基板运载容器制造技术

一种基板运载容器，包含至少一识别资料载座及外壳。识别资料载座用以设置识别资料，并具有本体及结合单元。外壳包括主壳体、封盖及载座安装单元。封盖可拆离地与主壳体结合以共同界定容置空间。主壳体具有外壁面，载座安装单元设于外壁面并与结合单元对应结合。结合单元与载座安装单元中的至少一者沿第一方向设置或延伸，且结合单元与载座安装单元是以两者在第一方向上的相对位置可变地结合，以使识别资料载座可受操作地设置于主壳体的外壁面上位于第一方向上的不同位置，以满足不同的使用需求。

Baseplate carrier

【技术实现步骤摘要】
基板运载容器
本技术涉及一种运载容器，特别是涉及一种基板运载容器。
技术介绍
一般半导体制程需要在基板上进行多道工序处理，不同的工序需要在不同工作站进行。又由于半导体用基板本身材质易碎且须避免微粒污染，因此在将基板于不同工作站间传输的过程中需要通过专门的运载容器储存并保护基板，并同时兼顾半导体厂内高度自动化的作业需求。为了确实掌握及管理各运载容器内所承载的基板的制程状态，因此通常会在运载容器上随附制程资料卡(RunCard)以记录运载容器内的基板所经过的处理程序。而随着资讯及通讯技术的迅速发展，在传统的纸本制程资料卡之外，又出现了利用无线射频辨识标签(RFIDTag)、一维或二维条码等辨识技术以进行制程进度管制的方式。然而，现有的运载容器通常只在容器的一个固定位置设置一、两种形式的辨识资料。若制程中有某些工段因为设备更新等缘故，或是因为其他因素考量而采用了不同的辨识技术，因而使得承载基板的运载容器在通过整个制程的过程中需要面对并相容于各种不同的辨识技术，造成运载容器需要设置多种不同形式的辨识资料，并且依照不同设备的读取位置而将这些辨识装置设置于运载容器上的不同部位。但现有的运载容器却都欠缺因应这些变化而调整的弹性。
技术实现思路
本技术的其中一目的在于提供一种可以解决前述的问题的基板运载容器。本技术的基板运载容器在一些实施态样中，是包含用以设置识别资料的至少一识别资料载座及外壳。该识别资料载座具有本体及结合单元。该外壳包括主壳体、封盖及载座安装单元。该封盖可拆离地与该主壳体结合以共同界定容置空间。该主壳体具有外壁面，该载座安装单元设于该外壁面并与该结合单元对应结合。其中，该结合单元与该载座安装单元中的至少一者是沿第一方向设置或延伸，且该结合单元与该载座安装单元是以两者在该第一方向上的相对位置可变地结合，以使该识别资料载座可受操作地设置于该主壳体的该外壁面上位于该第一方向上的不同位置。在一些实施态样中，该结合单元和该载座安装单元其中一者还包括滑槽且其中另一者还包括滑轨，该滑轨配合卡设于该滑槽中以使该识别资料载座可受操作地沿该第一方向滑移。在一些实施态样中，该滑槽由多个勾扣部共同界定。在一些实施态样中，该识别资料载座包括至少一第一定位部，该主壳体包括多个用以供该第一定位部定位的第二定位部，所述第二定位部沿该第一方向排列以使该识别资料载座可受操作地设置于该主壳体的该外壁面上位于该第一方向上的不同位置。在一些实施态样中，该封盖位于该主壳体的前侧，该第一方向为上下方向，该主壳体后侧的该外壁面形成有凹部，该凹部在该第一方向由该主壳体的顶侧延伸至底侧，该载座安装单元设于该凹部处。在一些实施态样中，该结合单元还包括多个勾扣部以共同界定滑槽，该载座安装单元还包括由矩形凸台形成的滑轨，且该滑轨与该滑槽相配合以使该识别资料载座可受操作地沿该第一方向滑移。在一些实施态样中，该识别资料载座的该结合单元包括至少一第一定位部，该外壳的该载座安装单元包括多个用以供该第一定位部定位的第二定位部，所述第二定位部沿该第一方向排列以使该识别资料载座可受操作地设置于该主壳体的该外壁面上位于该第一方向上的不同位置。在一些实施态样中，该滑轨具有在该第一方向延伸的两个侧凸缘，且其中至少一该侧凸缘设有所述第二定位部，每一该第二定位部为卡槽，该结合单元的该第一定位部可弹性位移地卡置于其中一该第二定位部。在一些实施态样中，定义该识别资料载座的该本体面向该主壳体的一侧为前侧且背向该主壳体的一侧为后侧，所述勾扣部是凸设于该本体前侧，且每一该勾扣部具有自该本体左侧端或右侧端向前侧延伸的侧立段，及自该侧立段延伸并与该本体相对且相间隔的尾段，且该滑轨的该两侧凸缘与该主壳体之间分别具有间隙以形成提供所述勾扣部滑动的滑动空间。在一些实施态样中，该结合单元的该第一定位部具有至少一个弹臂段及凸肋，各该弹臂段自一该侧立段延伸且朝该本体中央偏斜，该凸肋由该弹臂段末端朝该本体中央方向凸出以配合卡置于其中一该第二定位部。在一些实施态样中，该识别资料载座的该本体具有位于后侧以供设置至少一识别资料的显示面。在一些实施态样中，该识别资料载座还具有设于该本体后侧的承载框，且该承载框与该本体共同形成片状物插槽。在一些实施态样中，该识别资料载座的该本体与该主壳体间形成有供资料卡插置的插置空间。在一些实施态样中，该识别资料载座的该本体还具有无线射频辨识标签的安装机构。在一些实施态样中，该载座安装单元在该第一方向的长度为该识别资料载座在该第一方向的长度至少两倍以上，以提供安装多个所述识别资料载座的空间。本技术具有以下功效：通过该载座安装单元提供可扩充设置多个识别资料载座的空间，而具有选择设置不同种类识别资料的弹性；且识别资料载座可在载座安装单元上调整位置，以满足不同的使用需求。附图说明本技术的其他的特征及功效，将于参照图式的实施方式中清楚地呈现，其中：图1是本技术基板运载容器的第一实施例的立体图；图2是该第一实施例的另一视角立体图；图3是图2中局部区域放大图；图4是说明该第一实施例的识别资料载座与一卡片的立体分解图；图5是说明该识别资料载座的另一视角立体图；图6是说明该第一实施例的识别资料载座可调整位置的后视图；图7是说明该第一实施例的识别资料载座可只设置一个的后视图；图8是说明本技术基板运载容器的第二实施例的识别资料载座的立体图；图9是说明该第二实施例的识别资料载座的另一视角立体图；图10是说明本技术基板运载容器的第三实施例的不完整的立体示意图；及图11是说明该第三实施例的不完整的俯视示意图。具体实施方式在本技术被详细描述之前，应当注意在以下的说明内容中，类似的元件是以相同的编号来表示。参阅图1至图3，本技术基板运载容器100的第一实施例，包含一识别资料载座1及一外壳2。识别资料载座1用以设置识别资料，且识别资料载座1具有一本体11及一结合单元12。该外壳2包括一主壳体21、一封盖22及一载座安装单元23。该封盖22可拆离地与该主壳体21结合以共同界定一容置空间S，用以容置基板(未图示)。在本实施例中，该外壳2还包括连接于该主壳体21底侧的一底座24、连接于该主壳体21左右两侧的两个把手25，及连接于该主壳体21顶侧以供机械手臂抓持搬运的一机器提把26。该主壳体21具有一外壁面211，且该载座安装单元23设于该外壁面211并与该结合单元12对应结合，以将至少一个该识别资料载座1设置于该主壳体21的该外壁面211上。该封盖22位于该主壳体21的前侧，而该第一方向D1则为上下方向。该主壳体21后侧的外壁面211形成有一凹部212，该凹部212在该第一方向D1由该主壳体21的顶侧延伸至底侧，该载座安装单元23设于该凹部212处。结合单元12与载座安装单元23中的至少本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基板运载容器，其特征在于：包含：/n至少一识别资料载座，用以设置识别资料，该识别资料载座具有本体及结合单元；及/n外壳，包括主壳体、封盖及载座安装单元，该封盖可拆离地与该主壳体结合以共同界定容置空间，该主壳体具有外壁面，该载座安装单元设于该外壁面并与该结合单元对应结合，/n其中，该结合单元与该载座安装单元中的至少一者是沿第一方向设置或延伸，且该结合单元与该载座安装单元是以两者在该第一方向上的相对位置可变地结合，以使该识别资料载座可受操作地设置于该主壳体的该外壁面上位于该第一方向上的不同位置。/n

【技术特征摘要】
1.一种基板运载容器，其特征在于：包含：
至少一识别资料载座，用以设置识别资料，该识别资料载座具有本体及结合单元；及
外壳，包括主壳体、封盖及载座安装单元，该封盖可拆离地与该主壳体结合以共同界定容置空间，该主壳体具有外壁面，该载座安装单元设于该外壁面并与该结合单元对应结合，
其中，该结合单元与该载座安装单元中的至少一者是沿第一方向设置或延伸，且该结合单元与该载座安装单元是以两者在该第一方向上的相对位置可变地结合，以使该识别资料载座可受操作地设置于该主壳体的该外壁面上位于该第一方向上的不同位置。


2.根据权利要求1所述基板运载容器，其特征在于：该结合单元和该载座安装单元其中一者还包括滑槽且其中另一者还包括滑轨，该滑轨配合卡设于该滑槽中以使该识别资料载座可受操作地沿该第一方向滑移。


3.根据权利要求2所述基板运载容器，其特征在于：该滑槽由多个勾扣部共同界定。


4.根据权利要求1所述基板运载容器，其特征在于：该识别资料载座包括至少一第一定位部，该主壳体包括多个用以供该第一定位部定位的第二定位部，所述第二定位部沿该第一方向排列以使该识别资料载座可受操作地设置于该主壳体的该外壁面上位于该第一方向上的不同位置。


5.根据权利要求1所述基板运载容器，其特征在于：该封盖位于该主壳体的前侧，该第一方向为上下方向，该主壳体后侧的该外壁面形成有凹部，该凹部在该第一方向由该主壳体的顶侧延伸至底侧，该载座安装单元设于该凹部处。


6.根据权利要求5所述基板运载容器，其特征在于：该结合单元还包括多个勾扣部以共同界定滑槽，该载座安装单元还包括由矩形凸台形成的滑轨，且该滑轨与该滑槽相配合以使该识别资料载座可受操作地沿该第一方向滑移。


7.根据权利要求6所述基板运载容器，其特征在于：该识别资料载座的该结合单元包括至少一第一定位部，该外壳的该载座安装单元包括多个用以供该第一定位部定位的第...

【专利技术属性】
技术研发人员：邱铭隆，杨宗益，
申请(专利权)人：中勤实业股份有限公司，
类型：新型
国别省市：中国台湾;71