【技术实现步骤摘要】
一种工业管道加热用三通管加热带
本技术涉及半导体生产设备领域,具体为一种工业管道加热用三通管加热带。
技术介绍
在半导体镀膜工艺过程中,有多种气体透过管路通入腔室。为避免气体冷凝,需要对气体管路进行加热以保持温度,现有技术中,三通管加热时,往往使用多个直管加热的加热带包覆在三通管的主管和支管外表面,致使三通管直角处加热不足容易造成管路结晶的问题。
技术实现思路
本技术的主要目的提供一种工业管道加热用三通管加热带,通过在支管包裹布外表面靠近主管包裹布的位置均设有加热设备,位于主管固定布上的加热丝、位于支管固定布上的加热丝串联和位于加热设备上的加热丝相互串联,可以有效的解决
技术介绍
中的问题。为实现上述目的,本技术采取的技术方案为:一种工业管道加热用三通管加热带,包括外包覆层布,所述外包覆层布内表面填充有保温层,所述保温层上方设有加热层,所述加热层由固定布和加热丝组成,所述保温层上方设有内胆布,所述外包覆层布分为主管包裹布和支管包裹布,所述固定布分为主管固定布和支管固定布,所述主管固定布设置于主管包裹布内表面的位置,所述支管固定布设置于支管包裹布内表面的位置,所述主管固定布正面设置横向串联排列的加热丝,所述支管固定布正面设置有纵向串联排列的加热丝,所述支管包裹布外表面靠近主管包裹布的位置均设有加热设备,所述加热设备中间位置与管包裹布外表面缝合,所述加热设备相互靠近的一侧、所述主管包裹布和支管包裹布相互靠近的一侧均通过魔法贴粘合,所述加热设备由支管包裹布、保温层、固定布、加热丝和内胆布组成,位 ...
【技术保护点】
1.一种工业管道加热用三通管加热带,包括外包覆层布(1),所述外包覆层布(1)内表面填充有保温层(2),所述保温层(2)上方设有加热层(3),所述加热层(3)由固定布(4)和加热丝(5)组成,所述保温层(2)上方设有内胆布(6),其特征在于:/n所述外包覆层布(1)分为主管包裹布(7)和支管包裹布(8);所述固定布(4)分为主管固定布(9)和支管固定布(10);所述主管固定布(9)设置于主管包裹布(7)内表面的位置;所述支管固定布(10)设置于支管包裹布(8)内表面的位置;/n所述主管固定布(9)正面设置横向串联排列的加热丝(5);所述支管固定布(10)正面设置有纵向串联排列的加热丝(5);/n所述支管包裹布(8)外表面靠近主管包裹布(7)的位置均设有加热设备(11);所述加热设备(11)中间位置与管包裹布(8)外表面缝合;所述加热设备(11)相互靠近的一侧、所述主管包裹布(7)和支管包裹布(8)相互靠近的一侧均通过魔法贴粘合;所述加热设备(11)由支管包裹布(8)、保温层(2)、固定布(4)、加热丝(5)和内胆布(6)组成;/n位于主管固定布(9)上的加热丝(5)、位于支管固定布(1 ...
【技术特征摘要】
1.一种工业管道加热用三通管加热带,包括外包覆层布(1),所述外包覆层布(1)内表面填充有保温层(2),所述保温层(2)上方设有加热层(3),所述加热层(3)由固定布(4)和加热丝(5)组成,所述保温层(2)上方设有内胆布(6),其特征在于:
所述外包覆层布(1)分为主管包裹布(7)和支管包裹布(8);所述固定布(4)分为主管固定布(9)和支管固定布(10);所述主管固定布(9)设置于主管包裹布(7)内表面的位置;所述支管固定布(10)设置于支管包裹布(8)内表面的位置;
所述主管固定布(9)正面设置横向串联排列的加热丝(5);所述支管固定布(10)正面设置有纵向串联排列的加热丝(5);
所述支管包裹布(8)外表面靠近主管包裹布(7)的位置均设有加热设备(11);所述加热设备(11)中间位置与管包裹布(8)外表面缝合;所述加热设备(11)相互靠近的一侧、所述主管包裹布(7)和支管包裹布(8)相互靠近的一侧均通过魔法贴粘合;所述...
【专利技术属性】
技术研发人员:揣士敬,方刚,袁理,彭凤飞,朱念祖,
申请(专利权)人:合肥亚笙半导体设备科技有限公司,
类型:新型
国别省市:安徽;34
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