由多个勾扣部共同界定。


4.根据权利要求1所述基板运载容器，其特征在于：该识别资料载座包括至少一第一定位部，该主壳体包括多个用以供该第一定位部定位的第二定位部，所述第二定位部沿该第一方向排列以使该识别资料载座可受操作地设置于该主壳体的该外壁面上位于该第一方向上的不同位置。


5.根据权利要求1所述基板运载容器，其特征在于：该封盖位于该主壳体的前侧，该第一方向为上下方向，该主壳体后侧的该外壁面形成有凹部，该凹部在该第一方向由该主壳体的顶侧延伸至底侧，该载座安装单元设于该凹部处。


6.根据权利要求5所述基板运载容器，其特征在于：该结合单元还包括多个勾扣部以共同界定滑槽，该载座安装单元还包括由矩形凸台形成的滑轨，且该滑轨与该滑槽相配合以使该识别资料载座可受操作地沿该第一方向滑移。


7.根据权利要求6所述基板运载容器，其特征在于：该识别资料载座的该结合单元包括至少一第一定位部，该外壳的该载座安装单元包括多个用以供该第一定位部定位的第...

【专利技术属性】
技术研发人员：邱铭隆，杨宗益，
申请(专利权)人：中勤实业股份有限公司，
类型：新型
国别省市：中国台湾;71