机械手臂及晶圆处理装置制造方法及图纸

该实用新型专利技术涉及一种机械手臂及晶圆处理装置，其中机械手臂包括：手臂本体；供电块，安装至手臂本体，表面设置有导电柱，供电块用于为手臂本体供电，并能跟随手臂本体运动；驱动器，电连接至供电块，用于驱动手臂本体运动；安装架，用于安装手臂本体，包括：支撑轨道，设置在安装架朝向机械手臂所在的一侧的表面，用于为手臂本体提供支撑，手臂本体安装至支撑轨道；导电条，安装于安装架，朝向供电块所在的一侧设置，且长度方向与支撑轨道的长度方向平行，用于与供电块的导电柱电接触；手臂本体能够沿支撑轨道的长度方向运动。机械手臂及晶圆处理装置能够解决电缆损坏的问题，减小对物料成本的消耗，增加机台的总生产时长。

Manipulator and wafer processing device

【技术实现步骤摘要】
机械手臂及晶圆处理装置
本技术涉及晶圆生产制造加工设备领域，具体涉及一种机械手臂及晶圆处理装置。
技术介绍
传统的机械手臂都是通过电源线和信号线与控制主机台连接的，而在工作时，机械手臂来回运动，会拖动连接到所述控制主机台的电源线和信号线来回运动，很容易造成线缆的损坏，需要人们对其进行维修、更换，在需要消耗物料成本的同时，也非常占用时间，影响该机台的总生产时长。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种机械手臂及晶圆处理装置，能够解决电缆损坏的问题，减小对物料成本的消耗，增加机台的总生产时长。为解决上述技术问题，以下提供了一种机械手臂，包括：手臂本体；供电块，安装至所述手臂本体，表面设置有导电柱，所述供电块用于为所述手臂本体供电，并能跟随所述手臂本体运动；驱动器，电连接至所述供电块，用于驱动所述手臂本体运动；安装架，用于安装所述手臂本体，包括：支撑轨道，设置在所述安装架朝向所述机械手臂所在的一侧的表面，用于为所述手臂本体提供支撑，所述手臂本体安装至所述支撑轨道；导电条，安装于所述安装架，朝向所述供电块所在的一侧设置，且长度方向与所述支撑轨道的长度方向平行，用于与所述供电块的导电柱电接触；所述手臂本体能够沿所述支撑轨道的长度方向运动。可选的，所述安装架还包括在朝向所述机械手臂所在的一侧的表面设置的电力槽道，用于安装所述导电条，且所述电力槽道的长度方向与所述支撑轨道的长度方向一致，长度大于等于所述支撑轨道的长度。可选的，所述导电条为U型导电条，首尾均朝向所述机械手臂所在的一侧弯折，所述U型导电条设置在所述电力槽道内，且所述U型导电条未弯折的区域朝向所述供电块所在的一侧设置，长度与所述支撑轨道的长度一致。可选的，所述导电条的数目为三条，所述电力槽道的数目也为三条，每一导电条都对应设置到一电力槽道内，三条所述导电条分别用于连接到市电的火线、零线和地线。可选的，所述导电柱的数目为3个，且三个所述导电柱之间的相对位置与三个所述导电条的相对位置相对应，每一导电柱对应与一导电条电接触。可选的，所述驱动器包括：驱动电机，与所述供电块电连接，并连接至所述手臂本体，用于驱动所述手臂本体沿所述支撑轨道的长度方向运动；所述机械手臂还包括：轴承，连接至所述驱动电机的输出轴，能够跟随所述输出轴运动，用于将所述输出轴的转动转换成所述轴承沿所述支撑轨道的长度方向的运动，在所述机械手臂工作时安装至所述支撑轨道内。可选的，还包括：固定块，设置于所述支撑轨道内，能够沿所述支撑轨道的长度方向运动，包括朝向所述机械手臂所在的一侧设置的固定柱，所述固定柱用于固定所述轴承。可选的，所述固定柱与所述轴承的尺寸相适应，用于插入到所述轴承中，以实现所述机械手臂的安装。可选的，还包括：无线信号发送器，用于连接到外界的控制主机台，将所述控制主机台发出的控制信号发送到所述机械手臂；无线信号接收器，电连接到所述供电块，用于接收所述无线信号发送器发送的控制信号，从而控制所述机械手臂。为解决上述技术问题，以下还提供了一种晶圆处理装置，包括所述的机械手臂。本技术的机械手臂及晶圆处理装置通过供电块和导电条之间的电接触，避免了使用电源线，从而避免了使用电源线来提供机械手臂所需的电能时，电缆线被来回运动的手臂本体拖动，也进行来回往复的运动而造成的电缆线损坏的现象的发生，减少了对物料的消耗，降低了对电缆进行养护所需要的时间，增加了机械手臂的工作时长，侧面提高了生产率，且结构简单，功能方便。进一步的，设置无线信号发送器和无线信号接收器，用于传输控制所述机械手臂所需的控制信号，避免了使用信号线，从而避免了信号线在所述手臂本体的运动过程中来回往复拖动而造成的线缆损坏的现象的发生。附图说明图1为本技术的一种具体实施方式中的机械手臂的正面示意图。图2为本技术的一种具体实施方式中的机械手臂的侧面示意图。图3为本技术的一种具体实施方式中所述导电条的立体结构示意图。具体实施方式以下结合附图和具体实施方式对本技术提出的一种机械手臂及晶圆处理装置作进一步详细说明。请参阅图1、2，其中图1为本技术的一种具体实施方式中的机械手臂的正面示意图，图2为本技术的一种具体实施方式中的机械手臂的侧面示意图。在该具体实施方式中，提供了一种机械手臂，包括：手臂本体101；供电块102，安装至所述手臂本体101，表面设置有导电柱201，所述供电块102用于为所述手臂本体101供电，并能跟随所述手臂本体101运动；驱动器106，电连接至所述供电块102，用于驱动所述手臂本体101运动；安装架103，用于安装所述手臂本体101，包括：支撑轨道105，朝向所述机械手臂所在的一侧设置，用于为所述手臂本体101提供支撑，所述手臂本体101安装至所述支撑轨道105；导电条204，安装于所述安装架103，朝向所述供电块102所在的一侧设置，且长度方向与所述支撑轨道105的长度方向平行，用于与所述供电块102的导电柱201电接触；所述手臂本体101能够沿所述支撑轨道105的长度方向运动。该具体实施方式中的机械手臂设置有导电条204和供电块102，并使用导电条204，通过供电块102和导电条204之间的电接触，来提供机械手臂运动所需要的电能，避免了使用电源线来提供机械手臂所需的电能时，电缆线被来回运动的手臂本体101拖动，也进行来回往复的运动而造成的电缆线损坏的现象的发生，减少了对物料的消耗，降低了对电缆进行养护所需要的时间，增加了机械手臂的工作时长，侧面提高了生产率，且结构简单，功能方便。在一种具体实施方式中，所述支撑轨道105的内表面光滑，以减少在所述手臂本体101沿所述支撑轨道105运动的过程中所述手臂本体101与所述支撑轨道105接触的部件受到的摩擦力。所述导电条204的表面也光滑，用于减少在所述手臂本体101沿所述支撑轨道105运动的过程中，所述供电块102受到的摩擦力。在一种具体实施方式中，所述安装架103还包括在朝向所述机械手臂所在的一侧的表面设置的电力槽道104，用于安装所述导电条204，且所述电力槽道104的长度方向与所述支撑轨道105的长度方向一致，长度大于等于所述支撑轨道105的长度。这样，不管所述手臂本体101沿所述支撑轨道105的长度方向运动至何处，所述供电块102的导电柱201都可以与导电条204电接触，由所述导电条204给所述供电块102供电。请参阅图3，为本技术的一种具体实施方式中所述导电条的立体结构示意图。在该具体实施方式中，所述导电条204为U型导电条，首尾均朝向所述机械手臂所在的一侧弯折，所述U型导电条设置在所述电力槽道104内，且所述U型导电条未弯折的区域朝向所述供电块所在的一侧设置，长度与所述支撑轨道105的长度一致。在一种具体实施方式中，各个导电条204安装在各个电力槽道104的最深处。在所述导电条204为U型导电条时，所述U型导电条弯折的首尾垂直于所述U型导电条未弯折的区本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种机械手臂，其特征在于，包括：/n手臂本体；/n供电块，安装至所述手臂本体，表面设置有导电柱，所述供电块用于为所述手臂本体供电，并能跟随所述手臂本体运动；/n驱动器，电连接至所述供电块，用于驱动所述手臂本体运动；/n安装架，用于安装所述手臂本体，包括：/n支撑轨道，设置在所述安装架朝向所述机械手臂所在的一侧的表面，用于为所述手臂本体提供支撑，所述手臂本体安装至所述支撑轨道；/n导电条，安装于所述安装架，朝向所述供电块所在的一侧设置，且长度方向与所述支撑轨道的长度方向平行，用于与所述供电块的导电柱电接触；/n所述手臂本体能够沿所述支撑轨道的长度方向运动。/n

【技术特征摘要】
1.一种机械手臂，其特征在于，包括：
手臂本体；
供电块，安装至所述手臂本体，表面设置有导电柱，所述供电块用于为所述手臂本体供电，并能跟随所述手臂本体运动；
驱动器，电连接至所述供电块，用于驱动所述手臂本体运动；
安装架，用于安装所述手臂本体，包括：
支撑轨道，设置在所述安装架朝向所述机械手臂所在的一侧的表面，用于为所述手臂本体提供支撑，所述手臂本体安装至所述支撑轨道；
导电条，安装于所述安装架，朝向所述供电块所在的一侧设置，且长度方向与所述支撑轨道的长度方向平行，用于与所述供电块的导电柱电接触；
所述手臂本体能够沿所述支撑轨道的长度方向运动。


2.根据权利要求1所述的机械手臂，其特征在于，所述安装架还包括在朝向所述机械手臂所在的一侧的表面设置的电力槽道，用于安装所述导电条，且所述电力槽道的长度方向与所述支撑轨道的长度方向一致，长度大于等于所述支撑轨道的长度。


3.根据权利要求2所述的机械手臂，其特征在于，所述导电条为U型导电条，首尾均朝向所述机械手臂所在的一侧弯折，所述U型导电条设置在所述电力槽道内，且所述U型导电条未弯折的区域朝向所述供电块所在的一侧设置，长度与所述支撑轨道的长度一致。


4.根据权利要求3所述的机械手臂，其特征在于，所述导电条的数目为三条，所述电力槽道的数目也为三条，每一导电条都对应设置到一电力槽道内，三条所述导电条分别用于连接到市电的火线、零线和地线。


5....

【专利技术属性】
技术研发人员：夏威，韩斌，辛君，林宗贤，
申请(专利权)人：德淮半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32