相对于对象物使第一移动体和第二移动体直线移动的装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术：经导轨引导而直线移动的第一基体、第二基体(10、20)；沿着移动方向以规定间距设有刻度(34)的线性标度尺(33)；以及装设于第一基体、第二基体(10、20)的第一编码器头、第二编码器头(17、27)；且一面将第一编码器头、第二编码器头(17、27)的间隔保持于规定间隔a而使第一基体、第二基体(10、20)沿着导轨移动，一面逐次利用第一编码器头、第二编码器头(17、27)来检测第一编码器头、第二编码器头(17、27)所处的第一刻度编号B1(n)、第二刻度编号B2(n)，根据规定间隔a与第一刻度编号B1(n)和第二刻度编号B2(n)之间的标度尺上的距离A(n)的比率，控制第一基体、第二基体(10、20)的移动量。

Device and method for moving the first moving body and the second moving body in a straight line relative to the object

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】相对于对象物使第一移动体和第二移动体直线移动的装置及方法
本专利技术涉及一种相对于对象物使第一移动体和第二移动体直线移动的装置以及方法。
技术介绍
例如在半导体装置的制造中，使用将半导体裸片(die)等的电子零件安装于基板或其他半导体裸片的安装装置，或将引线(wire)接合于半导体裸片的电极及基板的电极的打线接合(wire-bonding)装置等的许多接合装置。接合装置具备搭载于XY台上的接合头(bondinghead)、安装于接合头且使接合工具(bondingtool)在上下方向上移动的接合臂(bondingarm)、及安装于接合头且检测基板的接合位置的位置检测用照相机。接合工具的中心线与位置检测用照相机的光轴是间隔规定的偏离距离(offsetdistance)而配置。而且，将位置检测用照相机的光轴对准接合位置后，使接合头以偏离距离移动，使接合工具的中心线移动至接合位置，而进行接合的情形很多。另一方面，若持续进行接合动作，则偏离距离因温度上升而变化。因此，有时即便将位置检测用照相机的光轴对准接合位置后使接合头以偏离距离移动，接合工具的中心线也未成为接合位置。因此，提出有在接合动作的中间较正偏离距离的接合装置(例如参照专利文献1)。现有技术文献专利文献专利文献1：日本专利特开2001-203234号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的问题再者，接合装置中，在检测具有接合头的基体(base)的移动量时，使用线性标度尺(linearscale)的情形很多。在所述情形时，若接合装置的温度上升，则有线性标度尺膨胀，根据线性标度尺的刻度而移动的基体的移动量产生误差的问题。另外，线性标度尺的温度上升并不一致，因此线性标度尺的热膨胀量也依据部位而不同的情形很多。因此，有因接合头的位置检测精度降低而导致电子零件的安装精度降低等问题。因此，本专利技术的目的在于提高移动体的移动精度。解决问题的技术手段本专利技术的装置相对于对象物使第一移动体和第二移动体直线移动，且其特征在于包括：第一移动体，经轨道引导而直线移动；第二移动体，经轨道引导而直线移动；标度尺，沿着轨道而配置，且沿着移动方向以规定间距设有多个刻度；第一检测部，配置于第一移动体，且检测标度尺的刻度编号；第二检测部，配置于第二移动体，且检测标度尺的刻度编号；以及控制部，一面将第一检测部与第二检测部的间隔保持于规定间隔而使第一移动体及第二移动体沿着轨道移动，一面逐次利用第一检测部及第二检测部来检测第一检测部所处的第一刻度编号及第二检测部所处的第二刻度编号，根据第一检测部和第二检测部之间的规定间隔、与第一刻度编号和第二刻度编号之间的标度尺上的距离的比率，控制第一移动体及第二移动体的移动量。本专利技术的装置中，第一移动体及第二移动体分别为将半导体裸片搬送至对象物的搬送机构，对象物为供安装所搬送的半导体裸片的基板或其他半导体裸片，且装置可为将半导体裸片安装于对象物的装置。本专利技术的装置中，还包括使第一移动体驱动的第一驱动部、及使第二移动体驱动的第二驱动部，控制部可使第一驱动部或第二驱动部的任一者驱动而将第一移动体或第二移动体中的一者按压于另一者，一面将第一检测部与第二检测部的间隔保持于规定间隔，一面使第一移动体及第二移动体同时移动。本专利技术的装置中，控制部也可根据规定间隔与第一刻度编号和第二刻度编号之间的标度尺上的距离的比率，算出距标度尺一端的各规定的刻度数的位置补正系数。本专利技术的装置中，包括检测第一移动体或第二移动体距基准位置的距离的距离检测器，控制部可将第一检测部与第二检测部保持于规定间隔，一面通过距离检测器来检测第一移动体或第二移动体距基准位置的距离，一面使第一移动体及第二移动体移动参照距离，通过第一检测部或第二检测部来检测使第一移动体及第二移动体移动参照距离之前与移动参照距离之后的标度尺的刻度编号差，根据参照距离及刻度编号差而修正移动量。本专利技术的装置中：间隔参照距离而配置有位置标记的参照构件装设于第一移动体且获取位置标记的图像的第一图像获取机构、及装设于第二移动体且获取位置标记的图像的第二图像获取机构，控制部可根据由第一图像获取机构或第二图像获取机构所获取的位置标记的图像使第一移动体及第二移动体移动参照距离，通过第一检测部或第二检测部来检测使第一移动体及第二移动体移动之前与移动之后的标度尺的刻度编号差，根据参照距离及刻度编号差而修正移动量。本专利技术的装置中也可包含安装电子零件的安装平台，轨道为在X方向上延伸的两条线性导轨，第一移动体为以横跨安装平台上的方式在Y方向上延伸，且两端分别经两条线性导轨引导而在X方向上移动的第一门架，第二移动体为以横跨安装平台上的方式与第一门架平行地在Y方向上延伸，且两端分别经两条线性导轨引导而在X方向上移动的第二门架，标度尺是沿着其中一条线性导轨配置，第一检测部装设于第一门架的标度尺的一侧的端部，第二检测部装设于第二门架的标度尺的一侧的端部。本专利技术的方法相对于对象物使第一移动体和第二移动体直线移动，且其特征在于包括：准备装置的步骤，所述装置包括经轨道引导而直线移动的第一移动体、经轨道引导而直线移动的第二移动体、沿着轨道而配置且沿着移动方向以规定间距设有多个刻度的标度尺、配置于第一移动体的第一检测部、及配置于第二移动体的第二检测部；刻度编号检测步骤，一面将第一检测部与第二检测部的间隔保持于规定间隔使第一移动体及第二移动体沿着轨道移动，一面逐次利用第一检测部及第二检测部来检测第一检测部所处的第一刻度编号及第二检测部所处的第二刻度编号；以及移动量控制步骤，根据第一检测部和第二检测部之间的规定间隔与第一刻度编号和第二刻度编号之间的标度尺上的距离的比率，控制第一移动体及第二移动体的移动量。本专利技术的方法中也可包括：补正系数算出步骤，根据规定间隔与第一刻度编号和第二刻度编号之间的标度尺上的距离的比率，算出距标度尺一端的各规定的刻度数的位置补正系数。本专利技术的方法中，也可使装置包括检测第一移动体或第二移动体距基准位置的距离的距离检测器，且所述方法包括：移动量修正步骤，将第一检测部与第二检测部保持于规定间隔，一面通过距离检测器来检测第一移动体或第二移动体距基准位置的距离，一面使第一移动体及第二移动体移动参照距离，通过第一检测部或第二检测部来检测使第一移动体及第二移动体移动参照距离之前与移动参照距离之后的标度尺的刻度编号差，根据参照距离及刻度编号差而修正移动量。本专利技术的方法中，也可使装置包括间隔参照距离而配置有位置标记的参照构件、装设于第一移动体且获取位置标记的图像的第一图像获取机构、及装设于第二移动体且获取位置标记的图像的第二图像获取机构，且所述方法包括：移动量修正步骤，根据由第一图像获取机构或第二图像获取机构所获取的位置标记的图像，使第一移动体及第二移动体移动参照距离，通过第一检测部或第二检测部来检测使第一移动体及第二移动体移动之前与移动之后的标度尺的刻度编号差，根据参照距离及刻度编号差而修正移动量。专利技术的效果本专利技术可提高移动体的移动本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种相对于对象物使第一移动体和第二移动体直线移动的装置，包括：/n所述第一移动体，经轨道引导而直线移动；/n所述第二移动体，经所述轨道引导而直线移动；/n标度尺，沿着所述轨道而配置，且沿着移动方向以规定间距设有多个刻度；/n第一检测部，配置于所述第一移动体，且检测所述标度尺的刻度编号；/n第二检测部，配置于所述第二移动体，且检测所述标度尺的刻度编号；以及/n控制部，一面将所述第一检测部与所述第二检测部的间隔保持于规定间隔而使所述第一移动体及所述第二移动体沿着所述轨道移动，一面逐次利用所述第一检测部及所述第二检测部来检测所述第一检测部所处的第一刻度编号及所述第二检测部所处的第二刻度编号，根据所述第一检测部和所述第二检测部之间的所述规定间隔、与所述第一刻度编号和所述第二刻度编号之间的标度尺上的距离的比率，控制所述第一移动体及所述第二移动体的移动量。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20170828 JP 2017-1631101.一种相对于对象物使第一移动体和第二移动体直线移动的装置，包括：
所述第一移动体，经轨道引导而直线移动；
所述第二移动体，经所述轨道引导而直线移动；
标度尺，沿着所述轨道而配置，且沿着移动方向以规定间距设有多个刻度；
第一检测部，配置于所述第一移动体，且检测所述标度尺的刻度编号；
第二检测部，配置于所述第二移动体，且检测所述标度尺的刻度编号；以及
控制部，一面将所述第一检测部与所述第二检测部的间隔保持于规定间隔而使所述第一移动体及所述第二移动体沿着所述轨道移动，一面逐次利用所述第一检测部及所述第二检测部来检测所述第一检测部所处的第一刻度编号及所述第二检测部所处的第二刻度编号，根据所述第一检测部和所述第二检测部之间的所述规定间隔、与所述第一刻度编号和所述第二刻度编号之间的标度尺上的距离的比率，控制所述第一移动体及所述第二移动体的移动量。


2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于所述第一移动体及所述第二移动体分别为将半导体裸片搬送至所述对象物的搬送机构，
所述对象物为供安装所搬送的所述半导体裸片的基板或其他半导体裸片，且
所述装置为将所述半导体裸片安装于所述对象物的装置。


3.根据权利要求1或2所述的装置，还包括：
第一驱动部，使所述第一移动体驱动；以及
第二驱动部，使所述第二移动体驱动；且
所述控制部使所述第一驱动部或所述第二驱动部的任一者驱动而将所述第一移动体或所述第二移动体中的一者按压于另一者，一面将所述第一检测部与所述第二检测部的间隔保持于所述规定间隔，一面使所述第一移动体及所述第二移动体同时移动。


4.根据权利要求1或2所述的装置，其中所述控制部根据所述规定间隔、与所述第一刻度编号和所述第二刻度编号之间的标度尺上的距离的比率，算出距所述标度尺一端的各规定的刻度数的位置补正系数。


5.根据权利要求1所述的装置，包括检测所述第一移动体或所述第二移动体距基准位置的距离的距离检测器，
所述控制部将所述第一检测部与所述第二检测部保持于所述规定间隔，一面通过所述距离检测器来检测所述第一移动体或所述第二移动体距所述基准位置的距离，一面使所述第一移动体及所述第二移动体移动参照距离，并且通过所述第一检测部或所述第二检测部来检测使所述第一移动体及所述第二移动体移动所述参照距离之前与移动所述参照距离之后的所述标度尺的刻度编号差，
根据所述参照距离及所述刻度编号差修正所述移动量。


6.根据权利要求1所述的装置：
参照构件，间隔参照距离而配置有位置标记；
第一图像获取机构，装设于所述第一移动体，且获取所述位置标记的图像；以及
第二图像获取机构，装设于所述第二移动体，且获取所述位置标记的图像；
所述控制部根据由所述第一图像获取机构或所述第二图像获取机构所获取的所述位置标记的图像，使所述第一移动体及所述第二移动体移动所述参照距离，并且通过所述第一检测部或所述第二检测部来检测使所述第一移动体及所述第二移动体移动之前与移动之后的所述标度尺的刻度编号差，
根据所述参照距离及所述刻度编号差修正所述移动量。


7.根据权利要求1或2或5或6所述的装置，包括安装电子零件的安装平台，
所述轨道为在X方向上延伸的两条线性导轨，
所述第一移动体为以横跨所述安装平台上的方式在Y方向上延伸，且两端分别经所述两条线性导轨引导而在X方向上移动的第一门架，
所述第二移动体为以横跨所述安装平台上的方式与所述第一门架平行地在Y方向上延伸，且两端分别经所述两条线性导轨引导而在X方向上移动的第二门架，
所述标度尺是沿着其中一条线性导轨配置，
所述第一检测部装设于所述第一门架的所述标度尺的一侧的端部...

【专利技术属性】
技术研发人员：瀬山耕平，歌野哲弥，野口勇一郎，
申请(专利权)人：株式会社新川，
类型：发明
国别省市：日本;JP