【技术实现步骤摘要】
一种用于检测多种形态半导体性能的检测仪
本专利技术涉及半导体检测
,具体为一种用于检测多种形态半导体性能的检测仪。
技术介绍
半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料,存在的形式多种多样,固体、液体、气体、等离子体等等,在用半导体材料生产半导体元件时,需要对材料的性能进行测试,进而获知该材料制成的半导体元件在使用时的条件或检测是否能满足使用所需,但由于半导体的形式多样,不同形态的半导体进行检测所使用仪器并不相同,使用范围较小。本专利技术阐明的一种能解决上述问题的装置。
技术实现思路
技术问题:现有的半导体材料性能检测装置针对不同形态的半导体材料,所用仪器并不相同,使用范围较小。为解决上述问题,本例设计了一种用于检测多种形态半导体性能的检测仪,本例的一种用于检测多种形态半导体性能的检测仪,包括机体,所述机体内设有检测腔,所述检测腔内前后对称设有通电板,所述检测腔右侧连通设有开口向右的开闭口,所述开闭口内能左右滑动的设有封闭板,所述检测腔下壁左右滑动连接有固定连接于所述封闭板左端面下端的托板,右移所述封闭板能带动所述托板右移并打开所述开闭口,可将固体半导体材料放置于所述托板上,所述通电板相互靠近能与固体半导体材料接触,所述检测腔前后两侧对称设有伸缩装置,所述伸缩装置内设有前后对称且能前后移动并固定连接于所述通电板远离对称中心一侧端面的伸缩杆,所述伸缩杆可带动所述通电板相互靠近或远离,所述检测腔上侧设有抽入装置,所述抽入装置内设有位于所述检测腔上侧的抽入腔,通过所述抽入腔可 ...
【技术保护点】
1.一种用于检测多种形态半导体性能的检测仪,包括机体,其特征在于:所述机体内设有检测腔,所述检测腔内前后对称设有通电板,所述检测腔右侧连通设有开口向右的开闭口,所述开闭口内能左右滑动的设有封闭板,所述检测腔下壁左右滑动连接有固定连接于所述封闭板左端面下端的托板,右移所述封闭板能带动所述托板右移并打开所述开闭口,可将固体半导体材料放置于所述托板上,所述通电板相互靠近能与固体半导体材料接触,所述检测腔前后两侧对称设有伸缩装置,所述伸缩装置内设有前后对称且能前后移动并固定连接于所述通电板远离对称中心一侧端面的伸缩杆,所述伸缩杆可带动所述通电板相互靠近或远离;/n所述检测腔上侧设有抽入装置,所述抽入装置内设有位于所述检测腔上侧的抽入腔,通过所述抽入腔可将气态或液态的半导体抽送至所述检测腔内进行检测,所述抽入腔与所述检测腔之间设有能左右移动的上阀板所述检测腔下侧设有排出装置,所述排出装置内设有连通于所述检测腔下壁并开口向下的排出通道,所述排出通道左右壁内左右贯穿且能左右滑动的设有下阀板,所述托板内上下贯穿设有能与所述排出通道连通的导通口。/n
【技术特征摘要】
1.一种用于检测多种形态半导体性能的检测仪,包括机体,其特征在于:所述机体内设有检测腔,所述检测腔内前后对称设有通电板,所述检测腔右侧连通设有开口向右的开闭口,所述开闭口内能左右滑动的设有封闭板,所述检测腔下壁左右滑动连接有固定连接于所述封闭板左端面下端的托板,右移所述封闭板能带动所述托板右移并打开所述开闭口,可将固体半导体材料放置于所述托板上,所述通电板相互靠近能与固体半导体材料接触,所述检测腔前后两侧对称设有伸缩装置,所述伸缩装置内设有前后对称且能前后移动并固定连接于所述通电板远离对称中心一侧端面的伸缩杆,所述伸缩杆可带动所述通电板相互靠近或远离;
所述检测腔上侧设有抽入装置,所述抽入装置内设有位于所述检测腔上侧的抽入腔,通过所述抽入腔可将气态或液态的半导体抽送至所述检测腔内进行检测,所述抽入腔与所述检测腔之间设有能左右移动的上阀板所述检测腔下侧设有排出装置,所述排出装置内设有连通于所述检测腔下壁并开口向下的排出通道,所述排出通道左右壁内左右贯穿且能左右滑动的设有下阀板,所述托板内上下贯穿设有能与所述排出通道连通的导通口。
2.如权利要求1所述的一种用于检测多种形态半导体性能的检测仪,其特征在于:所述封闭板右端面固定设有便于手推拉的把手。
3.如权利要求1所述的一种用于检测多种形态半导体性能的检测仪,其特征在于:所述伸缩装置包括对称且连通设于所述检测腔前后壁的伸缩腔,所述伸缩杆前后滑动设于所述伸缩腔内,所述伸缩腔远离所述检测腔一侧内壁内转动连接有螺纹连接于所述伸缩杆内的伸缩螺杆,所述伸缩腔远离所述检测腔一侧设有锥齿轮腔,所述伸缩螺杆远离对称中心一端延伸至所述锥齿轮腔内固定设有从动锥齿轮,所述锥齿轮腔左壁转动连接有啮合于所述从动锥齿轮的主动锥齿轮。
4.如权利要求3所述的一种用于检测多种形态半导体性能的检测仪,其特征在于:所述抽入装置包括转动连接于所述抽入腔左右壁之间的泵轴,所述泵轴外圆面环形阵列且固定设有泵叶,所述抽入腔下壁与所述检测腔上壁之间连通设有输送管道,所述输送管道左右壁之间贯穿且连通设有上阀腔,所述左右滑动连接于所述上阀腔内,所述内上下贯穿设有能与所述输送管道连通的上通口,所述抽入腔上壁连通设有开口向上的...
【专利技术属性】
技术研发人员:不公告发明人,
申请(专利权)人:青田林心半导体科技有限公司,
类型:发明
国别省市:浙江;33
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