【技术实现步骤摘要】
氦气回收净化装置
本技术涉及稀有气体回收提纯
，特别是涉及一种氦气回收净化装置。
技术介绍
氦气是一种十分重要的工业气体，由于其独特的性质，在低温、航天、电子工业、生物医疗、核设施等领域应用广泛，是国家安全和高技术产业发展的基本物资之一。而氦气又是一种稀有气体，目前探测估计地下总储量约490亿m，据英国《每日邮报》2010年8月23日报道，世界氦贮备将在25-30年内耗尽。经过市场调研，我国氦气市场年均需求约1500万立方米，市值18亿元。其中随着国家半导体和光纤事业的大力发展，在半导体光纤领域，对氦气的需求量大增，约占我国氦气需求总量的13％。氦气在光纤生产中主要有三个用途：在预制棒沉积中作为载气，在预制棒固结过程中作为吹扫气，在纤维拉制过程中作为热传递介质。在这三个工艺步骤中的每一步都会给氦气带来不同的杂质、不同含量的污染物及不同的热量。传统的用于光纤生产工艺中的一次通过的氦气流是很浪费的，导致氦气消耗很大，提高了生产成本。因此，如果能部分回收光纤生产过程中的氦气，则光纤行业氦气回收市场价值可达1.2亿元/...
【技术保护点】
1.一种氦气回收净化装置，其特征在于，所述氦气回收净化装置包括依次设置于氦气回收净化管路上的第一循环风机、吸收系统、第一压缩机、干燥系统、膜分离系统、第二压缩机和低温吸附系统，所述第一循环风机用于将各工段排放的污氦气送入吸收系统，所述吸收系统用于对污氦气进行脱氯处理，所述第一压缩机用于将脱氯处理后的污氦气压缩并将其输送至干燥系统进行脱水处理，膜分离系统用于对脱水处理后的污氦气通过分离膜去除杂质气体的方式进行初步提纯，第二压缩机用于将初步提纯后的污氦气进一步压缩并将其输送至低温吸附系统对污氦气进行深度纯化处理。/n
【技术特征摘要】
1.一种氦气回收净化装置，其特征在于，所述氦气回收净化装置包括依次设置于氦气回收净化管路上的第一循环风机、吸收系统、第一压缩机、干燥系统、膜分离系统、第二压缩机和低温吸附系统，所述第一循环风机用于将各工段排放的污氦气送入吸收系统，所述吸收系统用于对污氦气进行脱氯处理，所述第一压缩机用于将脱氯处理后的污氦气压缩并将其输送至干燥系统进行脱水处理，膜分离系统用于对脱水处理后的污氦气通过分离膜去除杂质气体的方式进行初步提纯，第二压缩机用于将初步提纯后的污氦气进一步压缩并将其输送至低温吸附系统对污氦气进行深度纯化处理。
2.根据权利要求1所述的氦气回收净化装置，其特征在于，所述吸收系统包括第一吸收塔和第一循环泵，所述第一吸收塔中盛装碱液，所述第一吸收塔包括设置于下端的进气口、循环出液口和设置于上端的出气口、循环进液口，第一循环风机的出气口连通第一吸收塔的进气口；所述第一循环泵连接所述第一吸收塔的循环进液口和循环出液口，用于将第一吸收塔下端的碱液输送到上端的喷淋装置。
3.根据权利要求2所述的氦气回收净化装置，其特征在于，所述氦气回收净化装置进一步包括第二循环风机，所述吸收系统包括第二吸收塔和第二循环泵，所述第二吸收塔中盛装碱液，所述第二吸收塔包括设置于下端的进气口、循环出液口和设置于上端出气口、循环进液口，所述第二循环风机连接所述第一吸收塔的出气口和所述第二吸收塔的进气口，用于为自所述第一吸收塔流出的污氦气进入第二吸收塔提供动力；所述第二循环泵连接所述第二吸收塔的循环进液口和循环出液口，用于将第二吸收塔下端的碱液输送到上端的喷淋装置。
4.根据权利要求2或3所述的氦气回收净化装置，其特征在于，所述第一吸收塔和第二吸收塔均还包括设置于...
【专利技术属性】
技术研发人员：熊联友，汤建成，雷灵龙，徐鹏，高金林，
申请(专利权)人：北京中科富海低温科技有限公司，中国科学院理化技术研究所，
类型：新型
国别省市：北京;11
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