【技术实现步骤摘要】
一种高灵敏度高线性度探测器
本专利技术涉及半导体光电器件、生物探测以及光通信
，具体涉及一种能够对蓝绿光进行探测且具有高灵敏度高线性度的探测器。
技术介绍
由于传统的无线通信方式很难在水下实现有效通信，可见光通信在水下通信方面的应用成为了全球研究的热点；在可见光通信中，由于蓝绿光的波长位于水的透射窗口，水对蓝绿光的吸收系数小，使得蓝绿光通信可在水下传输相对较远的距离，且可获得较高的传输速率。但由于海水中有机物和无机物的浓度更高，光子不可避免地与水分子和水中其他颗粒物质相互作用，吸收和散射仍然严重削弱了透射光信号，使光在海水中传输比在大气中的传输更易衰减，影响通信距离；因此，需要制备一种高响应度的蓝绿光探测器。传统的PN结型光电二极管，由于没有内部增益，光电转换效率不高。雪崩光电二极管(APD)利用雪崩效应将光生自由载流子的数量放大，起到了增益的作用，使其同时具有探测光信号和放大电信号的功能，有较高的灵敏度，可接收极微弱信号光。蓝绿光属于短波光，穿透深度很浅，主要在探测器近表面吸收。传统的垂直结构探测器，表面一般...
【技术保护点】
1.一种高灵敏度高线性度探测器，其特征在于，自上至下包括接触电极、石墨烯透明导电电极、p
【技术特征摘要】
1.一种高灵敏度高线性度探测器，其特征在于，自上至下包括接触电极、石墨烯透明导电电极、p-吸收区、倍增区、n+欧姆接触区和n+欧姆接触电极；
所述p-吸收区的掺杂浓度为1×1016～5×1017cm-3。
2.如权利要求1所述的高灵敏度高线性度探测器，其特征在于，所述探测器的材料为：Si、Ge、SiC，InSb，GaN，Si/Ge，InP/InGaAs或AlGaAs/GaAs材料体系。
3.如权利要求1所述的高灵敏度高线性度探测器，其特征在于，所述接触电极为Al、Au、Ti或Al、Au、Ti中至少两种的合金。
4.如权利要求1所述的高灵敏度高线性度探测器，其特征在于，所述石墨烯透明导电电极与p-吸收区的面积相等，所述p-吸收区的厚度为0.1～10μm。
5.如权利要求1或4所述的高灵敏度高线性度探测器，其特征在于，所述石墨烯透明导电电极为CVD铜基或CVD镍基石墨烯，所述石墨烯透明导电电极为单层或多层石墨烯，所述石墨烯透明导电电极的透...
【专利技术属性】
技术研发人员：李冲，苏佳乐，秦世宏，鲍凯，关锴，徐港，
申请(专利权)人：北京工业大学，
类型：发明
国别省市：北京;11
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。