一种基于管式炉的快速卷对卷气相沉积制备装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种基于管式炉的快速卷对卷气相沉积制备装置，管式加热炉的一端与第一密封仓密封连接，管式加热炉的另一端与第二密封仓密封连接；传动装置包括位于第一密封仓内的至少两个第一卷绕辊、位于第二密封仓内的至少两个第二卷绕辊、与第一卷绕辊连接的第一电机组、以及与第二卷绕辊连接的第二电机组；第一卷绕辊与第二卷绕辊一一对应，任一第一卷绕辊与对应的第二卷绕辊之间形成一气相沉积生长线。此时在管式加热炉内形成有多条气相沉积生长线，在工作时一个管式加热炉内有多条气相沉积生长线可以同时工作，从而有效提高沉积生长效率，使得气相沉积制备装置具有较高的沉积生长效率。

A rapid coil to coil vapor deposition device based on tube furnace

【技术实现步骤摘要】
一种基于管式炉的快速卷对卷气相沉积制备装置
本技术涉及材料制备
，特别是涉及一种基于管式炉的快速卷对卷气相沉积制备装置。
技术介绍
化学气相沉积方法是一种利用反应物气态前驱体在一定温度下分解反应，形成薄膜、涂层或者微米、纳米结构的化学技术。这种方法已经被广泛应用于各种材料的合成，比如：石墨烯、碳纳米管、硅、氧化锌等等。管式加热炉作为一种易于制造和管理的反应炉已经被广泛应用于化学气相沉积反应。在现有技术中，气相沉积制备装置，包括管式加热炉在工作时，沉积生长的效率通常较低，所以如何提供一种具有较高沉积生长效率的气相沉积制备装置是本领域技术人员急需解决的问题。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种基于管式炉的快速卷对卷气相沉积制备装置，具有较高的沉积生长效率。为解决上述技术问题，本技术提供一种基于管式炉的快速卷对卷气相沉积制备装置，包括管式加热炉、第一密封仓、第二密封仓、供气系统、真空泵组、传动装置和冷却装置；所述管式加热炉的一端与所述第一密封仓密封连接，所述管式加热炉的另一端与所述第二密封仓密封连接；所述传动装置包括位于所述第一密封仓内的至少两个第一卷绕辊、位于所述第二密封仓内的至少两个第二卷绕辊、与所述第一卷绕辊连接的第一电机组、以及与所述第二卷绕辊连接的第二电机组；所述第一卷绕辊与所述第二卷绕辊一一对应，任一所述第一卷绕辊与对应的所述第二卷绕辊之间形成一气相沉积生长线；所述管式加热炉的内腔、所述第一密封仓和所述第二密封仓中任一与所述供气系统连通，另一与所述真空泵组连通；所述冷却装置用于冷却所述第一密封仓、所述第二密封仓和反应基体。可选的，还包括张力传感器组；所述张力传感器组用于检测所述反应基体张紧度；所述张力传感器组与所述第二电机组通讯连接。可选的，还包括行程开关组；所述行程开关组用于检测所述反应基体拉伸度；所述行程开关组分别与所述第一电机组和所述第二电机组通讯连接。可选的，所述传动装置还包括与所述第一电机组相配合的第一减速机组，以及与所述第二电机组相配合的第二减速机组。可选的，所述气相沉积生长线之间相互平行。可选的，所述第一密封仓通过法兰与所述管式加热炉的一端连接；所述第二密封仓通过法兰与所述管式加热炉的另一端连接。可选的，所述冷却装置包括沿所述第一密封仓和所述第二密封仓的外壁设置用于冷却所述第一密封仓和所述第二密封仓的水冷层、以及与所述反应基体的传送方向垂直布置且与所述反应基体贴合用于冷却所述反应基体的水冷管组。可选的，所述供气系统包括用于承装氢气或者氩气或者硅烷或者甲烷或者乙烯或者乙炔或者乙烷气体的气瓶，所述气瓶的个数不少于两个，所述气瓶上设置有流量计。可选的，所述真空泵组包括以下任意一项或任意组合的真空泵：机械泵、扩散泵、分子泵。可选的，还包括真空计；所述真空计用于检测所述管式加热炉内真空度，所述真空计与所述真空泵组通讯连接。本技术所提供的一种基于管式炉的快速卷对卷气相沉积制备装置，管式加热炉的一端与第一密封仓密封连接，管式加热炉的另一端与第二密封仓密封连接；传动装置包括位于第一密封仓内的至少两个第一卷绕辊、位于第二密封仓内的至少两个第二卷绕辊、与第一卷绕辊连接的第一电机组、以及与第二卷绕辊连接的第二电机组；第一卷绕辊与第二卷绕辊一一对应，任一第一卷绕辊与对应的第二卷绕辊之间形成一气相沉积生长线。此时在管式加热炉内形成有多条气相沉积生长线，在工作时一个管式加热炉内有多条气相沉积生长线可以同时工作，从而有效提高沉积生长效率，使得气相沉积制备装置具有较高的沉积生长效率。附图说明为了更清楚的说明本技术实施例或现有技术的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本技术实施例所提供的一种基于管式炉的快速卷对卷气相沉积制备装置的结构示意图。图中：1.管式加热炉、2.第一密封仓、3.第二密封仓、4.第一卷绕辊、5.第一电机组、6.第二卷绕辊、7.第二电机组、8.水冷层、9.水冷管组、10.气瓶、11.流量计、12.行程开关组、13.真空泵组。具体实施方式本技术的核心是提供一种基于管式炉的快速卷对卷气相沉积制备装置。在现有技术中，一个管式加热炉内通常只有一条气相沉积生长线，从而一个管式加热炉在同一时间只能在一条气相沉积生长线上进行气相沉积生长，从而使得现有技术中气相沉积制备装置的沉积生长效率较低。而本技术所提供的一种基于管式炉的快速卷对卷气相沉积制备装置，管式加热炉的一端与第一密封仓密封连接，管式加热炉的另一端与第二密封仓密封连接；传动装置包括位于第一密封仓内的至少两个第一卷绕辊、位于第二密封仓内的至少两个第二卷绕辊、与第一卷绕辊连接的第一电机组、以及与第二卷绕辊连接的第二电机组；第一卷绕辊与第二卷绕辊一一对应，任一第一卷绕辊与对应的第二卷绕辊之间形成一气相沉积生长线。此时在管式加热炉内形成有多条气相沉积生长线，在工作时一个管式加热炉内有多条气相沉积生长线可以同时工作，从而有效提高沉积生长效率，使得气相沉积制备装置具有较高的沉积生长效率。为了使本
的人员更好地理解本技术方案，下面结合附图和具体实施方式对本技术作进一步的详细说明。显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参考图1，图1为本技术实施例所提供的一种基于管式炉的快速卷对卷气相沉积制备装置的结构示意图。参见图1，在本技术实施例中，所述气相沉积制备装置可以包括管式加热炉1、第一密封仓2、第二密封仓3、供气系统、真空泵组13、传动装置和冷却装置；所述管式加热炉1的一端与所述第一密封仓2密封连接，所述管式加热炉1的另一端与所述第二密封仓3密封连接；所述传动装置包括位于所述第一密封仓2内的至少两个第一卷绕辊4、位于所述第二密封仓3内的至少两个第二卷绕辊6、与所述第一卷绕辊4连接的第一电机组5、以及与所述第二卷绕辊6连接的第二电机组7；所述第一卷绕辊4与所述第二卷绕辊6一一对应，任一所述第一卷绕辊4与对应的所述第二卷绕辊6之间形成一气相沉积生长线；所述管式加热炉1的内腔、所述第一密封仓2和所述第二密封仓3中任一与所述供气系统连通，另一与所述真空泵组13连通；所述冷却装置用于冷却所述第一密封仓2、所述第二密封仓3和反应基体。上述管式加热炉1为整个气相沉积制备装置的主体，该管式加热炉1具有一内腔，该管式加热炉1可以对其内腔进行加热以进行气相沉积。在本技术实施例中，气相沉积的具体反应通常是在该管式加热炉1的内腔进行。有关上述管式加热炉的具体结构可以参考现有技本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于管式炉的快速卷对卷气相沉积制备装置，其特征在于，包括管式加热炉、第一密封仓、第二密封仓、供气系统、真空泵组、传动装置和冷却装置；/n所述管式加热炉的一端与所述第一密封仓密封连接，所述管式加热炉的另一端与所述第二密封仓密封连接；所述传动装置包括位于所述第一密封仓内的至少两个第一卷绕辊、位于所述第二密封仓内的至少两个第二卷绕辊、与所述第一卷绕辊连接的第一电机组、以及与所述第二卷绕辊连接的第二电机组；所述第一卷绕辊与所述第二卷绕辊一一对应，任一所述第一卷绕辊与对应的所述第二卷绕辊之间形成一气相沉积生长线；/n所述管式加热炉的内腔、所述第一密封仓和所述第二密封仓中任一与所述供气系统连通，另一与所述真空泵组连通；所述冷却装置用于冷却所述第一密封仓、所述第二密封仓和反应基体。/n

【技术特征摘要】
1.一种基于管式炉的快速卷对卷气相沉积制备装置，其特征在于，包括管式加热炉、第一密封仓、第二密封仓、供气系统、真空泵组、传动装置和冷却装置；
所述管式加热炉的一端与所述第一密封仓密封连接，所述管式加热炉的另一端与所述第二密封仓密封连接；所述传动装置包括位于所述第一密封仓内的至少两个第一卷绕辊、位于所述第二密封仓内的至少两个第二卷绕辊、与所述第一卷绕辊连接的第一电机组、以及与所述第二卷绕辊连接的第二电机组；所述第一卷绕辊与所述第二卷绕辊一一对应，任一所述第一卷绕辊与对应的所述第二卷绕辊之间形成一气相沉积生长线；
所述管式加热炉的内腔、所述第一密封仓和所述第二密封仓中任一与所述供气系统连通，另一与所述真空泵组连通；所述冷却装置用于冷却所述第一密封仓、所述第二密封仓和反应基体。


2.根据权利要求1所述的气相沉积制备装置，其特征在于，还包括张力传感器组；
所述张力传感器组用于检测所述反应基体张紧度；所述张力传感器组与所述第二电机组通讯连接。


3.根据权利要求2所述的气相沉积制备装置，其特征在于，还包括行程开关组；
所述行程开关组用于检测所述反应基体拉伸度；所述行程开关组分别与所述第一电机组和所述第二电机组通讯连接。


4.根据权利要求1所述的气相沉积制备装置，其特征在于，所述传动装置还包括与所...

【专利技术属性】
技术研发人员：林景晓，汪伟，刘兆平，
申请(专利权)人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所，
类型：新型
国别省市：浙江;33