印刷电子系统用激光装置及其工作方法制造方法及图纸

本发明专利技术一实施例的印刷电子系统用激光装置包括：激光生成部，用于产生激光束；激光可变部，用于改变在上述激光生成部中产生的激光束的强度或波长；激光控制部，用于控制在上述激光可变部改变的激光束的强度或波长的大小；以及激光转向部，改变激光束的行进方向，使在上述激光可变部释放的激光束朝向目标物，上述激光控制部可根据形成于上述目标物的印刷图案的状态控制激光束的强度或波长的大小。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】印刷电子系统用激光装置及其工作方法
本专利技术涉及印刷电子系统用激光装置及其工作方法，更详细地，提供可利用印刷电子系统连接打印在显示器等的图案或线或修复、烧结的印刷电子系统用激光装置及其工作方法。
技术介绍
努力使显示设备大面积化已成为决定全世界显示器企业的未来生存可能性的重要技术目标。在这种大面积显示器实现技术中，从增大生产性及确保价格竞争力的观点出发，在3m以上的大面积基板上完美地实现多种材料的图案形状是一个技术上非常困难的问题。在此背景下，尽可能有效地修复(repair)不良的技术可以说是未来实现大面积显示设备的核心技术。另一方面，即使新一代显示设备的大面积化，但为了实现高分辨率，在形成显示面板电路(TFT)及有机发光二极管(OLED)显示面板电路(OTFT)的过程中，需要6μm以下的配线及60μm以下的配线间隔的高集成超微细电路配线。用于改善这种高集成超微细图案产品的不良的通过现有的激光化学气相沉积(LaserCVD)维修技术的重新布线桥(re-routingbridge)维修配线形成方法已到达技术极限，因此，迫切需要研发通过新本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种印刷电子系统用激光装置，其特征在于，/n包括：/n激光生成部，用于产生激光束；/n激光可变部，用于改变在上述激光生成部中产生的激光束的强度或波长；/n激光控制部，用于控制在上述激光可变部改变的激光束的强度或波长的大小；以及/n激光转向部，改变激光束的行进方向，使在上述激光可变部释放的激光束朝向目标物，/n上述激光控制部根据形成于上述目标物的印刷图案的状态控制激光束的强度或波长的大小。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20171123 KR 10-2017-0157239;20171226 KR 10-2017-011.一种印刷电子系统用激光装置，其特征在于，
包括：
激光生成部，用于产生激光束；
激光可变部，用于改变在上述激光生成部中产生的激光束的强度或波长；
激光控制部，用于控制在上述激光可变部改变的激光束的强度或波长的大小；以及
激光转向部，改变激光束的行进方向，使在上述激光可变部释放的激光束朝向目标物，
上述激光控制部根据形成于上述目标物的印刷图案的状态控制激光束的强度或波长的大小。


2.根据权利要求1所述的印刷电子系统用激光装置，其特征在于，上述激光可变部使在上述激光生成部中产生的激光束扩展或使激光束的强度或波长最优化。


3.根据权利要求2所述的印刷电子系统用激光装置，其特征在于，上述激光可变部包括至少1个或2个准直镜以及配置于上述准直镜的前方的掩膜。


4.根据权利要求3所述的印刷电子系统用激光装置，其特征在于，上述激光转向部包括用于改变在上述激光可变部释放的激光束的行进方向的镜子或扫描振镜。


5.根据权利要求4所述的印刷电子系统用激光装置，其特征在于，上述激光转向部包括用于变更上述镜子或上述扫描振镜的角度或位置的镜子驱动部。


6.根据权利要求5所述的印刷电子系统用激光装置，其特征在于，通过上述激光控制部控制上述镜子驱动部的工作状态。


7.根据权利要求1所述的印刷电子系统用激光装置，其特征在于，上述激光控制部通过调节上述激光可变部的上述准直镜之间的距离或调节上述掩膜与上述准直镜之间的距离来修复形成于上述目标物的印刷图案或烧结印刷油墨。


8.根据权利要求7所述的印刷电子系统用激光装置，其特征在于，还包括视觉感测部，用于感测形成于上述目标物的印刷图案的缺陷与否、图案的断线与否或图案的大小。


9.根据权利要求7所述的印刷电子系统用激光装置，其特征在于，上述激光控制部根据在上述视觉感测部中感测的结果调节上述激光转向部与上述目标物之间的距离或者调节上述激光可变部的上述准直镜之间的距离或上述掩膜与上述准直镜之间的距离。


10.一种印刷电子系统用激光装置的工作方法，
上述印刷电子系统包括：
激光生成部，用于产生激光束；
激光可变部，用于改变在上述激光生成部中产生的激光束的强度或波长；
激光控制部，用于控制在上述激光可变部改变的激光束的强度或波长的...

【专利技术属性】
技术研发人员：崔藙根，李大镛，张大海，崔承焕，洪承珉，
申请(专利权)人：普罗科技有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国;KR