一种旋转靶材脱脂装置制造方法及图纸

技术编号:24315418 阅读:30 留言:0更新日期:2020-05-29 14:26
本实用新型专利技术属于靶材脱脂技术领域,且公开了一种旋转靶材脱脂装置,包括带有底座的炉筒,所述炉筒的内部安装有内胆,所述炉筒的前表面通过合页安装有活动门,且活动门的侧壁安装有把手,所述炉筒的前表面且位于活动门的上下侧均焊接有竖筒,所述竖筒的内部插接有可滑动的挡板,本实用新型专利技术通过挡板和挡杆将关闭后的活动门进行遮挡,提高了该装置的防爆性能,安全性更佳,同时通过小齿轮带动大齿轮旋转的方式控制挡板的向上运动,操作更加省力,解决了脱脂过程中炉筒易爆炸的问题,通过冷却管可对内胆进行快速降温,实现在保护气氛下低温退火的工艺要求,同时吸热后的冷却水可快速失热,便于长时间使用。

A degreasing device for rotating target

【技术实现步骤摘要】
一种旋转靶材脱脂装置
本技术属于靶材脱脂
,具体涉及一种旋转靶材脱脂装置。
技术介绍
旋转靶材是磁控的靶材,靶材做成圆筒型的,里面装有静止不动的磁体,以慢速转动,靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源,在制备功能薄膜时需对其进行脱脂操作,如申请号为CN201820206723.0的一种用于生产硬质合金的脱脂炉,虽解决了混合气体的充分燃烧问题,但在脱脂过程中温度过高易爆,安全性不佳,同时降温速度过慢,无法满足以氢气、氮气组成的保护气氛下的低温退火要求,实用性不佳。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种旋转靶材脱脂装置,以解决上述
技术介绍
中提出的在脱脂过程中温度过高易爆,安全性不佳,同时降温速度过慢,无法满足以氢气、氮气组成的保护气氛下的低温退火要求,实用性不佳的问题。为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种旋转靶材脱脂装置,包括带有底座的炉筒,所述炉筒的内部安装有内胆,所述炉筒的前表面通过合页安装有活动门,且活动门的侧壁安装有把手,所述炉筒的前表面且位于活动门的上下侧均焊接有竖筒,所述竖筒的内部插接有可滑动的挡板,所述挡板的内部且位于顶侧的竖筒顶部插接有固定杆,所述挡板的一侧开设有齿槽,所述底座的前表面活动安装有与挡板啮合的大齿轮,所述底座的前表面活动安装有与大齿轮啮合的小齿轮,所述小齿轮的前表面安装有转动杆。优选的,所述炉筒的侧壁安装有水箱,所述水箱的内壁底部安装有水泵,所述水箱的侧壁安装有与水泵电性连接的开关,所述水泵的出水端连接有冷却管,所述冷却管的端部延伸至内胆与炉筒之间且环绕于内胆的外部,所述冷却管的端部环绕内胆后延伸至炉筒的外部且连接有散热箱,所述散热箱安装于炉筒的外壁,所述散热箱通过导管与水箱的顶部连接。优选的,所述散热箱为扁平状,所述散热箱远离炉筒的一侧开设有密布的蒸发孔,所述散热箱的内壁且位于蒸发孔的上方安装有挡片。优选的,所述炉筒的前表面且位于活动门的侧部安装有横筒,所述横筒和把手的内部插接有挡杆。优选的,所述挡板的侧壁安装有加强杆,且加强杆为条状。与现有技术相比,本技术的有益效果是:(1)本技术通过挡板和挡杆将关闭后的活动门进行遮挡,提高了该装置的防爆性能,安全性更佳,同时通过小齿轮带动大齿轮旋转的方式控制挡板的向上运动,操作更加省力,解决了脱脂过程中炉筒易爆炸的问题。(2)本技术通过冷却管可对内胆进行快速降温,实现在保护气氛下低温退火的工艺要求,同时吸热后的冷却水可快速失热,便于长时间使用,解决了脱脂过程中炉筒内温度过高不能满足退火要求的问题。附图说明图1为本技术的主视图;图2为本技术散热箱的内部结构示意图;图3为本技术内胆与冷却管连接时的结构示意图。图中:1炉筒、2活动门、3内胆、4竖筒、5挡板、6大齿轮、7小齿轮、8水箱、9水泵、10冷却管、11散热箱、12蒸发孔、13挡片、14横筒、15挡杆、16把手、17加强杆。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。请参阅图1-图3所示,本技术提供一种技术方案:一种旋转靶材脱脂装置,包括带有底座的炉筒1,炉筒1相当于对比文件(申请号为CN201820206723.0的一种用于生产硬质合金的脱脂炉)中的炉筒1,炉筒1内安装有与对比文件相同的加热装置,炉筒1的内部安装有内胆3,炉筒1的前表面通过合页安装有活动门2,且活动门2的侧壁安装有把手16,炉筒1的前表面且位于活动门2的上下侧均焊接有竖筒4,竖筒4的内部插接有可滑动的挡板5,挡板5的内部且位于顶侧的竖筒4顶部插接有固定杆,挡板5的一侧开设有齿槽,底座的前表面活动安装有与挡板5啮合的大齿轮6,底座的前表面活动安装有与大齿轮6啮合的小齿轮7,小齿轮7的前表面安装有转动杆,在活动门2关闭后,旋转把手16带动小齿轮7的旋转,以带动大齿轮6转动,通过大齿轮6的旋转可控制挡板5的向上运动通过两个竖筒4,即可将活动门2进行遮挡,提高了该装置的防爆性能,安全性更佳,同时通过小齿轮7带动大齿轮6旋转的方式控制挡板5的向上运动,操作更加省力。为了进行快速降温,本实施例中,优选的,炉筒1的侧壁安装有水箱8,水箱8的内壁底部安装有水泵9,水泵9的型号为WQD,工作电压为220V,水箱8的侧壁安装有与水泵9电性连接的开关,水泵9的出水端连接有冷却管10,冷却管10的端部延伸至内胆3与炉筒1之间且环绕于内胆3的外部,冷却管10的端部环绕内胆3后延伸至炉筒1的外部且连接有散热箱11,散热箱11安装于炉筒1的外壁,散热箱11通过导管与水箱8的顶部连接,水泵9将水箱8内部的水导至冷却管10的内部,可对内胆3进行快速降温,不仅可以实现快速脱脂工艺,而且还实现了在保护气氛下低温退火的工艺要求,实用性更佳。为了提高吸热后冷却水的降温速度,本实施例中,优选的,散热箱11为扁平状,冷却水经过散热箱11内部时不存储于散热箱11的内部,散热箱11远离炉筒1的一侧开设有密布的蒸发孔12,散热箱11的内壁且位于蒸发孔12的上方安装有挡片13,冷却水在散热箱11内部落下时增加了与外界空气的接触面积,通过蒸发孔12时可通过水蒸气的方式带走热量,避免冷却水吸热过多后温度较高影响冷却效果。为了进一步提高防爆效果,本实施例中,优选的,炉筒1的前表面且位于活动门2的侧部安装有横筒14,横筒14和把手16的内部插接有挡杆15。为了提高挡板5的强度,本实施例中,优选的,挡板5的侧壁安装有加强杆17,且加强杆17为条状。本技术的工作原理及使用流程:该技术在使用时,将物料放置在内胆3内进行脱脂,在活动门2关闭后,旋转把手带动小齿轮7的旋转,以带动大齿轮6转动,使大齿轮6的旋转可控制挡板5的向上运动通过两个竖筒4,即可将活动门2进行遮挡,提高了该装置的防爆性能,需要低温退火时,水泵9将水箱8内部的水导至冷却管10的内部,可对内胆3进行快速降温,冷却水在散热箱11内部落下时增加了与外界空气的接触面积,通过蒸发孔12时可通过水蒸气的方式带走热量,避免冷却水吸热过多后温度较高影响冷却效果,防爆进行长期使用。尽管已经示出和描述了本技术的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种旋转靶材脱脂装置,其特征在于,包括带有底座的炉筒,所述炉筒的内部安装有内胆,所述炉筒的前表面通过合页安装有活动门,且活动门的侧壁安装有把手,所述炉筒的前表面且位于活动门的上下侧均焊接有竖筒,所述竖筒的内部插接有可滑动的挡板,所述挡板的内部且位于顶侧的竖筒顶部插接有固定杆,所述挡板的一侧开设有齿槽,所述底座的前表面活动安装有与挡板啮合的大齿轮,所述底座的前表面活动安装有与大齿轮啮合的小齿轮,所述小齿轮的前表面安装有转动杆。/n

【技术特征摘要】
1.一种旋转靶材脱脂装置,其特征在于,包括带有底座的炉筒,所述炉筒的内部安装有内胆,所述炉筒的前表面通过合页安装有活动门,且活动门的侧壁安装有把手,所述炉筒的前表面且位于活动门的上下侧均焊接有竖筒,所述竖筒的内部插接有可滑动的挡板,所述挡板的内部且位于顶侧的竖筒顶部插接有固定杆,所述挡板的一侧开设有齿槽,所述底座的前表面活动安装有与挡板啮合的大齿轮,所述底座的前表面活动安装有与大齿轮啮合的小齿轮,所述小齿轮的前表面安装有转动杆。


2.根据权利要求1所述的一种旋转靶材脱脂装置,其特征在于:所述炉筒的侧壁安装有水箱,所述水箱的内壁底部安装有水泵,所述水箱的侧壁安装有与水泵电性连接的开关,所述水泵的出水端连接有冷却管,所述冷...

【专利技术属性】
技术研发人员:胡茂横
申请(专利权)人:深圳恒泰克科技有限公司
类型:新型
国别省市:广东;44

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