输送系统技术方案

输送系统(1)具备行驶区域(3)和悬吊式行驶台车(10)。行驶区域(3)包括格子区域(3a)和直线区域(3b)。格子区域(3a)通过将多个第一轨道(31)排列配置，并且将多个第二轨道(32)以与第一轨道(31)交叉的方式排列配置，从而具有由第一轨道(31)与第二轨道(32)围起来的同一形状的多个单位块，在包围该单位块的第一轨道(31)及第二轨道(32)双方，形成有使支承体通过的间隙且是与各轨道(第一轨道(31)或第二轨道(32))的长边方向正交的间隙。直线区域(3b)的行驶方向规定为第一方向或第二方向，并且未形成有与行驶方向正交的间隙。

conveying system

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】输送系统
本专利技术主要涉及输送系统。
技术介绍
以往，在半导体制造工厂等设施中，为了输送各种物品，使用有具备轨道和沿着轨道行驶的行驶台车的输送系统。这种输送系统例如在专利文献1中公开。专利文献1的输送系统为将正交的两个方向的轨道排列配置，并使顶棚行驶车沿着该轨道行驶的结构。在轨道的下方配置有处理顶棚行驶车输送的半导体晶圆的装载口、及暂时保管在装载口交接的半导体晶圆的缓存区等。专利文献1：日本特开2016-175506号公报由于行驶台车沿着轨道行驶，因此上述的装载口及缓存区等只能设置在轨道上。在专利文献1中，由轨道围起来的区域的大小不均匀。在这样的轨道中，设施的空间未被充分地有效利用，仍有改善的余地。
技术实现思路
本专利技术是鉴于以上的情况所做出的，其主要目的在于提供配置有能够充分地有效利用空间那样的轨道的输送系统。本专利技术欲解决的课题如以上那样，接下来对用于解决该课题的方法及其效果进行说明。根据本专利技术的观点，提供以下结构的输送系统。即，该输送系统具备行驶区域和悬吊式行驶台车。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种输送系统，其特征在于，具备：/n行驶区域，其由沿着第一方向配置的多个第一轨道、及沿着与所述第一方向正交的第二方向配置的多个第二轨道构成；和/n悬吊式行驶台车，其具有支承体，所述悬吊式行驶台车在由该支承体支承于所述第一轨道或所述第二轨道的状态下在所述行驶区域行驶，/n所述行驶区域包括：/n格子区域，其通过将多个所述第一轨道排列配置，并且将多个所述第二轨道以与所述第一轨道交叉的方式排列配置，从而具有由所述第一轨道与所述第二轨道围起来的同一形状的多个单位块，在包围该单位块的所述第一轨道及所述第二轨道双方，形成有使所述支承体通过的间隙且是与各轨道的长边方向正交的间隙；和/n直线区域，其行驶方向...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20171031 JP 2017-2101201.一种输送系统，其特征在于，具备：
行驶区域，其由沿着第一方向配置的多个第一轨道、及沿着与所述第一方向正交的第二方向配置的多个第二轨道构成；和
悬吊式行驶台车，其具有支承体，所述悬吊式行驶台车在由该支承体支承于所述第一轨道或所述第二轨道的状态下在所述行驶区域行驶，
所述行驶区域包括：
格子区域，其通过将多个所述第一轨道排列配置，并且将多个所述第二轨道以与所述第一轨道交叉的方式排列配置，从而具有由所述第一轨道与所述第二轨道围起来的同一形状的多个单位块，在包围该单位块的所述第一轨道及所述第二轨道双方，形成有使所述支承体通过的间隙且是与各轨道的长边方向正交的间隙；和
直线区域...

【专利技术属性】
技术研发人员：虎泽政佳，石川和广，
申请(专利权)人：村田机械株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP