本实用新型专利技术涉及半导体用玻璃薄板加工技术领域，具体涉及一种半导体用大规格玻璃薄板的抛光加工装置，包括大理石环、上大理石板、双抛环氧板框、抛光皮等，单轴环抛机内部设有主轴，主轴的顶端通过定位卡盘与下大理石板的底面相固定；上大理石板的下表面和下大理石板的上表面均通过胶水粘接有抛光皮，下大理石板上还放置有大理石环，大理石环为中空结构，大理石环内部放置有双抛环氧板框，双抛环氧板框内部放置有玻璃薄板，玻璃薄板上放置有上大理石板；本实用新型专利技术可对玻璃薄板上、下两面同时进行抛光加工，不仅减少了人工成本，提高了生产效率，还能降低操作者对玻璃薄板品质的影响；同时，还可进行大规格玻璃薄板的加工，实用性好。
A polishing device of large size glass sheet for semiconductor
【技术实现步骤摘要】
一种半导体用大规格玻璃薄板的抛光加工装置
本技术涉及半导体用玻璃薄板加工
，具体涉及一种半导体用大规格玻璃薄板的抛光加工装置。
技术介绍
随着科技的发展，半导体产业景气向上，交易额大幅度增长的背景下，尤其是一些用于封装配套的玻璃薄板规格越来越大，厚度越来越薄，技术指标越来越高。传统的玻璃薄板的抛光加工装置是通过使用松香蜡将玻璃薄板固定到金属板上，通过磨砂后，再经过抛光机快速回转抛光，此方法在加工大规格玻璃薄板时，对所需设备和金属板的要求非常高，尤其是对操作者的技术水平的要求很高，人的熟练程度直接影响玻璃薄板的品质和加工效率。另外，传统的玻璃薄板的抛光加工装置多是单面进行抛光加工，工作效率低，且易造成玻璃薄板的破损。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种半导体用大规格玻璃薄板的抛光加工装置，以解决上述
技术介绍
中所提出的问题。本技术是通过以下技术方案实现的：一种半导体用大规格玻璃薄板的抛光加工装置，包括大理石环、上大理石板、双抛环氧板框、抛光皮、单轴环抛机、玻璃薄板和下大理石板，所述单轴环抛机内部设有主轴，所述主轴的顶端通过定位卡盘与所述下大理石板的底面相固定，所述单轴环抛机的上端面设有偏心摆动结构，所述偏心摆动结构的顶端固定有摆臂，所述摆臂的末端固定有升降结构，所述升降结构的底部安装有立臂，所述立臂的底部安装有吸盘座；所述上大理石板的下表面和所述下大理石板的上表面均通过胶水粘接有所述抛光皮，所述下大理石板上还放置有所述大理石环，所述大理石环为中空结构，所述大理石环内部放置有所述双抛环氧板框，所述双抛环氧板框内部放置有所述玻璃薄板，所述玻璃薄板上放置有所述上大理石板。进一步地，所述抛光皮的平面度控制在1mm之内。进一步地，所述主轴由安装于所述单轴环抛机内部的电机进行驱动。进一步地，所述吸盘座设置于所述上大理石板的正上方，且所述吸盘座内部安装有橡胶吸盘。进一步地，还包括喷水壶和水泵，所述喷水壶喷洒的水能先将抛光皮表面打湿，所述水泵能将抛光液输送至所述大理石环内部及抛光皮表面。有益效果：与现有技术相比，本技术可对玻璃薄板上、下两面同时进行抛光加工，不仅减少了人工成本，提高了生产效率，还能降低操作者对玻璃薄板品质的影响；同时，本技术还能有效减少对玻璃薄板的破损，提升了玻璃薄板品质的稳定性，减少资源浪费；另外，本技术可根据大理石环、上大理石板、下大理石板以及双抛环氧框的规格可根据玻璃薄板的规格进行设定，从而可进行大规格玻璃薄板的加工，提高了装置的实用性。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本技术的结构示意图；图2为本技术中升降结构底端结构的示意图；图3为本技术中驱动下大理石板旋转的原理示意图。其中，1-大理石环，2-上大理石板，3-双抛环氧板框，4-抛光皮，5-单轴环抛机，6-玻璃薄板，7-下大理石板，8-主轴，9-定位卡盘，10-偏心摆动结构，11-摆臂，12-升降结构，13-立臂，14-吸盘座，15-电机。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-3，本技术提供一种技术方案：一种半导体用大规格玻璃薄板的抛光加工装置，包括大理石环1、上大理石板2、双抛环氧板框3、抛光皮4、单轴环抛机5、玻璃薄板6和下大理石板7，其特征在于：单轴环抛机5内部设有主轴8，主轴8的顶端通过定位卡盘9与下大理石板7的底面相固定，单轴环抛机5的上端面设有偏心摆动结构10，偏心摆动结构10的顶端固定有摆臂11，摆臂11的末端固定有升降结构12，升降结构12的底部安装有立臂13，立臂13的底部安装有吸盘座14；上大理石板2的下表面和下大理石板7的上表面均通过胶水粘接有抛光皮4，下大理石板7上还放置有大理石环1，大理石环1为中空结构，大理石环1内部放置有双抛环氧板框3，双抛环氧板框3内部放置有玻璃薄板6，玻璃薄板6上放置有上大理石板2。作为对上述方案的进一步改进，抛光皮4的平面度控制在1mm之内。作为对上述方案的进一步改进，主轴8由安装于单轴环抛机5内部的电机15进行驱动。作为对上述方案的进一步改进，吸盘座14设置于上大理石板2的正上方，且吸盘座14内部安装有橡胶吸盘。作为对上述方案的进一步改进，还包括喷水壶和水泵，喷水壶喷洒的水能先将抛光皮4表面打湿，水泵能将抛光液输送至大理石环1内部及抛光皮4表面。本技术的具体一种应用为：先将大理石环1放置于粘接有抛光皮4的下大理石板7上，并调整大理石环1至合适的位置，大理石环1为中空结构，接着将双抛环氧板框3放置于大理石环1内部，再将玻璃薄板6放置于双抛环氧板框3内部；然后使用喷水壶将抛光皮4打湿，再开启水泵将抛光液输送至大理石环1内部及抛光皮4表面；然后再调整单轴环抛机5中升降结构12的压力、偏心摆动结构10的参数及主轴8的转速，放置于抛光皮4上的玻璃薄板6在摩擦力的作用下被主轴8带动并进行旋转，放置于玻璃薄板6上的上大理石板2在摩擦力的作用下被主轴5以及单轴环抛机5中摆臂11的带动下旋转左右运动并撞击大理石环1的内圆，使大理石环1做旋转左右运动，同时还能带动双抛环氧板框3中的玻璃薄板6有规律的运动，从而在上、下抛光皮4以及抛光液的作用下能对玻璃薄板6进行抛光。待装置运转2～4h后，按下主轴8对应的停止按钮，抬升摆臂11，取出上大理石板2，再取出玻璃薄板6即可。本技术可对玻璃薄板6上、下两面同时进行抛光加工，不仅减少了人工成本，提高了生产效率，还能降低操作者对玻璃薄板品质6的影响；同时，本技术还能有效减少对玻璃薄板6的破损，提升了玻璃薄板品质6的稳定性，减少资源浪费；另外，本技术可根据大理石环1、上大理石板2、下大理石板7以及双抛环氧框3的规格可根据玻璃薄板6的规格进行设定，从而可进行大规格玻璃薄板6的加工，提高了装置的实用性。本实用的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限制，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接，可以是机械连接，也可以是电连接，可以是直接连接，也可以是通过中间媒介相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用中的具体含义。本实用的的描述中，还需要说明的是，参考术语“一个实施例”、“示例”、“具体示例”等的描述本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种半导体用大规格玻璃薄板的抛光加工装置，包括大理石环(1)、上大理石板(2)、双抛环氧板框(3)、抛光皮(4)、单轴环抛机(5)、玻璃薄板(6)和下大理石板(7)，其特征在于：所述单轴环抛机(5)内部设有主轴(8)，所述主轴(8)的顶端通过定位卡盘(9)与所述下大理石板(7)的底面相固定，所述单轴环抛机(5)的上端面设有偏心摆动结构(10)，所述偏心摆动结构(10)的顶端固定有摆臂(11)，所述摆臂(11)的末端固定有升降结构(12)，所述升降结构(12)的底部安装有立臂(13)，所述立臂(13)的底部安装有吸盘座(14)；/n所述上大理石板(2)的下表面和所述下大理石板(7)的上表面均通过胶水粘接有所述抛光皮(4)，所述下大理石板(7)上还放置有所述大理石环(1)，所述大理石环(1)为中空结构，所述大理石环(1)内部放置有所述双抛环氧板框(3)，所述双抛环氧板框(3)内部放置有所述玻璃薄板(6)，所述玻璃薄板(6)上放置有所述上大理石板(2)。/n
【技术特征摘要】
1.一种半导体用大规格玻璃薄板的抛光加工装置，包括大理石环(1)、上大理石板(2)、双抛环氧板框(3)、抛光皮(4)、单轴环抛机(5)、玻璃薄板(6)和下大理石板(7)，其特征在于：所述单轴环抛机(5)内部设有主轴(8)，所述主轴(8)的顶端通过定位卡盘(9)与所述下大理石板(7)的底面相固定，所述单轴环抛机(5)的上端面设有偏心摆动结构(10)，所述偏心摆动结构(10)的顶端固定有摆臂(11)，所述摆臂(11)的末端固定有升降结构(12)，所述升降结构(12)的底部安装有立臂(13)，所述立臂(13)的底部安装有吸盘座(14)；
所述上大理石板(2)的下表面和所述下大理石板(7)的上表面均通过胶水粘接有所述抛光皮(4)，所述下大理石板(7)上还放置有所述大理石环(1)，所述大理石环(1)为中空结构，所述大理石环(1)内部放置有所述双抛环氧板框(3)，所述双抛环氧板框(3)内部放置有所述玻璃薄...
【专利技术属性】
技术研发人员：单佩，
申请(专利权)人：上海菲利华石创科技有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31
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