一种全自动立式钟罩清洗机制造技术

本实用新型专利技术揭示了一种全自动立式钟罩清洗机，包括机壳，机壳中形成有清洗腔室，机壳中设有上喷淋机构、下喷淋机构，上喷淋机构包括气缸、上夹板、喷淋管，上夹板内部形成有第一混合腔，第一进液管、第一进气管与第一混合腔联通，下喷淋机构包括下夹板和喷淋座，下夹板内部形成有第二混合腔，第二进液管、第二进气管与第二混合腔联通。本实用新型专利技术在清洗时通过上、下夹板夹持扁平式钟罩，通过第一、二密封圈密封，喷淋管、喷淋座伸入扁平式钟罩内部喷洗并通过排废管路排废，有效将金层与酸液隔开，金层不易损坏，同时，清洗过程无需手工操作，安全性强，上、下喷淋机构以二流体形式进行酸喷洗、水喷洗，喷洗均匀且范围大、距离远，清洗品质高。

A fully automatic vertical bell jar cleaning machine

【技术实现步骤摘要】
一种全自动立式钟罩清洗机
本技术涉及钟罩清洗
，具体涉及一种全自动立式钟罩清洗机。
技术介绍
钟罩是半导体生产中常用到的装置，需要专门的清洗机定期对钟罩进行清洗。现有的钟罩分为扁平式和圆筒式，圆筒式钟罩表面没有金层，较好清洗，扁平式钟罩为扁平中空结构，两端设有开口，开口处设有法兰，外表面上镀有金层，清洗过程中应避免损坏金层。如图1所示，现有的钟罩清洗机包括机壳1，机壳1中形成有清洗腔室2，机壳1上设有装载平台7，进行清洗时，将扁平式钟罩5放置在装载平台7上然后推入清洗腔室2，关门后工人将手伸入机壳1正面的手套口进行操作，具体的清洗过程为：通过扁平式钟罩5两端开口处向扁平式钟罩5内表面上依次喷洒酸液、水、高压气体，同时，工人手持毛刷由端部开口处伸入扁平式钟罩5内部进行清洁。现有的钟罩清洗机具有以下缺点：1、无法将金层与酸液有效隔开，清洗过程中酸液或因操作不当溅落在金层上，或因挥发附着在金层上，会造成金层逐渐损坏；2、清洗用的酸液具有强腐蚀性，人工接触比较危险，具有一定安全隐患；3、人工喷洗时很难将酸液本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种全自动立式钟罩清洗机，包括机壳，所述机壳中形成有清洗腔室，其特征在于，所述机壳中靠近清洗腔室顶部设有上喷淋机构，靠近清洗腔室底部设有下喷淋机构；/n所述上喷淋机构包括由上至下依次设置的气缸、上夹板、喷淋管，所述上夹板与所述气缸的活动端连接，以在气缸驱动下升降移动，所述上夹板底面上位于喷淋管外周设有第一密封圈，所述第一密封圈与扁平式钟罩上端法兰大小、形状相匹配，以在上夹板压合在扁平式钟罩上时消除扁平式钟罩和上夹板的配合间隙，所述上夹板内部形成有第一混合腔，所述上夹板上设有与第一混合腔联通的第一进液管和第一进气管，所述喷淋管通过若干支管与所述第一混合腔联通，所述喷淋管上均匀分布设有若干微孔...

【技术特征摘要】
1.一种全自动立式钟罩清洗机，包括机壳，所述机壳中形成有清洗腔室，其特征在于，所述机壳中靠近清洗腔室顶部设有上喷淋机构，靠近清洗腔室底部设有下喷淋机构；
所述上喷淋机构包括由上至下依次设置的气缸、上夹板、喷淋管，所述上夹板与所述气缸的活动端连接，以在气缸驱动下升降移动，所述上夹板底面上位于喷淋管外周设有第一密封圈，所述第一密封圈与扁平式钟罩上端法兰大小、形状相匹配，以在上夹板压合在扁平式钟罩上时消除扁平式钟罩和上夹板的配合间隙，所述上夹板内部形成有第一混合腔，所述上夹板上设有与第一混合腔联通的第一进液管和第一进气管，所述喷淋管通过若干支管与所述第一混合腔联通，所述喷淋管上均匀分布设有若干微孔；
所述下喷淋机构包括下夹板和设置在所述下夹板顶面上的若干喷淋座，所述下夹板顶面上位于所述喷淋座外周还设有第二密封圈，所述第二密封圈与扁平式钟罩下端法兰大小、形状相匹配，以在扁平式钟罩放置于下夹...

【专利技术属性】
技术研发人员：何婷婷，陈素荣，王福亮，何虎，赵芹，陈利锋，
申请(专利权)人：江苏芯梦半导体设备有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32