一种靶板的制备方法技术

本发明专利技术涉及一种靶板的制备方法，包括如下步骤：将靶板材料进行线切割；对靶板材料进行升温、保温，然后冷却至常温；然后进行加工，直至靶板材料的厚度为1.1～1.4mm；对靶板材料再次进行升温、保温，然后冷却至常温；将冷却后的靶板材料的底面胶接在固定工装上，然后对顶面进行加工，采用同样的方法对底面进行加工，直至靶板材料的厚度为0.64mm，得到靶板粗品；对靶板粗品的表面进行研磨，得到靶板成品。本发明专利技术中靶板材料尺寸稳定可控，提高了产品的合格率，良品率由原来的5％提高到90％，大大提高了生产效率，节约了生产成本。

A preparation method of target plate

【技术实现步骤摘要】
一种靶板的制备方法
本专利技术涉及加工
，具体涉及一种靶板的制备方法。
技术介绍
靶板(狭缝板)是质谱仪器的一个关健零件之一，对平面度要求小于0.005。在加工靶板时，由于厚度十分单薄厚度只有0.6mm,材料是3Cr13不锈钢,即刚性差，强度弱，从而给加工带来了各种技术上的问题。一是因工件壁薄，在夹压力的作用下容易产生变形。从而影响工件的尺寸精度和形状精度。当采用台虎钳夹紧工件时，在夹紧力的作用下，会略微变成拱形，这样，当松开台虎钳时，取下工件后，由于弹性恢复，变形成拱形，二是因工件较薄，切削热会引起工件热变形，从而使工件尺寸难以控制。对如何防止其变形，用常规的加工工艺达不到所要求的尺寸精度,导致成批零件报废
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种能够提高靶板尺寸精度、提高产品合格率的靶板的制备方法。本专利技术的具体技术方案如下：一种靶板的制备方法，包括如下步骤：将靶板材料进行线切割；对线切割后的靶板材料进行升温、保温，然后冷却至常温；对冷却后的靶板材料进行加工，直至靶板材料的厚度为1.1～1.4mm；对加工后的靶板材料再次进行升温、保温，然后冷却至常温；将冷却后的靶板材料的底面胶接在固定工装上，然后对顶面进行加工，采用同样的方法对底面进行加工，直至靶板材料的厚度为0.64mm，得到靶板粗品；对靶板粗品的表面进行研磨，得到靶板成品。优选的，所述靶板材料为3Cr13不锈钢，线切割下料尺寸为60*50*2；便于靶板材料的后续加工。因靶板材料较薄，切削热会引起工件热变形，从而使工件尺寸难以控制。优选的，对线切割后的靶板材料升温至550～670℃、保温3～5小时，然后冷却至常温。目的是均匀靶板材料的内部组织,去除内应力，避免因切削热引起工件的热变形，提高产品的尺寸精度。因靶板材料较薄，切削热会引起工件热变形，从而使工件尺寸难以控制。优选的，对加工后的靶板材料再次升温至700～750℃、保温3～5小时，然后冷却至常温。目的是均匀靶板材料的内部组织,去除内应力，避免因切削热引起工件的热变形，提高产品的尺寸精度。优选的，所述固定工装上设有石膏槽，石膏槽的上方设有靶板定位槽，靶板定位槽内的靶板材料通过石膏槽内的石膏胶接在固定工装上。避免采用台虎钳夹紧工件时，在夹紧力的作用下，使工件产生变形；提高产品的尺寸精度。优选的，石膏槽的深度为15mm，靶板定位槽的深度为0.4mm。既不浪费石膏、节约原材料，又能够使靶板材料牢牢胶接在固定工装上，并且加工时刀具不会碰到固定工装。优选的，石膏槽内石膏的原料物质包括熟石膏、水和石膏硬化剂，其中熟石膏和水的重量比为1.5:1；为靶板材料提供足够的粘结力，将靶板材料牢牢粘住；加工时，避免了靶板材料在靶板定位槽内发生移动而影响产品的尺寸精度。优选的，将冷却后的靶板材料的底面胶接在固定工装上，然后对顶面进行加工的具体步骤如下：将熟石膏、水和石膏硬化剂加入到石膏槽中，将靶板材料的底面朝下放置在靶板定位槽内，待石膏干燥15分钟后采用高速雕刻机将顶面加工出平面，加工时采用微乳切削液DC-508进行冷却，加工完后，采用脱膜剂软化石膏，将靶板材料取出。无需外力，靶板材料在自然状态下可以进行加工，避免采用其他工具夹紧工件时，在夹紧力的作用下，使工件产生变形。优选的，采用高速雕刻机进行加工时转速为15000转/分，切削量为0.01；便于将靶板材料的底面和顶面加工出平面。优选的，对靶板粗品的表面进行研磨时，先在大理石研磨平台上用W2.5#研磨膏研磨,再换用W0.5#研磨膏精研表面至镜面要求，得到靶板成品。本专利技术中靶板材料加工前进行两次升温、保温的稳定化处理，均匀靶板材料的内部组织，去除内应力，避免因切削热引起工件的热变形，提高产品的尺寸精度。加工时，靶板材料在自然状态下胶接在固定工装上，无需施加外力；避免因夹压力的作用产生变形，尺寸稳定可控，提高了产品的合格率，良品率由原来的5％提高到90％，大大提高了生产效率，节约了生产成本。附图说明图1为本专利技术固定工装的结构示意图。具体实施方式以下结合具体实施例进一步说明本专利技术，本专利技术未提及部分均为现有技术。本专利技术中石膏硬化剂采用本领域内常规的硬化剂，其加入量也是按照本领域内的常规加入量。本专利技术采用的固定工装的具体结构参见图1，固定工装上设有石膏槽1，石膏槽1的上方设有靶板定位槽2，石膏槽的深度为15mm，靶板定位槽的深度为0.4mm。实施例1一种靶板的制备方法，包括如下步骤：将靶板材料3Cr13不锈钢进行线切割，线切割下料尺寸为60*50*2；对线切割后的靶板材料进行第一次稳定化处理，烘箱升温至550℃、保温4小时，然后自然冷却至常温；对冷却后的靶板材料的两面进行铣床加工，直至靶板材料的厚度为1.2mm；对加工后的靶板材料进行第二次稳定化处理，烘箱升温至750℃、保温4小时，然后自然冷却至常温；将熟石膏、水和石膏硬化剂(熟石膏和水的重量比为1.5:1)加入到石膏槽中，将靶板材料的底面朝下放置在靶板定位槽内，待石膏干燥约15分钟后靶板材料在自然状态下牢牢固定在石膏上，再采用高速雕刻机将顶面加工出平面，转速为15000转/分，切削量为0.01,加工时采用微乳切削液DC-508进行冷却，加工完后，采用脱膜剂软化石膏，将靶板材料取出；采用同样的方法对底面进行加工，直至靶板材料的厚度为0.64mm，得到靶板粗品；对靶板粗品的表面进行研磨，先在大理石研磨平台上用W2.5#研磨膏研磨,再换用W0.5#研磨膏精研表面至镜面要求，得到靶板成品。实施例2一种靶板的制备方法，包括如下步骤：将靶板材料3Cr13不锈钢进行线切割，线切割下料尺寸为60*50*2；对线切割后的靶板材料进行第一次稳定化处理，烘箱升温至670℃、保温3小时，然后自然冷却至常温；对冷却后的靶板材料的两面进行铣床加工，直至靶板材料的厚度为1.1mm；对加工后的靶板材料进行第二次稳定化处理，烘箱升温至700℃、保温5小时，然后自然冷却至常温；将熟石膏、水和石膏硬化剂(熟石膏和水的重量比为1.5:1)加入到石膏槽中，将靶板材料的底面朝下放置在靶板定位槽内，待石膏干燥约15分钟后靶板材料在自然状态下牢牢固定在石膏上，再采用高速雕刻机将顶面加工出平面，转速为15000转/分，切削量为0.01,加工时采用微乳切削液DC-508进行冷却，加工完后，采用脱膜剂软化石膏，将靶板材料取出；采用同样的方法对底面进行加工，直至靶板材料的厚度为0.64mm，得到靶板粗品；对靶板粗品的表面进行研磨，先在大理石研磨平台上用W2.5#研磨膏研磨,再换用W0.5#研磨膏精研表面至镜面要求，得到靶板成品。实施例3一种靶板的制备方法，包括如下步骤：将靶板材料3Cr13不锈钢进行线切割，线切割下料尺寸为60*50*2；对线切割后的靶板材料进行本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种靶板的制备方法，其特征在于包括如下步骤：/n将靶板材料进行线切割；/n对线切割后的靶板材料进行升温、保温，然后冷却至常温；/n对冷却后的靶板材料进行加工，直至靶板材料的厚度为1.1～1.4mm；/n对加工后的靶板材料再次进行升温、保温，然后冷却至常温；/n将冷却后的靶板材料的底面胶接在固定工装上，然后对顶面进行加工，采用同样的方法对底面进行加工，直至靶板材料的厚度为0.64mm，得到靶板粗品；/n对靶板粗品的表面进行研磨，得到靶板成品。/n

【技术特征摘要】
1.一种靶板的制备方法，其特征在于包括如下步骤：
将靶板材料进行线切割；
对线切割后的靶板材料进行升温、保温，然后冷却至常温；
对冷却后的靶板材料进行加工，直至靶板材料的厚度为1.1～1.4mm；
对加工后的靶板材料再次进行升温、保温，然后冷却至常温；
将冷却后的靶板材料的底面胶接在固定工装上，然后对顶面进行加工，采用同样的方法对底面进行加工，直至靶板材料的厚度为0.64mm，得到靶板粗品；
对靶板粗品的表面进行研磨，得到靶板成品。


2.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述靶板材料为3Cr13不锈钢，线切割下料尺寸为60*50*2。


3.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，对线切割后的靶板材料升温至550～670℃、保温3～5小时，然后冷却至常温。


4.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，对加工后的靶板材料再次升温至700～750℃、保温3～5小时，然后冷却至常温。


5.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述固定工装上设有石膏槽，石膏槽的上方设有靶板定位槽，靶板定位...

【专利技术属性】
技术研发人员：王建立，汪新良，
申请(专利权)人：上海派尼科技实业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31