用于切割衬底的台和衬底切割装置制造方法及图纸

技术编号:24286634 阅读:43 留言:0更新日期:2020-05-26 18:43
本申请涉及用于切割衬底的台以及衬底切割装置。该台包括支承构件和第一管线,其中:支承构件用于将衬底安装在其上,包括多个单元区域,并且限定位于多个单元区域之间的、具有凹槽形状的凹槽线;第一管线插入到凹槽线中以接触凹槽线的内壁,并且具有敞开的上部部分。

Table and substrate cutting device for cutting substrate

【技术实现步骤摘要】
用于切割衬底的台和衬底切割装置相关申请的交叉引用本申请要求于2018年11月16日在韩国知识产权局提交的第10-2018-0141884号韩国专利申请的优先权和权益,该韩国专利申请的全部公开内容通过引用并入本文中。
本公开总体涉及用于切割衬底的台以及衬底切割装置。
技术介绍
随着信息时代的到来,用于在视觉上显示电信息信号的显示领域得到快速发展。因此,已经迅速开发并使用了各种显示设备。这类显示设备的示例包括液晶显示设备(LCD)、场发射显示设备(FED)、电泳显示设备(EPD)、电润湿显示设备(EWD)、有机发光显示设备(OLED)、量子点显示设备(QD)等。显示设备包括显示面板,显示元件和驱动元件位于显示面板中。在显示设备的制造过程期间,可以在单个母衬底上形成多个显示面板。另外,母衬底可以安装在衬底切割装置的台上,并且可以通过激光切割成多个单元。
技术实现思路
本文中公开的实施方式提供了用于切割衬底的台,并且还提供了衬底切割装置,其中,台包括具有与台的凹槽线对应的形状的第一管线,第一管线插入并安装在凹槽线中,并且第一管线被可拆卸地设置,使得可以有效去除形成在台处的异物。本文中公开的实施方式还提供了用于切割衬底的台,并且还提供了衬底切割装置,其中,台包括第一管线,该第一管线与台的凹槽线的内壁接触以与凹槽线对应,并且第一管线被可拆卸地设置,使得可以减少去除在台处形成的异物所需的时间。根据本公开的方面,提供了用于切割衬底的台,该台包括支承构件和第一管线,其中:支承构件用于将衬底安装在其上,包括多个单元区域,并且限定位于多个单元区域之间的、具有凹槽形状的凹槽线;第一管线插入到凹槽线中以接触凹槽线的内壁,并且具有敞开的上部部分。凹槽线和第一管线可以具有格子形状。第一管线可以与凹槽线分离。台还可以包括排出线,该排出线连接到凹槽线以用于通过排出线将异物从凹槽线排出,其中,第一管线具有与凹槽线对应的形状,并且限定将第一管线的内部空间和排出线连接的狭缝线。台还可以包括具有与排出线对应的形状的第二管线,该第二管线插入到排出线中。第二管线的内部空间可以通过狭缝线连接到第一管线的内部空间。第二管线可以与第一管线集成为一体。支承构件还可以包括位于多个单元区域之间与凹槽线重叠的多个虚设区域,并且台还可以包括与多个虚设区域对应的子管线。台还可以包括多条子凹槽线,多条子凹槽线在多个虚设区域与多个单元区域之间沿着与凹槽线相同的方向延伸。多条子凹槽线可以在子管线下方彼此连接。子管线可以包括用于吸附衬底的多个开口。第一管线可以与子管线集成为一体。第一管线还可以包括位于与支承构件接触的表面上的涂覆层,其中,涂覆层与支承构件之间的摩擦系数小于第一管线与支承构件之间的摩擦系数。涂覆层可以包括特氟隆。第一管线可以包括金属材料。根据本公开的另一方面,提供了衬底切割装置,该衬底切割装置包括台和激光模块,其中,台用于切割安装在台上的包括多个单元的衬底,激光模块用于通过将激光照射到衬底上来分离多个单元,其中,台包括支承构件和第一管线,其中:支承构件具有多个单元区域,并且限定位于多个单元区域之间的、具有凹槽形状的凹槽线;第一管线插入到凹槽线中以接触凹槽线的内壁,并且具有敞开的上部部分。台还可以包括排出线,该排出线连接到凹槽线以用于将异物从凹槽线排出,其中,第一管线具有与凹槽线对应的形状,并且限定将第一管线的内部空间和排出线连接的狭缝线。台还可以包括第二管线,该第二管线具有与排出线对应的形状,并且插入到排出线中。支承构件还可以包括位于多个单元区域之间与凹槽线重叠的多个虚设区域,并且台还可以包括与多个虚设区域对应的子管线。附图说明现在将参照附图在下文中更全面地描述实施方式;然而,这些实施方式可以以不同的形式进行实施,并且不应被解释为受限于本文中阐述的实施方式。相反,提供这些实施方式使得本公开将是透彻且完整的,并将向本领域技术人员充分传达本公开的范围。在附图中,为了清楚地示出,尺寸可能被夸大。将理解的是,当元件被称为在两个元件“之间”时,该元件可以是两个元件之间的唯一元件,或者还可以存在一个或多个介于中间的元件。相同的附图标记通篇表示相同的元件。图1是示出根据本公开的实施方式的用于切割衬底的台和衬底切割装置的分解立体图。图2是示出根据本公开的实施方式的台和衬底切割装置的平面图。图3是沿着图2的线III-III'截取的剖视图。图4是示出根据本公开的另一实施方式的用于切割衬底的台和衬底切割装置的剖视图。图5是示出根据本公开的又一实施方式的用于切割衬底的台和衬底切割装置的剖视图。图6是示出根据本公开的又一实施方式的用于切割衬底的台和衬底切割装置的平面图。图7是沿着图6的线VII-VII'截取的剖视图。具体实施方式结合附图参考下面详细描述的实施方式,本公开的各方面及实现它们的方式将变得显而易见。然而,实施方式可以以许多不同的形式来实施,并且不应解释为受限于本文中阐述的实施方式。相反,提供这些实施方式使得本公开将是透彻且完整的,并将向本领域技术人员充分传达范围。本公开的范围应通过权利要求进行限定。由于附图中示出的组成元件的形状、尺寸、比例、角度、数量等是为了描述本公开的实施方式而通过示例的方式给出的,因此本公开不受限于这些图示。在整个说明书中,将使用相同的附图标记表示相同或相似的部分。另外,在本公开的以下描述中,当相关已知技术的详细描述可能使本公开的主题相当不清楚时,将省略相关已知技术的详细描述。在使用本说明书中提及的术语“包含(comprises)”、“包括(includes)”、“包括有(consistsof)”的情况下,只要不使用术语“仅(only)”,它们就不排除其它组成元件的存在或增加。在任何组成元件以单数形式表示的情况下,除非上下文另有明确指出,否则其旨在也包括复数形式。关于组成元件的理解,即使没有明确描述,组成元件也应理解为具有误差范围。在与位置关系有关的描述的情况下,例如,当使用“上”、“上方”、“下方”、“在旁边”等来描述两个部分的位置关系时,这意味着只要没有也使用“直接(directly)”或“直接(immediately)”,则两个部分之间可以插置有一个或多个部分。在与时间关系有关的描述的情况下,例如,当使用“之后”、“随后”、“接下来”、“之前”等来描述时间关系时,这意味着只要没有也使用术语“马上(directly)”或“立即(immediately)”,则两个事件可以为不立即连续的。另外,可以使用诸如例如“第一”和“第二”的相对术语来描述各种元件,这些元件不受这些术语的限制。这些术语仅用于将任意一个元件与另一元件区分开。因此,在本公开的技术精神内,以下描述中提及的第一元件可为第二元件。本公开的多个实施方式的相应特征可以部分地或整体地彼此本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.用于切割衬底的台,所述台包括:/n支承构件,用于将所述衬底安装在其上,所述支承构件包括多个单元区域,并且限定位于所述多个单元区域之间的、具有凹槽形状的凹槽线;以及/n第一管线,插入到所述凹槽线中以接触所述凹槽线的内壁,并且具有敞开的上部部分。/n

【技术特征摘要】
20181116 KR 10-2018-01418841.用于切割衬底的台,所述台包括:
支承构件,用于将所述衬底安装在其上,所述支承构件包括多个单元区域,并且限定位于所述多个单元区域之间的、具有凹槽形状的凹槽线;以及
第一管线,插入到所述凹槽线中以接触所述凹槽线的内壁,并且具有敞开的上部部分。


2.根据权利要求1所述的台,其中,所述凹槽线和所述第一管线具有格子形状。


3.根据权利要求1所述的台,其中,所述第一管线能够与所述凹槽线分离。


4.根据权利要求1所述的台,还包括排出线,所述排出线连接到所述凹槽线以用于通过所述排出线将异物从所述凹槽线排出,
其中,所述第一管线具有与所述凹槽线对应的形状,并且限定将所述第一管线的内部空间和所述排出线连接的狭缝线。


5.根据权利要求4所述的台,还包括具有与所述排出线对应的形状的第二管线,所述第二管线插入到所述排出线中。


6.根据权利要求5所述的台,其中,所述第二管线的内部空间通过所述狭缝线连接到所述第一管线的所述内部空间。


7.根据权利要求5所述的台,其中,所述第二管线与所述第一管线集成为一体。


8.根据权利要求1所述的台,其中,所述支承构件还包括位于所述多个单元区域之间与所述凹槽线重叠的多个虚设区域,以及
其中,所述台还包括与所述多个虚设区域对应的子管线。


9.根据权利要求8所述的台,还包括多条子凹槽线,所述多条子凹槽线在所述多个虚设区域与所述多个单元区域之间沿着与所述凹槽线相同的方向延伸。


10.根据权利要求9所述的台,其中,所述多条子凹槽线在所述子管线下方彼此连接。...

【专利技术属性】
技术研发人员:文柄男金容佑林基弘金庚奭李承国
申请(专利权)人:三星显示有限公司
类型:发明
国别省市:韩国;KR

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