阀组合体制造技术

本发明专利技术涉及能够容易地设置在真空室的排气线且阀构成排气线的一部分而通过阀的水平移动来完全阻断流入闸阀内部的工程污染物质及副产物且排气效果极佳的阀组合体，本发明专利技术的阀组合体包括：阀外壳，在真空腔室排气线的一部分被去除的状态下，被插入设置到所述排气线的去除部分，向所述排气线的连通方向开口且向垂直于所述连通方向的方向具有一定的内部空间；阀，可水平移动地设置在所述阀外壳内部，在所述阀外壳内部水平移动而连通或阻断所述排气线；阀驱动部，与所述阀相连地设置在所述阀外壳的一侧，使得所述阀向垂直于所述排气线的方向水平移动；阀移动引导部，设置在所述阀外壳内部而引导所述阀的移动路线。

Valve combination

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】阀组合体
本专利技术涉及阀组合体，更具体地说，涉及能够容易地设置在真空室的排气线且阀构成排气线的一部分而通过阀的水平移动来完全阻断流入闸阀内部的工程污染物质及副产物且排气效果极佳的阀组合体。
技术介绍
在半导体、LCD、LED、太阳电池等精密制造领域，广泛使用制造过程中能够保持设备内部压力低于大气压的真空设备。这种真空设备包括用于抽吸和排出真空设备内部的气体以保持真空设备内部较低压力的真空泵以及连接该真空泵和真空设备的排气管线。并且，该排气线上设置有闸阀而用于排气线本身的开闭。现有的闸阀如图1所示，设置在排气线10的中间，包括阀外壳40，阀20以及阀驱动部(附图中未示出)。首先，阀20是阻断所述排气线10的构件，向垂直于所述排气线10的方向移动。并且，所述阀外壳40提供所述阀20移动的路线，设置在排气线10而起到防止通过排气线排出的气体向外部泄漏的作用。最后，阀驱动部结合到所述阀20的后端而起到驱动所述阀20的作用。但是，这种结构的闸阀如图1所示，闸阀内阀20与阀外壳40之间的空间未被阻断，存在通过排气线10排出的工程副产物或污染物质30积聚在所述阀外壳40内部及阀20表面的问题。因工程副产物或污染物质30积聚在阀外壳40内部或阀20上，存在导致阀外壳40或阀20腐蚀而产生驱动不良且需要频繁维修的致命问题，以及因不必要的摩擦导致排气能力下降的问题。
技术实现思路
(要解决的技术问题)本专利技术要解决的技术问题是提供一种能够容易地设置在真空室的排气线，阀构成排气线的一部分而通过该阀的水平移动来完全阻断流入闸阀内部的工程污染物质及副产物且排气效果极佳的阀组合体。(解决问题的手段)用于解决前述技术问题的本专利技术的阀组合体包括：阀外壳，在真空腔室排气线的一部分被去除的状态下，被插入设置到所述排气线的去除部分，向所述排气线的连通方向开口且向垂直于所述连通方向的方向具有一定的内部空间；阀，可水平移动地设置在所述阀外壳内部，在所述阀外壳内部水平移动而连通或阻断所述排气线；阀驱动部，与所述阀相连地设置在所述阀外壳的一侧，使得所述阀向垂直于所述排气线的方向水平移动；阀移动引导部，设置在所述阀外壳内部而引导所述阀的移动路线。并且，本专利技术中，优选地，所述阀外壳包括：外壳主体，提供所述阀的水平移动空间；一对开口部，结合到所述外壳主体中所述排气线的状态下向所述排气线的连通方向开口。并且，本专利技术中，优选地，所述阀包括：上部叶片，连通或阻断所述一对开口部中的上侧开口部；下部叶片，与上部叶片并排设置在所述上部叶片下侧，连通或阻断所述一对开口部中的下侧开口部；叶片连接部，设置在所述上部叶片与下部叶片之间，以能够自由改变所述上部叶片与下部叶片之间的间隔地连接所述上部叶片与下部叶片；多个突起部，在所述上下部叶片的各侧面突出，可滑动地结合到所述阀移动引导部。并且，本专利技术中，优选地，所述上部叶片包括：连通孔，以厚度方向贯通所述上部叶片而形成；密封部，邻接所述连通孔而形成，形成大小与所述连通孔相同的密封件插入槽；密封件，插入设置到所述密封件插入槽，所述密封部阻断所述阀外壳的开口部时，阻断所述上部叶片与阀外壳之间的缝隙。并且，本专利技术中，优选地，所述阀驱动部包括：叶片连接部，设置在所述阀外壳内部，分别结合到所述上下部叶片；动力提供部，设置在所述阀外壳外部，提供使得所述叶片连接部水平移动的动力；连接轴，连接所述动力提供部与所述叶片连接部。并且，本专利技术中，优选地，所述叶片连接部包括：连接模块，具有向与水平移动方向相同的方向以一定间隔隔开形成的一对安装长孔；一对滑动模块，可滑动地设置在各个所述安装长孔；一对连接销，其一端可转动地结合到所述各滑动模块，另一端可转动地结合到各个所述上下部叶片的内面。并且，优选地，本专利技术的阀组合体还具有：加热部，设置在所述外壳主体中开口部附近，加热所述阀外壳内部。并且，优选地，本专利技术的阀组合体还具有：正压保持部，设置在所述外壳主体，向所述外壳主体与阀之间的空间喷射惰性气体。并且，优选地，本专利技术的阀组合体还具有：压力保持线，贯通所述外壳主体，一端向所述排气线中的腔室侧排气线开口，另一端向所述排气线中的泵侧排气线开口；慢泵阀，设置在所述压力保持线中，约束所述压力保持线。并且，本专利技术中，优选地，所述外壳主体包括：筒状的下侧主体，上面开放且具有一定的内部空间；主体盖，结合到所述下侧主体的上面而覆盖所述下侧主体的开放的上面，并且，所述一对开口部是在所述下侧主体及主体盖上各形成一个。并且，优选地，本专利技术的阀组合体还具有：轴承部，分别设置在所述上下部叶片的侧面，减少所述上下部叶片侧面与所述阀外壳内面之间的摩擦力。并且，本专利技术中，优选地，所述一对连接销以向所述一对滑动模块相对的方向形成锐角。并且，优选地，本专利技术的阀组合体还具有：外壳主体连接线，在压力保持线中间连通，与所述阀外壳内部空间连通。并且，优选地，本专利技术的阀组合体还具有：隔热板，设置在所述阀外壳与动力提供部之间，阻断所述阀外壳与动力提供部之间的热传递。并且，本专利技术中，优选地，所述移动引导部形成水平区间及倾斜区间，阴刻形成在所述外壳主体的内面，向连通位置及阻断位置引导所述阀。(专利技术的效果)本专利技术的阀组合体的优点在于，能够容易地设置在真空室的排气线且阀构成排气线的一部分而通过阀的水平移动来完全阻断流入闸阀内部的工程污染物质及副产物且排气效果极佳。附图说明图1是示出现有的阀组合体的结构的图。图2是示出本专利技术的一个实施例的阀组合体的结构的剖视图。图3是示出本专利技术的一个实施例的阀外壳的结构的立体图。图4是示出本专利技术的一个实施例的阀组合体的结构的立体图。图5是示出本专利技术的一个实施例的上部叶片的结构的平面图。图6是示出本专利技术的一个实施例的阀移动引导部的结构的图。图7，8是示出本专利技术的一个实施例的阀驱动部的驱动过程的图。图9是示出本专利技术的一个实施例的压力保持线及慢泵阀的结构的图。最佳实施方式下面参照附图详细地说明本专利技术的具体实施例。本实施例的阀组合体1如图2至4所示，可以包括阀外壳主体100，阀200，阀驱动部300及阀移动引导部400。首先，所述阀外壳100如图2所示，在真空腔室排气线10的一部分被去除的状态下，被插入设置到所述排气线10的去除部分，提供设置阀组合体1的其他构件的空间。并且，所述阀外壳100如图2，3所示，向所述排气线10的连通方向开口且向垂直于所述连通方向的方向具有一定的内部空间。其中，连通方向是指如图2所示的排气线10的排气流动的方向，附图中从上侧朝向下侧的方向D1。为此，本实施例中所述阀外壳100具体如图3所示，可以由外壳主体110与一对开口部120构成。所述外壳主体110的内部具有阀200能够水平移动的一定的空间，所述一对开口部120在结合到所述外壳主体110中所述排气线10的状态下，向所述排气线10的连通本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种阀组合体，包括：/n阀外壳，在真空腔室排气线的一部分被去除的状态下，被插入设置到所述排气线的去除部分，向所述排气线的连通方向开口且向垂直于所述连通方向的方向具有一定的内部空间；/n阀，可水平移动地设置在所述阀外壳内部，在所述阀外壳内部水平移动而连通或阻断所述排气线；/n阀驱动部，与所述阀相连地设置在所述阀外壳的一侧，使得所述阀向垂直于所述排气线的方向水平移动；/n阀移动引导部，设置在所述阀外壳内部而引导所述阀的移动路线。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20171013 KR 10-2017-01331231.一种阀组合体，包括：
阀外壳，在真空腔室排气线的一部分被去除的状态下，被插入设置到所述排气线的去除部分，向所述排气线的连通方向开口且向垂直于所述连通方向的方向具有一定的内部空间；
阀，可水平移动地设置在所述阀外壳内部，在所述阀外壳内部水平移动而连通或阻断所述排气线；
阀驱动部，与所述阀相连地设置在所述阀外壳的一侧，使得所述阀向垂直于所述排气线的方向水平移动；
阀移动引导部，设置在所述阀外壳内部而引导所述阀的移动路线。


2.根据权利要求1所述的阀组合体，其特征在于，
所述阀外壳包括：
外壳主体，提供所述阀的水平移动空间；
一对开口部，结合到所述外壳主体中所述排气线的状态下向所述排气线的连通方向开口。


3.根据权利要求2所述的阀组合体，其特征在于，
所述阀包括：
上部叶片，连通或阻断所述一对开口部中的上侧开口部；
下部叶片，与上部叶片并排设置在所述上部叶片下侧，连通或阻断所述一对开口部中的下侧开口部；
叶片连接部，设置在所述上部叶片与下部叶片之间，以能够自由改变所述上部叶片...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵趌泳，金钟鹤，
申请(专利权)人：莱恩TMD有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国;KR