一种晶粒转移工具制造技术

本实用新型专利技术涉及半导体致冷件生产工具技术领域，名称是一种晶粒转移工具，其特征是：它包括一个壳体，所述的壳体具有中空结构，所述的壳体下面具有开口，还有一个盖板安装在开口处并挡着开口，盖板的周围和开口形成气密性结构，所述的盖板上具有和所要转移的晶粒对应的吸附区域，所述的吸附区域上具有小孔，所述的壳体上面连接有气管，所述的气管连接抽气装置的抽气管道和进气装置的进气管道，所述的抽气管道和进气管道上安装有阀门，这样的晶粒转移工具具有放置在瓷板上的晶粒不易错位、保证产品质量的优点。

A grain transfer tool

【技术实现步骤摘要】
一种晶粒转移工具
本技术涉及半导体致冷件生产工具
，具体地说是涉及晶粒转移工具。
技术介绍
半导体致冷件包括基板和基板上面的晶粒，所述的晶粒是多排多列地排列在瓷板上的，排列晶粒所用的工具是晶粒排列模具，所述晶粒排列模具上具有多个放置晶粒的凹槽，晶粒容易归位到凹槽中形成排列整齐的晶粒，当晶粒在模具上排列完整后，晶粒整体转移到瓷板上，然后可以对晶粒进行焊接。现有技术中，没有对排列好的晶粒进行转移的工具，采用的是，将排列有晶粒的模具反扣在瓷板上，这样，在反扣晶粒的过程中就容易使晶粒错位，影响晶粒排列的正确性，影响了产品质量。
技术实现思路
本技术的目就是针对上述缺点，提供一种放置在瓷板上的晶粒不易错位、保证产品质量的晶粒转移工具。本技术的技术方案是这样实现的，一种晶粒转移工具，其特征是：它包括一个壳体，所述的壳体具有中空结构，所述的壳体下面具有开口，还有一个盖板安装在开口处并挡着开口，盖板的周围和开口形成气密性结构，所述的盖板上具有和所要转移的晶粒对应的吸附区域，所述的吸附区域上具有小孔，所述的壳体上面连接有气管，所述的气管连接抽气装置的抽气管道和进气装置的进气管道，所述的抽气管道和进气管道上安装有阀门。进一步地讲，所述的盖板上面还有一层橡胶层或塑料薄膜层，所述的小孔穿透橡胶层或塑料薄膜层。进一步地讲，每个吸附区域有两个小孔。进一步地讲，它还包括一个架子，所述的壳体用固定连接装置连接在架子上。进一步地讲，所述的架子上具有滑道，所述的固定连接装置安装在滑道上。进一步地讲，所述的开口周围具有多个销孔，还有定位销安装在销孔里面。本技术的有益效果是：这样的晶粒转移工具具有放置在瓷板上的晶粒不易错位、保证产品质量的优点。附图说明图1是本技术侧面结构示意图。图2是图1中A—A方向的示意图。图3是图2中B—B方向的示意图。图4是图3中的C处放大图。其中：1、壳体2、中空结构3、开口4、盖板5、吸附区域6、小孔7、气管8、阀门9、橡胶层或塑料薄膜层10、架子11、滑道12、定位销13、固定连接装置。具体实施方式下面结合附图对本专利技术作进一步的描述。如图1、2、3、4所示，一种晶粒转移工具，其特征是：它包括一个壳体1，所述的壳体具有中空结构2，所述的壳体下面具有开口3，还有一个盖板4安装在开口处并挡着开口，盖板的周围和开口形成气密性结构，所述的盖板上具有和所要转移的晶粒对应的吸附区域5，所述的吸附区域上具有小孔6，所述的壳体上面连接有气管7，所述的气管连接抽气装置的抽气管道和进气装置的进气管道，所述的抽气管道和和进气管道上安装有阀门8。所要转移的晶粒应该和使用的盖板4配套使用，当晶粒在模具上排列好后，就将本壳体下面的盖板放置在晶粒上面，并且每个晶粒都在吸附区域5内，控制阀门，开通抽气管道，使中空结构形成负压或真空状态，晶粒就吸附在吸附区域5上，可以转移到瓷板上，而后开动进气管道，使真空结构形成正压状态，可以将所吸附的晶粒释放，本技术使用这样的转移，减少了晶粒的错位，可以实现本技术的目的。进一步地讲，所述的盖板上面还有一层橡胶层或塑料薄膜层9，所述的小孔穿透橡胶层或塑料薄膜层。这样，防止晶粒在吸附过程中脱离效果好。进一步地讲，每个吸附区域有两个小孔。这样吸附晶粒效果更好。进一步地讲，它还包括一个架子10，所述的壳体用固定连接装置13连接在架子上。这样便于生产，减少劳动力。进一步地讲，所述的架子上具有滑道11，所述的固定连接装置安装在滑道上。这样移动本晶粒转移工具更方便，所述的固定连接装置例如可以是绳子或弹簧等。进一步地讲，所述的开口周围具有多个销孔，还有定位销12安装在销孔里面。这样便于对瓷板进行定位，使瓷板放置在盖板下面位置正确。以上所述仅为本专利技术的具体实施例，但本专利技术的结构特征并不限于此，任何本领域的技术人员在本专利技术的领域内，所作的变化或修饰皆涵盖在本专利技术的专利范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶粒转移工具，其特征是：它包括一个壳体，所述的壳体具有中空结构，所述的壳体下面具有开口，还有一个盖板安装在开口处并挡着开口，盖板的周围和开口形成气密性结构，所述的盖板上具有和所要转移的晶粒对应的吸附区域，所述的吸附区域上具有小孔，所述的壳体上面连接有气管，所述的气管连接抽气装置的抽气管道和进气装置的进气管道，所述的抽气管道和进气管道上安装有阀门。/n

【技术特征摘要】
1.一种晶粒转移工具，其特征是：它包括一个壳体，所述的壳体具有中空结构，所述的壳体下面具有开口，还有一个盖板安装在开口处并挡着开口，盖板的周围和开口形成气密性结构，所述的盖板上具有和所要转移的晶粒对应的吸附区域，所述的吸附区域上具有小孔，所述的壳体上面连接有气管，所述的气管连接抽气装置的抽气管道和进气装置的进气管道，所述的抽气管道和进气管道上安装有阀门。


2.根据权利要求1所述的晶粒转移工具，其特征是：所述的盖板上面还有一层橡胶层或塑料薄膜层，所述的小孔穿透橡胶层或塑...

【专利技术属性】
技术研发人员：付国军，陈磊，陈建民，王丹，赵丽萍，张文涛，钱俊有，
申请(专利权)人：许昌市森洋电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：河南;41