剥离层状结构的方法与设备以及修复有机发光装置的方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种剥离层状结构的方法与设备以及修复有机发光装置的方法。根据示范性实施例的剥离层状结构的方法包含：提供包括具有第一层的第一单元结构和具有第二层的第二单元结构的层状结构，第二层具有不同于第一层的热膨胀系数；通过在至少一部分区域处发射激光将热能传输到层状结构的表面的至少一部分区域；以及通过因热能所致的第一单元结构与第二单元结构的热膨胀之间的差异从第一单元结构剥离第二单元结构的至少部分。

Methods and equipment for delamination and methods for repairing organic light emitting devices

【技术实现步骤摘要】
剥离层状结构的方法与设备以及修复有机发光装置的方法
本公开涉及一种剥离层状结构的方法、修复有机发光装置(organiclight-emittingdevice；OLED)的方法以及用于剥离层状结构的设备。更确切地说，本公开涉及一种剥离层状结构的方法、修复OLED的方法以及用于剥离层状结构的设备，通过在层状结构的表面处发射激光来剥离层状结构的部分。
技术介绍
在各种领域(如液晶显示器(liquidcrystaldisplay；LCD)、有机发光二极管(organiclight-emittingdiode；OLED)、等离子显示面板(plasmadisplaypanel；PDP)、发光二极管(light-emittingdiode；LED)、半导体以及二次电池组电极)中利用由多个层构成的层状结构已制成许多产品，且开发相关技术。层状结构基本上用于各种领域。然而，粒子或外来物质在层状结构的制造中出现于构成包括多个层的层状结构的层合物之间，使得缺陷会在所制造层状结构中出现。此外，可能需要在制造产品的过程期间剥离层合物。使用物理或化学法的层合物的剥离影响层合物的周边，且缺陷由此出现于其中。当由外来物质或类似物导致的缺陷出现时，在现有技术中，直接破坏外来物质，或舍弃缺陷性层合物结构。举例来说，由于有机发光装置具有外部湿气或氧气所致的劣化的特征，OLED需要通过使用薄膜包封层或类似物来密封以保护OLED免于外部湿气或氧气。然而，随着用于制造形成有机发光装置基座的面板的玻璃的大小近来增大，在所述过程期间出现因粒子或热变形所致的缺陷性面板的机率正增大。在沉积用于防止湿气渗透过有机发光装置的薄膜包封层的过程中形成的粒子导致针孔，且当湿气从其穿过时，导致薄膜包封层的提升(或隆起)。当在后处理的转移或激光剥离(laserlift-off；LLO)过程期间所述提升导致破坏薄膜包封层时，破坏的薄膜包封层的残余物附着到相邻正常单元，且缺陷由此出现于其中。[现有技术文献][专利文献]专利文献1：韩国专利公开案第10-2013-0134467号
技术实现思路
本公开提供剥离层状结构的方法和设备，所述方法和设备在层状结构的表面处发射激光以引起热膨胀之间的差异，进而剥离层状结构的部分。本公开还提供修复有机发光装置(OLED)的方法，所述方法在OLED结构的表面处发射激光以引起热膨胀之间的差异，进而从OLED结构剥离具有缺陷的薄膜包封层。根据示范性实施例，剥离层状结构的方法包含：提供包括具有第一层的第一单元结构和具有第二层的第二单元结构的层状结构，第二层具有不同于第一层的热膨胀系数；通过在至少一部分区域处发射激光将热能传输到层状结构的表面的至少一部分区域；以及通过因热能所致的第一单元结构与第二单元结构的热膨胀之间的差异从第一单元结构剥离第二单元结构的至少部分。方法可进一步包含通过沿至少一部分区域的边缘发射激光来确定剥离区。方法可进一步包含改变在剥离区的确定或热能的传输中所用的激光的累积能量。在剥离区的确定中所用的激光的累积能量可高于在热能的传输中所用的激光的累积能量。累积能量的改变可包含：调整在层状结构的表面处发射的激光的能量密度；和/或调整在层状结构的表面处发射的激光的发射重叠率。在热能的传输中所用的激光可以是连续激光，且在剥离区的确定中所用的激光可以是脉冲激光；或在热能的传输中所用的激光可以是具有第一脉宽的脉冲激光，且在剥离区的确定中所用的激光可以是具有第二脉宽的脉冲激光，第二脉宽短于第一脉宽。根据另一示范性实施例，修复有机发光装置(OLED)的方法包含：提供包含以下的OLED结构：有机发光层合物、设置于有机发光层合物上以改善光学特征的覆盖层以及形成于覆盖层上以防止湿气渗透的薄膜包封层；检查在薄膜包封层中形成的缺陷；通过在至少一部分区域处发射激光将热能传输到具有所检查缺陷的OLED结构的表面的至少一部分区域；以及通过因热能所致的覆盖层与薄膜包封层的不同热膨胀之间的差异从覆盖层剥离薄膜包封层的至少部分。可将OLED结构设置为多个OLED结构，且多个OLED结构中的每一个可通过设置于多个OLED结构之间的分隔部分独立地设置。覆盖层可由氟化物形成，且具有交替地层合的有机层和无机层的薄膜包封层的最下部层可由无机层形成。方法可进一步包含通过沿具有缺陷的OLED结构的某一区域的边缘发射激光来确定剥离区。方法可进一步包含改变在剥离区的确定或热能的传输中所用的激光的累积能量。在剥离区的确定中所用的激光的累积能量可高于在热能的传输中所用的激光的累积能量。累积能量的改变可包含：调整在OLED结构的表面处发射的激光的能量密度；和/或调整在OLED结构的表面处发射的激光的重叠率。在热能的传输中所用的激光可以是连续激光，且在剥离区的确定中所用的激光是脉冲激光；或在热能的传输中所用的激光可以是具有第一脉宽的脉冲激光，且在剥离区的确定中所用的激光是具有第二脉宽的脉冲激光，第二脉宽短于第一脉宽。根据又一示范性实施例，用于剥离层状结构的设备包含：支撑件，配置成支撑包含具有第一层的第一单元结构和具有第二层的第二单元结构的层状结构，第二层具有不同于第一层的热膨胀系数；模式选择单元，配置成选择多个发射模式中的任一个，在所述多个发射模式中激光的累积能量彼此不同；控制单元，配置成根据由模式选择单元选择的模式来产生激光控制信号；以及激光发射单元，配置成通过接收激光控制信号来在层状结构的表面处发射具有对应于所选模式的累积能量的激光，其中多个发射模式包括剥离模式，且当模式选择单元选择剥离模式时，激光发射单元通过在层状结构的表面的至少一部分区域处发射激光将热能传输到至少一部分区域，从而通过因热能所致的第一单元结构与第二单元结构的热膨胀之间的差异从第一单元结构剥离第二单元结构的至少部分。多个发射模式可进一步包含剥离区确定模式，其中累积能量高于在剥离模式中所用的激光的累积能量。激光发射单元可通过当选择剥离区确定模式时沿至少一部分区域的边缘发射激光来去除第二单元结构的边缘。控制单元可包含累积能量改变单元，所述累积能量改变单元配置成根据多个发射模式来改变激光的累积能量。累积能量改变单元可包含：能量密度改变单元，配置成改变在激光吸收表面处发射的激光的能量密度；和/或发射重叠率改变单元，配置成改变在激光吸收表面处发射的激光的发射重叠率。在剥离模式中所用的激光可以是连续激光，且在剥离区确定模式中所用的激光可以是脉冲激光；或在剥离模式中所用的激光可以是具有第一脉宽的脉冲激光，且在剥离区确定模式中所用的激光可以是具有第二脉宽的脉冲激光，第二脉宽短于第一脉宽。附图说明通过结合附图进行的以下描述可更详细地理解示范性实施例，在所述附图中：图1是说明根据示范性实施例的剥离层状结构的方法的流程图。图2a至图2c是根据示范性实施例的其中从第一单元结构剥离第二单元结构的图像。图3a与图3b是根据示范性实施本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种剥离层状结构的方法，包括：/n提供包括具有第一层的第一单元结构和具有第二层的第二单元结构的层状结构，所述第二层具有不同于所述第一层的热膨胀系数；/n通过在所述层状结构的表面的至少一部分区域处发射激光将热能传输到所述至少一部分区域；以及/n通过因所述热能所致的所述第一单元结构与所述第二单元结构的热膨胀之间的差异从所述第一单元结构剥离所述第二单元结构的至少部分。/n

【技术特征摘要】
20181030 KR 10-2018-01309291.一种剥离层状结构的方法，包括：
提供包括具有第一层的第一单元结构和具有第二层的第二单元结构的层状结构，所述第二层具有不同于所述第一层的热膨胀系数；
通过在所述层状结构的表面的至少一部分区域处发射激光将热能传输到所述至少一部分区域；以及
通过因所述热能所致的所述第一单元结构与所述第二单元结构的热膨胀之间的差异从所述第一单元结构剥离所述第二单元结构的至少部分。


2.根据权利要求1所述的剥离层状结构的方法，进一步包括通过沿所述至少一部分区域的边缘发射激光来确定剥离区。


3.根据权利要求2所述的剥离层状结构的方法，进一步包括改变在所述剥离区的确定或所述热能的传输中所用的所述激光的累积能量。


4.根据权利要求2所述的剥离层状结构的方法，其中在所述剥离区的确定中所用的所述激光的累积能量高于在所述热能的传输中所用的所述激光的累积能量。


5.根据权利要求3所述的剥离层状结构的方法，其中所述累积能量的改变包括：
调整在所述层状结构的所述表面处发射的所述激光的能量密度；和/或
调整在所述层状结构的所述表面处发射的所述激光的发射重叠率。


6.根据权利要求2所述的剥离层状结构的方法，其中在所述热能的传输中所用的所述激光是连续激光，且在所述剥离区的确定中所用的所述激光是脉冲激光，或
在所述热能的传输中所用的所述激光是具有第一脉宽的脉冲激光，且在所述剥离区的确定中所用的所述激光是具有第二脉宽的脉冲激光，所述第二脉宽短于所述第一脉宽。


7.一种修复有机发光装置的方法，包括：
提供包括以下的有机发光装置结构：有机发光层合物、设置于所述有机发光层合物上以改善光学特征的覆盖层以及形成于所述覆盖层上以防止湿气渗透的薄膜包封层；
检查所述薄膜包封层中形成的缺陷；
通过在具有所检查的所述缺陷的所述有机发光装置结构的表面的至少一部分区域处发射激光将热能传输到所述至少一部分区域；以及
通过因所述热能所致的所述覆盖层与所述薄膜包封层的不同热膨胀之间的差异从所述覆盖层剥离所述薄膜包封层的至少部分。


8.根据权利要求7所述的修复有机发光装置的方法，其中将所述有机发光装置结构设置为多个有机发光装置结构，且
所述多个有机发光装置结构中的每一个通过设置于所述多个有机发光装置结构之间的分隔部分独立地设置。


9.根据权利要求7所述的修复有机发光装置的方法，其中所述覆盖层由氟化物形成，且
包括交替地层合的有机层和无机层的所述薄膜包封层的最下部层由所述无机层形成。


10.根据权利要求7所述的修复有机发光装置的方法，进一步包括通过沿具有所述缺陷的所述有机发光装置结构的某一区域的边缘发射激光来确定剥离区。


11.根据权利要求10所述的修复有机发光装置的方法，进一步包括改变在所述剥离区的确定或所述热能的传输中所用的所述激光的累积能量。


12....

【专利技术属性】
技术研发人员：许俊圭，金承焕，李政玹，
申请(专利权)人：AP系统股份有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国;KR