低压液化气体的精馏纯化系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种低压液化气体的精馏纯化系统，包括液化单元，用于使待处理的气体液化，得到液化品；脱轻塔，用于对待处理气体的液化品进行精制，以脱除其中轻组分；隔膜泵，用于将来自所述脱轻塔的塔底产物增压并送入脱重塔；脱重塔，用于对来自所述隔膜泵的塔底产物进行精制，以脱除其中重组分；和精制塔，用于对来自所述脱重塔的塔顶产物进行精制，以脱除其中重组分；本实用新型专利技术可以在不引入外来组分的情况下实现纯化，产品的杂质品种少，产品品位高。

Distillation and purification system of low pressure liquefied gas

【技术实现步骤摘要】
低压液化气体的精馏纯化系统
本技术属于高纯气体制备领域，尤其涉及一种低压液化气体的精馏纯化系统。
技术介绍
随着互联网的快速普及，半导体制造业迎来了快速发展的春天，作为半导体制造过程的“血液”和“粮食”的电子气体(俗称特种气体)也迎来了前所未有的发展机遇。电子气体中除了氮、氢、氩、氦、氪、氖、氙等永久性气体外，大部为压缩液化气体。其中包括高压液化气体(-10℃≥tc≤70℃)及低压液化气体(tc﹥70℃)。专利ZL201210135392.3“一种精馏法制备高纯气体的方法和系统”叙述了压缩液化气体的精馏纯化的方法。该方法用于高压液化气体确实是非常优秀的，但对于低压液化气体则不必利用压缩机增压，而采用隔膜泵增压则更为有利，这即节省了增压设备的投资，也大幅降低了增压操作的能耗。本专利所关注则是低压液化气体的精馏纯化。低压液化气体的临界温度大于70℃，其特征是在常温下施以压力或在常压下降温便可液化为液体。一般而言，常温下施以1MPa以下的压力便可液化，或常压下采用-35℃以上的冷却水便可液化。因此，低压液化气体的液化是较为容易本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种低压液化气体的精馏纯化系统，其特征在于，所述精馏纯化系统包括：/n液化单元，用于使待处理的气体液化，得到液化品；/n脱轻塔，用于对待处理气体的液化品进行精制，以脱除其中轻组分；所述脱轻塔的底部设有脱轻塔塔釜再沸器、顶部设有脱轻塔塔顶冷凝器；/n隔膜泵，用于将来自所述脱轻塔的塔底产物增压并送入脱重塔；/n脱重塔，用于对来自所述隔膜泵的塔底产物进行精制，以脱除其中重组分；所述脱重塔的底部设有脱重塔塔釜再沸器、顶部设有脱重塔塔顶冷凝器；和/n精制塔，用于对来自所述脱重塔的塔顶产物进行精制，以脱除其中重组分；所述精制塔的底部设有精制塔塔釜再沸器、顶部设有精制塔塔顶冷凝器。/n

【技术特征摘要】
1.一种低压液化气体的精馏纯化系统，其特征在于，所述精馏纯化系统包括：
液化单元，用于使待处理的气体液化，得到液化品；
脱轻塔，用于对待处理气体的液化品进行精制，以脱除其中轻组分；所述脱轻塔的底部设有脱轻塔塔釜再沸器、顶部设有脱轻塔塔顶冷凝器；
隔膜泵，用于将来自所述脱轻塔的塔底产物增压并送入脱重塔；
脱重塔，用于对来自所述隔膜泵的塔底产物进行精制，以脱除其中重组分；所述脱重塔的底部设有脱重塔塔釜再沸器、顶部设有脱重塔塔顶冷凝器；和
精制塔，用于对来自所述脱重塔的塔顶产物进行精制，以脱除其中重组分；所述精制塔的底部设有精制塔塔釜再沸器、顶部设有精制塔塔顶冷凝器。


2.根据权利要求1所述的精馏纯化系统，其特征在于，所述的脱轻塔、脱重塔和精制塔均为精馏塔，塔内均设置有用于进料进行传质传热以便分离的填料段，所述精馏塔内在所述填料段的上方和下方均设有分布器，以便对塔顶下降液流和塔底上升气流进行均匀分布。


3.根据权利要求2所述的精馏纯化系统，其特征在于，所述脱...

【专利技术属性】
技术研发人员：张吉瑞，
申请(专利权)人：张吉瑞，
类型：新型
国别省市：北京;11