用于检查待测物体的密封性的泄漏检测器制造技术

本发明专利技术涉及一种用于检查待测物体的密封性的泄漏检测器(1)，所述泄漏检测器(1)包括：用于连接待测物体的检测入口(2)；第一泵送装置(3)，它包括(i)第一粗真空泵(5；19)，它包括第一驱动电机(21，25)、串联安装在入口(12)与出口(13)之间的至少一个第一泵送级(T1，T2)和一个第二泵送级(T3)，(ii)至少一个第二粗真空泵(6；20)，它包括第二驱动电机(23，27)、串联安装在入口(14)与出口(15)之间的至少一个第一泵送级(T1’，T2’)和一个第二泵送级(T3’)，粗真空泵(5，6；19，20)的入口(12，14)借助于第一隔离阀(8)并行连接检测入口(2)，和(iii)涡轮分子真空泵(7)，其出口(17)借助于第二隔离阀(9)连接在第一隔离阀(8)与粗真空泵(5，6；19，20)的入口(12，14)之间；和连接涡轮分子真空泵(7)的气体检测器(4)。该泄漏检测器的特征在于，所述至少一个第二粗真空泵(6；20)的出口(15)在第一粗真空泵(5；19)的两个串联的泵送级(T3，T4；T4，T5)之间连接第一粗真空泵(5；19)。

Leak detector for checking the tightness of the object to be tested

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于检查待测物体的密封性的泄漏检测器
本专利技术涉及一种用于检测待测物体的密封性的泄漏检测器。
技术介绍
所谓的喷射式泄漏检测技术包括借助于泄漏检测器将待测物体内部的气体排空至低压。然后通过喷雾在物体周围形成富含示踪气体的气氛。泄漏检测器检查所吸入的气体中是否存在任何示踪气体。该方法依赖于对示踪气体通过待测物体中的任何泄漏部位的检测。通常使用氦气或氢气作为示踪气体，因为这些气体由于它们的分子尺寸小且移动速度快而比其它气体更容易通过小泄漏部位。为了降低待测物体中的压力，泄漏检测器包括泵送系统，该泵送系统可以包括粗真空泵和安装在粗真空泵的上游并与之串联的涡轮分子真空泵。涡轮分子真空泵首先与待测物体隔离，以使用粗真空泵降低待测物体中的压力，然后在压力越过下限阈值之后连接到待测物体。为了获得良好的测量灵敏度，泵送系统所实现的极限真空压力必须尽可能低。粗真空泵的泵送速度还必须足以将待测物体内部的压力迅速降低到尽可能低的水平。为了降低极限真空压力，一种解决方案包括使用具有串联安装的大量泵送级的粗真空泵。然而，此构型不能提高排空期间的泵送速度。为了提高泵送速度，一种解决方案是将第二粗真空泵与第一粗真空泵并行连接。然而，该解决方案无法降低极限真空压力。这会产生明显的背景噪声，从而使对弱氦信号的检测变得困难。此外，粗真空泵、尤其是隔膜真空泵的泵送性能会随着老化而降低，从而提高了可以实现的极限真空压力。这会阻碍越过下限压力阈值而使泵送能够切换到涡轮分子真空泵。一种解决方案是使用附加涡轮分子真空泵，它插置在主涡轮分子真空泵与粗真空泵之间。该附加涡轮分子真空泵在于大气压下抽空物体时连接到待测物体。然而，该解决方案可能相对昂贵。另外，必须由该附加涡轮分子真空泵吸收的重复进气口可能会成为故障的来源。
技术实现思路
本专利技术的一个目的是提出一种泄漏检测器，该泄漏检测器能够实现低的极限真空压力，同时在大气压下具有高泵送速度，该泄漏检测器必须随着时间的流逝而具有稳健性，并且具有合理的成本和尺寸。为此，本专利技术涉及一种用于检查待测物体的密封性的泄漏检测器，该泄漏检测器包括：-用于连接待测物体的检测入口，-泵送设备，该泵送设备包括：--第一粗真空泵，其包括第一驱动电机、串联安装在入口与出口之间的至少一个第一和一个第二泵送级，--至少一个第二粗真空泵，其包括第二驱动电机、串联安装在入口与出口之间的至少一个第一和一个第二泵送级，这些粗真空泵的入口借助于第一隔离阀并行地连接到检测入口，--涡轮分子真空泵，其具有借助于第二隔离阀连接在第一隔离阀与粗真空泵的入口之间的出口，-连接到涡轮分子真空泵的气体检测器，其特征在于，所述至少一个第二粗真空泵的出口在第一粗真空泵的两个串联的泵送级之间连接到第一粗真空泵。本专利技术背后的思想是通过将一个粗真空泵的出口连接在另一粗真空泵的泵送级之间而对通常用于在环境压力下排出待泵送气体的粗真空泵进行创新性使用。将第二粗真空泵连接在第一粗真空泵的泵送级之间使得既可以获得所述至少两个粗真空泵的第一泵送级的泵送速度，又可以降低由第二粗真空泵的泵送级和第一粗真空泵的最后泵送级产生的极限真空压力。在极限真空下，通过这样的第二粗真空泵的泵送级进行泵送是有效的，即，在连接第二粗真空泵的出口之后向其上添加第一粗真空泵的至少一个最后的泵送级。这种布置结构是违背直觉的。宁愿认为所获得的极限真空压力将与使用单个粗真空泵获得的压力相同。因此可以降低待测物体的极限真空压力。这使得可以减少背景示踪气体，并因此可以显着提高测量灵敏度。极限真空压力的降低还可以获得关于可以由粗真空泵的老化引起的性能损失的余量。因此，关于泵的老化，获得了提高的稳健性。根据单独或组合看待的泄漏检测器的一个或多个特征：-所述至少一个第二个粗真空泵的出口连接在第一粗真空泵的倒数第二个泵送级和最后一个泵送级之间，-所述至少两个粗真空泵是隔膜泵，-第一粗真空泵的泵送级的隔膜构造成借助于第一驱动电机移动，第二粗真空泵的泵送级的隔膜构造成借助于第二驱动电机移动，-所述至少两个粗真空泵是螺杆泵或涡旋泵，-所述至少两个粗真空泵包括两个转子，例如罗茨转子，-所述至少两个粗真空泵包括两个转子，这些转子构造成被驱动为在每个泵送级中沿相反方向以同步方式旋转，-第一粗真空泵的转子构造成由第一驱动电机驱动，第二粗真空泵的转子构造成由第二驱动电机驱动，-所述至少两个粗真空泵具有相同的泵送级构型，-至少一个粗真空泵包括至少两个并行安装的第一泵送级，-至少一个粗真空泵包括至少三个串联安装的泵送级，-该泄漏检测器包括净化(吹扫)装置，该净化装置构造成在第二粗真空泵的两个泵送级之间供应净化气体。附图说明通过阅读下面连同附图一起对本专利技术的特定的但决非限制性的实施例的描述，本专利技术的其它优点和特征将变得显而易见，在附图中：图1示出了根据第一实施例的泄漏检测器的概略图。图2示出了以最大转速泵送和以降低的转速泵送的曲线图，显示了对于两个根据本专利技术的隔膜粗真空泵(曲线A)和两个具有公共入口和公共出口的隔膜粗真空泵(曲线B)根据时间(以秒为单位)获得的连接到泄漏检测器的待测试物体的压降(以毫巴为单位)。图3示出了根据另一实施例的泄漏检测器的概略图。在附图中，相同的元件具有相同的附图标记。具体实施方式下面的实施例为示例。尽管描述引用了一个或多个实施例，但这不一定是意味着每次引用涉及同一实施例或特征仅适用于一个实施例。不同实施例的简单特征也可以组合或互换以提供其它实施例。粗真空泵是指正排量真空泵，它吸入、转移并且然后排出要泵送的气体。在常规使用中，粗真空泵构造成使得它可以在环境压力下排出待泵送的气体。“上游”用于描述关于气体流动方向放置在另一元件之前的元件。相反，“下游”用于描述关于待泵送气体的流动方向放置在另一元件之后的元件，位于上游的元件的压力低于位于下游的元件的压力。“极限真空”是指在不引入气流(任何可忽略的背景气流除外)时由真空泵获得的最小压力。图1示出了用于例如通过示踪气体喷射来检查待测物体的密封性的泄漏检测器1。该泄漏检测器1包括用于连接到待测物体的检测入口2、泵送装置3和气体检测器4。泵送装置3包括第一粗真空泵5、至少一个第二粗真空泵6、涡轮分子真空泵7、第一和第二隔离阀8、9以及至少一个采样阀10a、10b。气体检测器4连接到涡轮分子真空泵7，例如连接到其进气口11。气体检测器4包括例如质谱仪。涡轮分子真空泵7的出口17借助于第二隔离阀9连接到粗真空泵5、6的入口12、14。泄漏检测器1的检测入口2借助于至少一个采样阀10a、10b例如连接到涡轮分子真空泵7的中间级。泵送装置3包括例如至少两个采样阀10a、10b，每个阀10a、10b连接到涡轮分子真空泵7的单独的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于检查待测物体的密封性的泄漏检测器(1)，所述泄漏检测器(1)包括：/n-用于连接到待测物体的检测入口(2)，/n-泵送装置(3)，该泵送装置包括：/n-第一粗真空泵(5；19)，它包括第一驱动电机(21，25)、串联安装在入口(12)与出口(13)之间的至少一个第一泵送级(T1，T2)和一个第二泵送级(T3)，/n-至少一个第二粗真空泵(6；20)，它包括第二驱动电机(23，27)、串联安装在入口(14)与出口(15)之间的至少一个第一泵送级(T1’，T2’)和一个第二泵送级(T3’)，这些粗真空泵(5，6；19，20)的入口(12，14)借助于第一隔离阀(8)并行地连接到所述检测入口(2)，/n-涡轮分子真空泵(7)，它具有借助于第二隔离阀(9)连接在所述第一隔离阀(8)与这些粗真空泵(5，6；19，20)的入口(12，14)之间的出口(17)，/n-连接到所述涡轮分子真空泵(7)的气体检测器(4)，/n其特征在于，所述至少一个第二粗真空泵(6；20)的出口(15)在所述第一粗真空泵(5；19)的两个串联的泵送级(T3，T4；T4，T5)之间连接到所述第一粗真空泵(5；19)。/n...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20171019 FR 17598641.一种用于检查待测物体的密封性的泄漏检测器(1)，所述泄漏检测器(1)包括：
-用于连接到待测物体的检测入口(2)，
-泵送装置(3)，该泵送装置包括：
-第一粗真空泵(5；19)，它包括第一驱动电机(21，25)、串联安装在入口(12)与出口(13)之间的至少一个第一泵送级(T1，T2)和一个第二泵送级(T3)，
-至少一个第二粗真空泵(6；20)，它包括第二驱动电机(23，27)、串联安装在入口(14)与出口(15)之间的至少一个第一泵送级(T1’，T2’)和一个第二泵送级(T3’)，这些粗真空泵(5，6；19，20)的入口(12，14)借助于第一隔离阀(8)并行地连接到所述检测入口(2)，
-涡轮分子真空泵(7)，它具有借助于第二隔离阀(9)连接在所述第一隔离阀(8)与这些粗真空泵(5，6；19，20)的入口(12，14)之间的出口(17)，
-连接到所述涡轮分子真空泵(7)的气体检测器(4)，
其特征在于，所述至少一个第二粗真空泵(6；20)的出口(15)在所述第一粗真空泵(5；19)的两个串联的泵送级(T3，T4；T4，T5)之间连接到所述第一粗真空泵(5；19)。


2.根据前一项权利要求所述的泄漏检测器(1)，其特征在于，所述至少一个第二粗真空泵(6)的出口(15)连接在所述第一粗真空泵(5；19)的倒数第二个泵送级(T3；T4)和最后一个泵送级(T4；T5)之间。


3.根据前述权利要求中任一项所述的泄漏检测器(1)，其特征在于，所述至少两个粗真空泵(5，6)是隔膜泵，所述第一粗真空泵(5)的泵送级(T1...

【专利技术属性】
技术研发人员：J·库隆布，C·诺米内，
申请(专利权)人：普发真空公司，
类型：发明
国别省市：法国;FR