【技术实现步骤摘要】
一种三自由度的微型电磁数字致动器
本技术属于微型机械致动器
，涉及一种三自由度的微型电磁数字致动器。
技术介绍
在现有技术的微机电系统中，致动器是一种将输入能量转化为机械输出的装置。最常见的致动器就是基于模拟控制的致动器，它们的运动单元可以到达工作行程内的任意位置。这类致动器一般有如下优点，能够在工作范围内连续控制，高性能，高可靠性等。为了获得这些优点，闭环控制和相应的反馈传感器都被应用在了这类型致动器上。然而，由于闭环控制以及相应的反馈传感器的应用，其控制也会相应的复杂化，以确保其高性能水平或完成复杂任务的能力。反馈传感器的安装集成有可能也会为此类致动器设计带来问题，尤其是当这类致动器被应用于紧凑的或者高度集成化的微机电系统中时,安装空间的限制就会体现出来。另外，要使运动单元保持在被要求的位置，同时抵抗外界的干扰，持续的能量输入也是必不可少的。这也将给此类系统带来焦耳热效应的影响或者系统故障。为了解决这些由于设计原理带来的缺陷，另一种基于数字控制的致动器被开发了出来。此类基于数字控制的致动器，其运动单元能够在...
【技术保护点】
1.一种三自由度的微型电磁数字致动器，其特征在于，包括控制板卡(1)，所述控制板卡(1)通过导线(12)连接有功率放大器(2)，所述功率放大器(2)通过导线(12)连接有线圈电路板(3)及直线电路板(5)，线圈电路板(3)上面固接玻璃板一(4)，所述玻璃板一(4)上面固接直线电路板(5)，直线电路板(5)上端固接玻璃板二(6)，所述玻璃板二(6)上端固接致动器(7)；所述致动器(7)包括支撑框架，固定嵌装在支撑框架四角处的固定永磁铁(8)，活动嵌装在支撑框架凹槽内的被驱动永磁铁外部PMMA壳体(9)，被驱动永磁铁外部PMMA壳体(9)内部活动放置有磁化方向与固定永磁铁(8)...
【技术特征摘要】
1.一种三自由度的微型电磁数字致动器，其特征在于，包括控制板卡(1)，所述控制板卡(1)通过导线(12)连接有功率放大器(2)，所述功率放大器(2)通过导线(12)连接有线圈电路板(3)及直线电路板(5)，线圈电路板(3)上面固接玻璃板一(4)，所述玻璃板一(4)上面固接直线电路板(5)，直线电路板(5)上端固接玻璃板二(6)，所述玻璃板二(6)上端固接致动器(7)；所述致动器(7)包括支撑框架，固定嵌装在支撑框架四角处的固定永磁铁(8)，活动嵌装在支撑框架凹槽内的被驱动永磁铁外部PMMA壳体(9)，被驱动永磁铁外部PMMA壳体(9)内部活动放置有磁化方向与固定永磁铁(8)相反的被驱动永磁铁(10)。
2.根据权利要求1所述的一种三自由度的微型电磁数字致动器，其特征在于，所述控制板卡(1)为单片机或数字信号输出卡。
3.根据权利要求1所述的一种三自由度的微型电磁数字致动器，其特征在于，所述功率放大器(2)为电压电流转换器或可控硅。
4.根据权利要求1所述的一种三自由度的微型电磁数字致动器，其特征在于，所述线圈电路板(3)为印制的电磁线圈电路板，线圈电路板(3...
【专利技术属性】
技术研发人员：呼延鹏飞，代海风，胥光申，
申请(专利权)人：西安工程大学，
类型：新型
国别省市：陕西;61
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