一种用于制造石英坩埚外璧涂层的涂层装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及石英坩埚技术领域，且公开了一种用于制造石英坩埚外璧涂层的涂层装置，包括底板，所述底板的顶部固定安装有安装板。该用于制造石英坩埚外璧涂层的涂层装置，工作人员先对应坩埚本体的刻蚀线先转动转轮带动齿轮转动，再通过啮合，使齿条向上移动，下挡板随着齿条向上挡板靠近，再转动转轮，使上挡板向下移动，这样使刻蚀线处于下挡板和上挡板之间，然后拿着喷涂枪喷涂涂层，并且工作人员可以抓住转杆并对转杆施加推力，转盘在推力的作用下沿着导轨，在滚珠的滑动作用下转动起来，从而带动坩埚本体转动，通过这样的方式，边转动坩埚本体，边喷涂涂层，操作简便，对坩埚本体刻蚀线附近进行全面喷涂，到达了操作方便的目的。

A coating device for making the outer wall coating of quartz crucible

【技术实现步骤摘要】
一种用于制造石英坩埚外璧涂层的涂层装置
本技术涉及石英坩埚
，具体为一种用于制造石英坩埚外璧涂层的涂层装置。
技术介绍
石英坩埚作为拉制单晶硅过程中多晶硅料和熔硅的载体，石英坩埚在高温下软化，整体外扩与石墨坩埚贴合紧密，石英坩埚与石墨坩埚间发生化学反应产生气体，气体积聚对石英坩埚存在压力，液面处的硅溶体与石英坩埚相接触的地方存在毛细管力，对石英坩埚有向内的拉力，硅液面处(刻蚀线处)石英玻璃坩埚既受到外侧面气体的压力又受到内侧面毛细管力的拉力，加之石英坩埚高温下粘度降低软化，硅液面处很容易发生向内鼓包变形。目前拉制半导体单晶用石英坩埚是在石英坩埚刻蚀线附近施加涂层，来增强石英坩埚的强度，但用来喷涂石英坩埚的涂层装置过于简易，而坩埚体积过大，不便移动，进行全面喷涂过于麻烦，并且无法对应刻蚀线进行调整喷涂，为了解决上述问题我们提出了一种用于制造石英坩埚外璧涂层的涂层装置。
技术实现思路
(一)解决的技术问题针对现有技术的不足，本技术提供了一种用于制造石英坩埚外璧涂层的涂层装置，具备操作方便等优点，解决了用来喷涂石本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于制造石英坩埚外璧涂层的涂层装置，包括底板(1)，其特征在于：所述底板(1)的顶部固定安装有安装板(2)，所述安装板(2)的内侧壁固定安装有导轨(3)，所述安装板(2)的内部设置有与导轨(3)滑动连接的转盘(4)，所述转盘(4)的底部固定安装有固定架(5)，所述固定架(5)的内部活动安装有滚珠(6)，所述安装板(2)的右侧活动安装有贯穿安装板(2)的轴杆(7)，所述轴杆(7)的外侧套接有缓冲板(8)，所述轴杆(7)的前后两端均固定安装有连接杆(9)，所述连接杆(9)的外侧套接有上料板(10)，所述上料板(10)的顶部开设有卡槽(11)，所述转盘(4)的顶部活动安装有坩埚本体(12)，...

【技术特征摘要】
1.一种用于制造石英坩埚外璧涂层的涂层装置，包括底板(1)，其特征在于：所述底板(1)的顶部固定安装有安装板(2)，所述安装板(2)的内侧壁固定安装有导轨(3)，所述安装板(2)的内部设置有与导轨(3)滑动连接的转盘(4)，所述转盘(4)的底部固定安装有固定架(5)，所述固定架(5)的内部活动安装有滚珠(6)，所述安装板(2)的右侧活动安装有贯穿安装板(2)的轴杆(7)，所述轴杆(7)的外侧套接有缓冲板(8)，所述轴杆(7)的前后两端均固定安装有连接杆(9)，所述连接杆(9)的外侧套接有上料板(10)，所述上料板(10)的顶部开设有卡槽(11)，所述转盘(4)的顶部活动安装有坩埚本体(12)，所述转盘(4)的顶部固定安装有位于坩埚本体(12)外侧的转杆(13)，所述底板(1)的顶部固定安装有两个支撑杆(14)，前侧所述支撑杆(14)的背面滑动连接有下挡板(15)，所述下挡板(15)远离前侧支撑杆(14)的一端固定安装有齿条(16)，后侧所述支撑杆(14)的正面设置有与齿条(16)啮合的齿轮(17)，后侧所述支撑杆(14)的后侧设置有贯穿支撑杆(14)并与齿轮(17)固定连接的转轮(18)，所述下挡板(15)的内部活动安装有上挡板(19)，两个所述支撑杆(14)之间固定安装有放置板(20...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨叶，杨军，
申请(专利权)人：江苏富乐德石英科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32