本发明专利技术公开了ALD硅片上下料装置，涉及硅片搬运技术领域。包括至少四个花篮上下料运输线，每两个花篮上下料运输线对应一个舟输送平台，舟输送平台和花篮上下料运输线之间通过硅片夹爪搬运硅片，舟输送平台与水平面存有夹角，夹角介于10°与35°之间，ALD硅片上下料装置还包括舟缓存平台和搬舟机械手，搬舟机械手被配置于从ALD主机内搬出处理过的花篮和/或将未处理的花篮搬入ALD主机内，舟输送平台对接舟缓存平台。通过具有倾斜角度的舟输送平台，使得小舟在舟输送平台上的时候小舟能够倾斜一定的角度，从而使得硅片在小舟内能够通过自身重力统一倾斜于小舟的一侧，进而使得硅片能够更容易的被硅片夹爪进行获取。
ALD wafer loading and unloading device
【技术实现步骤摘要】
ALD硅片上下料装置
本专利技术涉及硅片搬运
，尤其涉及ALD硅片上下料装置。
技术介绍
现有的ALD前道的硅片转运大多采用的是专利文件申请号为2017211421906的硅片分片吸盘组件公开了一个硅片夹爪来进行硅片的抓取和放置，但是放置硅片在小舟里的时候，因为硅片放置的位置位于小舟间隔的中央，硅片难免会产生左右倾斜，从而导致硅片在小舟中的位置不能确定，进而使得后道工序对小舟中的硅片的获取难度增加，从而使得硅片运转的效率降低。
技术实现思路
为了保证硅片在小舟中的位置能够确定，本专利技术的技术方案提供了一种ALD硅片上下料装置。技术方案如下：本专利技术提供了一种ALD硅片上下料装置，包括至少四个花篮上下料运输线，每两个花篮上下料运输线对应一个舟输送平台，舟输送平台和花篮上下料运输线之间通过硅片夹爪搬运硅片，舟输送平台与水平面存有夹角，夹角介于10°与35°之间，花篮上下料运输线末端设有硅片顶出装置，硅片顶出装置被配置于将硅片顶升处花篮或承接硅片夹爪输送过来的硅片，ALD硅片上下料装置还包括舟缓存平台和搬舟机械手，搬舟机械手被配置于从ALD主机内搬出处理过的花篮和/或将未处理的花篮搬入ALD主机内，舟输送平台对接舟缓存平台。通过具有倾斜角度的舟输送平台，使得小舟在舟输送平台上的时候小舟能够倾斜一定的角度，从而使得硅片在小舟内能够通过自身重力统一倾斜于小舟的一侧，这样使得硅片在小舟的位置能够得以固定，进而使得硅片能够更容易的被硅片夹爪进行获取。特别地，花篮上下料运输线侧面设有硅片推齐装置，硅片推齐装置被配置于规整硅片位置。具体地，硅片夹爪，包括夹爪部、连接架、夹爪旋转动力装置、安装架和解码器，夹爪部设置在连接架上，夹爪旋转动力装置通过带动轴与解码器连接，安装架与带动轴固定连接，解码器与夹爪旋转动力装置设置在连接架两侧，旋转轴与夹爪旋转动力装置设置在安装架上。通过解码器的设置使得夹爪旋转动力装置对于夹爪部的旋转角度可以更精密的进行控制，从而使得夹爪在下降的过程中能够实现夹爪部角度的微量调节，从而实现了硅片能够边微量旋转放入倾斜的舟的功能。特别地，还包括光电感应开关，光电开关固定在安装架上，带动轴上对应光电开关设有挡片。具体的，夹爪旋转动力装置通过联轴器与带动轴固定连接。具体的，硅片夹爪还包括升降动力装置和横移动力装置，安装架安装在升降动力装置的活动端，升降装置的固定端安装在横移动力装置上。通过升降动力装置和横移动力装置的设置，实现了夹爪部能够边旋转边升降边横移的动作，使得硅片入料篮的动作更加顺畅稳定。特别地，夹爪旋转动力装置为旋转电机，升降动力装置为伺服电机与伺服丝杆，横移动力装置为伺服电机与伺服丝杆。本专利技术的有益效果是：通过具有倾斜角度的舟输送平台，使得小舟在舟输送平台上的时候小舟能够倾斜一定的角度，从而使得硅片在小舟内能够通过自身重力统一倾斜于小舟的一侧，这样使得硅片在小舟的位置能够得以固定，进而使得硅片能够更容易的被硅片夹爪进行获取。附图说明此处的附图被并入说明书中并构成说明书的一部分，示出了符合本专利技术的实施例，并与说明书一起用于解释本专利技术的原理，其中：图1为本专利技术所揭示的ALD硅片上下料装置的主视图图2为本专利技术一种实施方式所示的硅片夹爪的主视图；图3为去掉横移动力装置的硅片夹爪的主视图；图4为图3去掉升降动力装置的硅片夹爪的主视图；图5为倾斜的料篮和硅片位置的相对示意图。附图说明：1硅片、2倾斜的料篮、3横移动力装置、4升降动力装置、5夹爪部、6连接架、7夹爪旋转动力装置、8安装架、9解码器、10带动轴、11光电开关、12挡片、13花篮上下料运输线、14舟输送平台、15硅片夹爪、16硅片顶出装置、17舟缓存平台、18搬舟机械手、19硅片推齐装置具体实施方式下文的公开提供了许多不同的实施方式或例子用来实现本专利技术的不同结构。为了简化本专利技术的公开，下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然，它们仅仅为示例，并且目的不在于限制本专利技术。此外，本专利技术可以在不同例子中重复参考数字和/或参考字母，这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施方式和/或设置之间的关系。此外，本专利技术提供了的各种特定的工艺和材料的例子，但是本领域普通技术人员可以意识到其他工艺的应用和/或其他材料的使用。现有的ALD前道的硅片转运大多采用的是专利文件申请号为2017211421906的硅片分片吸盘组件公开了一个硅片夹爪来进行硅片的抓取和放置，但是放置硅片在小舟里的时候，因为硅片放置的位置位于小舟间隔的中央，硅片难免会产生左右倾斜，从而导致硅片在小舟中的位置不能确定，进而使得后道工序对小舟中的硅片的获取难度增加，从而使得硅片运转的效率降低。为了保证硅片在小舟中的位置能够确定，本专利技术的技术方案提供了一种ALD硅片上下料装置，技术方案如下：下面根据附图1至图5对本专利技术做进一步详细说明。如图1-图5所示，本专利技术提供了一种硅片夹爪15，包括至少四个花篮上下料运输线13，每两个花篮上下料运输线13对应一个舟输送平台14，舟输送平台14和花篮上下料运输线13之间通过硅片夹爪15搬运硅片，舟输送平台14与水平面存有夹角，夹角介于10°与35°之间，花篮上下料运输线13末端设有硅片顶出装置16，硅片顶出装置16被配置于将硅片顶升处花篮或承接硅片夹爪15输送过来的硅片，ALD硅片上下料装置还包括舟缓存平台17和搬舟机械手18，搬舟机械手18被配置于从ALD主机内搬出处理过的花篮和/或将未处理的花篮搬入ALD主机内，舟输送平台14对接舟缓存平台17。通过具有倾斜角度的舟输送平台14，使得小舟在舟输送平台14上的时候小舟能够倾斜一定的角度，从而使得硅片在小舟内能够通过自身重力统一倾斜于小舟的一侧，这样使得硅片在小舟的位置能够得以固定，进而使得硅片能够更容易的被硅片夹爪15进行获取。通过四个花篮上下料运输线13实现了两条线输送未处理的硅片的花篮，另外两条输送线输送处理过的硅片的花篮。特别地，花篮上下料运输线13侧面设有硅片推齐装置19，硅片推齐装置19被配置于规整硅片位置。硅片推齐装置19设置为气缸带动的伸缩装置。具体地，硅片夹爪15，包括夹爪部5、连接架6、夹爪旋转动力装置7、安装架8和解码器9，夹爪部5设置在连接架6上，夹爪旋转动力装置7通过带动轴10与解码器9连接，安装架8与带动轴10固定连接，解码器9与夹爪旋转动力装置7设置在连接架6两侧，旋转轴与夹爪旋转动力装置7设置在安装架8上。通过解码器9的设置使得夹爪旋转动力装置7对于夹爪部5的旋转角度可以更精密的进行控制，从而使得夹爪在下降的过程中能够实现夹爪部5角度的微量调节，从而实现了硅片能够边微量旋转放入倾斜的舟的功能。特别地，还包括光电感应开关，光电开关11固定在安装架8上，带动轴10上对应光电开关11设有挡片12。具体的，夹爪旋转动力装置7通过联轴器本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.ALD硅片上下料装置，其特征在于，包括至少四个花篮上下料运输线，每两个所述花篮上下料运输线对应一个舟输送平台，所述舟输送平台和所述花篮上下料运输线之间通过硅片夹爪搬运硅片，所述舟输送平台与水平面存有夹角，所述夹角介于10°与35°之间，所述花篮上下料运输线末端设有硅片顶出装置，所述硅片顶出装置被配置于将硅片顶升处花篮或承接所述硅片夹爪输送过来的硅片，所述ALD硅片上下料装置还包括舟缓存平台和搬舟机械手，所述搬舟机械手被配置于从ALD主机内搬出处理过的花篮和/或将未处理的花篮搬入ALD主机内，所述舟输送平台对接所述舟缓存平台。/n
【技术特征摘要】
1.ALD硅片上下料装置，其特征在于，包括至少四个花篮上下料运输线，每两个所述花篮上下料运输线对应一个舟输送平台，所述舟输送平台和所述花篮上下料运输线之间通过硅片夹爪搬运硅片，所述舟输送平台与水平面存有夹角，所述夹角介于10°与35°之间，所述花篮上下料运输线末端设有硅片顶出装置，所述硅片顶出装置被配置于将硅片顶升处花篮或承接所述硅片夹爪输送过来的硅片，所述ALD硅片上下料装置还包括舟缓存平台和搬舟机械手，所述搬舟机械手被配置于从ALD主机内搬出处理过的花篮和/或将未处理的花篮搬入ALD主机内，所述舟输送平台对接所述舟缓存平台。
2.根据权利要求1所述的ALD硅片上下料装置，其特征在于，所述花篮上下料运输线侧面设有硅片推齐装置，所述硅片推齐装置被配置于规整硅片位置。
3.根据权利要求1所述的ALD硅片上下料装置，其特征在于，所述硅片夹爪，包括夹爪部、连接架、夹爪旋转动力装置、安装架和解码器，所述夹爪部设置在所述连接架上，所述夹爪...
【专利技术属性】
技术研发人员：熊波，
申请(专利权)人：无锡市江松科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32
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