一种光刻胶灌装机灌装内部洁净装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种光刻胶灌装机灌装内部洁净装置，包括控制盒、水箱、电机盒、连接装置、连接块、刷子及喷水装置，所述控制盒底部设有把手，控制盒外侧设有控制按钮，控制盒内部安装水箱，水箱上端设有四个水管，水管另一端与连接装置内部连接，控制盒上端设有电机盒，电机盒内部设有旋转电机，旋转电机前端设有连接杆，连接杆与连接装置连接，连接装置一端与电机盒连接，连接块与连接装置另一端固定连接，刷子及喷水装置均与连接块可拆卸连接，该装置通过控制按钮对整个装置进行控制即可，使用方便，该装置可拆卸结构便于零件进行更换与清理，清理方便，使用寿命长，该装置能够深入多个尺寸的管道与孔洞中对内部进行清洁，适用范围广。

A cleaning device for the inner part of photoresist filling machine

【技术实现步骤摘要】
一种光刻胶灌装机灌装内部洁净装置
本技术涉及光刻胶
，具体为一种光刻胶灌装机灌装内部洁净装置。
技术介绍
光刻胶是微电子技术中微细图形加工的关键材料之一，特别是近年来大规模和超大规模集成电路的发展，更是大大促进了光刻胶的研究开发和应用。印刷工业是光刻胶应用的另一重要领域。1954年由明斯克等人首先研究成功的聚乙烯醇肉桂酸脂就是用于印刷工业的，以后才用于电子工业，光刻胶的技术复杂，品种较多。根据其化学反应机理和显影原理，可分负性胶和正性胶两类。光照后形成不可溶物质的是负性胶；反之，对某些溶剂是不可溶的，经光照后变成可溶物质的即为正性胶。现有的光刻胶灌装机在长时间使用后容易在内部产生原料堆积，由于灌装机内部难以深入，因此灌装机内部清洁变得非常麻烦，使用清洁液进行清洁效果并不好。
技术实现思路
本技术所解决的技术问题在于提供一种光刻胶灌装机灌装内部洁净装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。本技术所解决的技术问题采用以下技术方案来实现：一种光刻胶灌装机灌装内部洁净装置，包括控制盒、水箱、电机盒、连接装置、连接块、刷子及喷水装置，所述控制盒底部设有把手，控制盒外侧设有控制按钮，控制盒内部安装水箱，水箱上端设有四个水管，水管另一端与连接装置内部连接，控制盒上端设有电机盒，电机盒内部设有旋转电机，旋转电机前端设有连接杆，连接杆与连接装置连接，连接装置一端与电机盒连接，连接块与连接装置另一端固定连接，刷子及喷水装置均与连接块可拆卸连接。进一步地，所述控制盒外部控制按钮与水箱及旋转电机通过线路连接，控制盒底部把手设有若干凹槽。进一步地，所述水箱内部顶端设有微型水泵，微型水泵通过控制按钮控制，微型水泵上端设有水管，水箱右侧设有灌水口。进一步地，连接装置内部设有四个导管，四个导管分布在连接装置内部上下左右四个方向，导管一端与水管连接，导管另一端与连接块连接，连接装置内部中间设有转杆，转杆一端与旋轴固定连接，旋轴与连接装置内部转动连接，旋轴外部与连接杆固定连接，转杆另一端与连接轴固定连接。进一步地，连接块中间为旋杆，旋杆外部与连接轴固定连接，连接轴与连接块转动连接，连接轴上设有连接孔，连接块上下左右方向设有导管，导管外侧设有导管连接块，导管连接块上设有导管连接孔。进一步地，刷子外侧设有刷毛连接块，刷毛连接块上设有刷毛，刷子内侧设有刷子连接杆，刷子连接杆另一端设有刷子连接块，刷子连接块上设有若干与连接轴上的连接孔对应的连接孔。进一步地，所述喷水装置外侧设有四个喷头，喷头上设有若干喷孔，喷头与喷水装置内部喷水室连接，喷水室与喷水装置外侧插管连接，插管外侧设有喷水装置连接块，喷水装置连接块上设有喷水装置连接孔，喷水装置连接孔设在喷头之间空隙处。与现有技术相比，本技术的有益效果是：1、该装置使用方便，通过控制按钮对整个装置进行控制即可，使用方便。2、该装置可拆卸结构便于零件进行更换与清理，清理方便，使用寿命长。3、该装置能够深入多个尺寸的管道与孔洞中对内部进行清洁，适用范围广。附图说明图1为本技术的结构图；图2为本技术的连接装置结构图；图3为本技术的连接块结构图；图4为本技术的喷水装置内部结构图；图5为本技术的刷子结构图。具体实施方式为了使本技术的实现技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示，进一步阐述本技术。如图1～5所示，一种光刻胶灌装机灌装内部洁净装置，包括控制盒1、水箱2、电机盒3、连接装置4、连接块5、刷子6及喷水装置7，所述控制盒1底部设有把手11，控制盒1外侧设有控制按钮12，控制盒1内部安装水箱2，水箱2上端设有四个水管21，水管21另一端与连接装置4内部连接，控制盒1上端设有电机盒3，电机盒3内部设有旋转电机31，旋转电机31前端设有连接杆32，连接杆32与连接装置4连接，连接装置4一端与电机盒3连接，连接块5与连接装置4另一端固定连接，刷子6及喷水装置7均与连接块5可拆卸连接。所述控制盒1外部控制按钮12与水箱2及旋转电机13通过线路连接，控制盒1底部把手11设有若干凹槽。所述水箱2内部顶端设有微型水泵，微型水泵通过控制按钮12控制，微型水泵上端设有水管21，水箱2右侧设有灌水口22。所述连接装置如图3所示，图3为本技术的连接装置结构图，连接装置4内部设有四个导管42，四个导管42分布在连接装置4内部上下左右四个方向，导管42一端与水管21连接，导管42另一端与连接块5连接，连接装置4内部中间设有转杆41，转杆41一端与旋轴44固定连接，旋轴44与连接装置4内部转动连接，旋轴44外部与连接杆32固定连接，转杆41另一端与连接轴42固定连接。所述连接块5如图2所示，图2为本技术的连接块结构图，连接块5中间为旋杆41，旋杆41外部与连接轴43固定连接，连接轴43与连接块5转动连接，连接轴43上设有连接孔431，连接块5上下左右方向设有导管42，导管42外侧设有导管连接块51，导管连接块51上设有导管连接孔52。所述刷子6如图5所示，图5为本技术的刷子结构图，刷子6外侧设有刷毛连接块62，刷毛连接块62上设有刷毛61，刷子6内侧设有刷子连接杆63，刷子连接杆63另一端设有刷子连接块64，刷子连接块64上设有若干与连接轴43上的连接孔431对应的连接孔。所述喷水装置如图4所示，图4为本技术的喷水装置内部结构图，所述喷水装置7外侧设有四个喷头71，喷头71上设有若干喷孔72，喷头71与喷水装置内部喷水室73连接，喷水室73与喷水装置外侧插管76连接，插管76外侧设有喷水装置连接块74，喷水装置连接块74上设有喷水装置连接孔75，喷水装置连接孔75设在喷头71之间空隙处。连接方法：1、将刷子6上的刷子连接块64对准连接轴43后，通过钉子等穿过连接孔，将刷子6与连接轴43固定连接。2、将喷水装置7外侧插管76插入连接块5内部导管42内部，再通过螺钉穿过喷水装置连接孔75及导管连接孔52将喷水装置7与连接块5固定连接。工作流程：1、将各部件安装好之后，将连接装置深入需要清理的空隙内部。2、通过控制按钮12控制水箱2工作，将水箱2内部清洁液通过水管21输送到导管42内，再通过喷水装置7外部喷头71喷出。3、再通过控制按钮12控制旋转电机31转动带动连接杆32转动，连接杆32带动转杆41转动，转杆41带动刷子6转动，刷子6上的刷毛对空隙内部进行清洁工作。以上显示和描述了本技术的基本原理和主要特征和本技术的优点。本行业的技术人员应该了解，本技术不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本技术的原理，在不脱离本技术精神和范围的前提下，本技术还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本技术范围内。本技术的要求保护本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光刻胶灌装机灌装内部洁净装置，包括控制盒、水箱、电机盒、连接装置、连接块、刷子及喷水装置，其特征在于：所述控制盒底部设有把手，控制盒外侧设有控制按钮，控制盒内部安装水箱，水箱上端设有四个水管，水管另一端与连接装置内部连接，控制盒上端设有电机盒，电机盒内部设有旋转电机，旋转电机前端设有连接杆，连接杆与连接装置连接，连接装置一端与电机盒连接，连接块与连接装置另一端固定连接，刷子及喷水装置均与连接块可拆卸连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种光刻胶灌装机灌装内部洁净装置，包括控制盒、水箱、电机盒、连接装置、连接块、刷子及喷水装置，其特征在于：所述控制盒底部设有把手，控制盒外侧设有控制按钮，控制盒内部安装水箱，水箱上端设有四个水管，水管另一端与连接装置内部连接，控制盒上端设有电机盒，电机盒内部设有旋转电机，旋转电机前端设有连接杆，连接杆与连接装置连接，连接装置一端与电机盒连接，连接块与连接装置另一端固定连接，刷子及喷水装置均与连接块可拆卸连接。


2.根据权利要求1所述的一种光刻胶灌装机灌装内部洁净装置，其特征在于：所述控制盒外部控制按钮与水箱及旋转电机通过线路连接，控制盒底部把手设有若干凹槽。


3.根据权利要求1所述的一种光刻胶灌装机灌装内部洁净装置，其特征在于：所述水箱内部顶端设有微型水泵，微型水泵通过控制按钮控制，微型水泵上端设有水管，水箱右侧设有灌水口。


4.根据权利要求1所述的一种光刻胶灌装机灌装内部洁净装置，其特征在于：连接装置内部设有四个导管，四个导管分布在连接装置内部上下左右四个方向，导管一端与水管连接，...

【专利技术属性】
技术研发人员：宋里千，陈武档，周国波，赖艺珠，梁荣增，
申请(专利权)人：福建泓光半导体材料有限公司，
类型：新型
国别省市：福建;35