一种用于蓝宝石衬底片背面缺陷再生处理的喷砂装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种用于蓝宝石衬底片背面缺陷再生处理的喷砂装置，包括再生处理工作箱、衬底置放平台、高压喷砂枪、研磨砂储放箱和研磨砂回收箱，衬底置放平台位于再生处理工作箱内，高压喷砂枪的枪头伸入所述再生处理工作箱内，高压喷砂枪的枪头与衬底置放平台之间可相对移动，研磨砂回收箱与再生处理工作箱相连通。本实用新型专利技术能够达到蓝宝石衬底片再生处理的对背面粗糙度的均匀性要求，并能提供晶圆再生的良率。

A sandblasting device for the regeneration of defects on the back of sapphire substrate

【技术实现步骤摘要】
一种用于蓝宝石衬底片背面缺陷再生处理的喷砂装置
本技术涉及半导体器件的制造加工
，特别涉及一种用于蓝宝石衬底片背面缺陷再生处理的喷砂装置。
技术介绍
随着第三代半导体材料氮化镓物的突破，LED照明产业凭借其在节能降耗领域的性能优势，迎来黄金发展期，市场规模正在急剧扩大。随着技术的进步，从2015年开始，国内外市场主流制作高亮蓝光LED的衬底均选用4英寸蓝宝石平片或图形化蓝宝石衬底(PSS)。为了提高图形化产品一致性和整体合格率，目前正向较大尺寸的4英寸蓝宝石衬底片方向发展。衬底片加工是LED全产业链中一个非常重要的环节，也是外延客户的重要原材料，占外延成本达30％以上，因此，蓝宝石衬底的成本至关重要，而目前各厂家的衬底良率已经来到>90％的关头，如何救回已经产生的不良片，是各厂家节省成本的重要研究项目。传统的背面缺陷再生方法通常以手工单片砂纸研磨作业方式，或者以研磨砂浆整批作业方式，难以确保背面粗糙度的均匀性以及抛光面的保护要求，良率难以提高。
技术实现思路
本技术的目的是为解决以上问题，本技术提供一种用于蓝宝石衬底片背面缺陷再生处理的喷砂装置。根据本技术，提供一种该再生处理方法中使用的喷砂装置，包括再生处理工作箱、衬底置放平台、高压喷砂枪、研磨砂储放箱和研磨砂回收箱，衬底置放平台位于再生处理工作箱内，高压喷砂枪的末端与研磨砂储放箱连通，高压喷砂枪的枪头伸入再生处理工作箱内，高压喷砂枪的枪头与衬底置放平台之间可相对移动，研磨砂回收箱与再生处理工作箱相连通。其中，衬底置放平台的上表面设有用于放置待处理蓝宝石衬底片的多个凹槽。其中，高压喷砂枪设有气动高压驱动装置。其中，高压喷砂枪的枪头为钢枪头或陶瓷枪头。其中，多个凹槽按照行和/或列排布，每行和/或列中，凹槽彼此之间等间距排布。其中，衬底置放平台通过滑轨可移动设置于所述再生处理工作箱内。本技术的用于蓝宝石衬底片背面缺陷再生处理的喷砂装置，能够大批量地达成晶片衬底对背面粗糙度均匀性要求，并可以批量连续式作业，提升现有的工作效率。附图说明通过阅读下文优选实施方式的详细描述，各种其他的优点和益处对于本领域普通技术人员将变得清楚明了。附图仅用于示出优选实施方式的目的，而并不认为是对本技术的限制。而且在整个附图中，用相同的参考符号表示相同的部件。在附图中：图1示出了本技术的喷砂装置的示意图。具体实施方式下面将根据实施例更详细地描述本公开的示例性实施方式。虽然说明书中显示了本公开的示例性实施方式，然而应当理解，可以以各种形式实现本公开而不应被这里阐述的实施方式所限制。相反，提供这些实施方式是为了能够更透彻地理解本公开，并且能够将本公开的范围完整的传达给本领域的技术人员。如图1所示，一种喷砂装置，包括再生处理工作箱203、衬底置放平台103、高压喷砂枪102、研磨砂储放箱201和研磨砂回收箱204，衬底置放平台103位于再生处理工作箱203内，高压喷砂枪102的末端与研磨砂储放箱201连通，所述高压喷砂枪102的枪头伸入所述再生处理工作箱203内，所述高压喷砂枪的枪头与所述衬底置放平台103之间可相对移动，所述研磨砂回收箱204与所述再生处理工作箱203相连通。衬底置放平台103的上表面设有用于放置待处理蓝宝石衬底片的多个凹槽。多个凹槽按行和列整体排布，相邻两个凹槽之间为等间距间隔。高压喷砂枪102设有气动高压驱动装置202，高压喷枪的枪头为钢枪头或陶瓷枪头。衬底置放平台103通过滑轨可移动设置于所述再生处理工作箱203内。以上所述，仅为本技术较佳的具体实施方式，但本技术的保护范围并不局限于此，任何熟悉本
的技术人员在本技术揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本技术的保护范围之内。因此，本技术的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于蓝宝石衬底片背面缺陷再生处理的喷砂装置，其特征在于，包括再生处理工作箱(203)、衬底置放平台(103)、高压喷砂枪(102)、研磨砂储放箱(201)和研磨砂回收箱(204)，所述衬底置放平台(103)位于所述再生处理工作箱(203)内，所述高压喷砂枪(102)的末端与所述研磨砂储放箱(201)连通，所述高压喷砂枪(102)的枪头伸入所述再生处理工作箱(203)内，所述高压喷砂枪的枪头与所述衬底置放平台(103)之间可相对移动，所述研磨砂回收箱(204)与所述再生处理工作箱(203)相连通；所述衬底置放平台(103)的上表面设有用于放置待处理蓝宝石衬底片的多个凹槽；所述高压喷砂枪(102)设有气动高压驱动装置(202)。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于蓝宝石衬底片背面缺陷再生处理的喷砂装置，其特征在于，包括再生处理工作箱(203)、衬底置放平台(103)、高压喷砂枪(102)、研磨砂储放箱(201)和研磨砂回收箱(204)，所述衬底置放平台(103)位于所述再生处理工作箱(203)内，所述高压喷砂枪(102)的末端与所述研磨砂储放箱(201)连通，所述高压喷砂枪(102)的枪头伸入所述再生处理工作箱(203)内，所述高压喷砂枪的枪头与所述衬底置放平台(103)之间可相对移动，所述研磨砂回收箱(204)与所述再生处理工作箱(203)相连通；所述衬底置放平台(103)...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐良，阳明益，占俊杰，蓝文安，刘建哲，余雅俊，
申请(专利权)人：浙江博蓝特半导体科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33