光声传感器模块和组件制造技术

技术编号:24165257 阅读:52 留言:0更新日期:2020-05-16 01:16
本公开涉及光声传感器模块和组件。示例互连模块包括被配置为位于光声传感器的发射器模块和光声传感器的检测器模块之间的支撑结构。发射器模块可包括发射器部件,并且检测器模块可包括检测器部件。互连模块可包括被配置为连接发射器部件或检测器部件中的至少一个的导电元件。

Photoacoustic sensor module and components

【技术实现步骤摘要】
光声传感器模块和组件
本公开总体上涉及半导体领域,更具体地,涉及光声传感器模块和组件。
技术介绍
光声传感器可用于多种应用。光声传感器包括发射器部件和检测器部件。发射器部件发射被物质(例如,气体、液体、固体材料等)吸收的光脉冲。被吸收的光脉冲生成对应的压力脉冲,从而产生了可被检测器部件检测的对应声信号。发射器部件在特定频率下调制光脉冲以对准(target)特定分子,并且检测器部件基于从吸收光脉冲的被对准分子接收的声信号来感测分子的一个或多个特性。
技术实现思路
根据一些实施方式,一种互连模块可包括:支撑结构,被配置为位于光声传感器的发射器模块与光声传感器的检测器模块之间,其中发射器模块可包括发射器部件,检测器模块可包括检测器部件;以及导电元件,被配置为连接发射器部件或检测器部件中的至少一个。根据一些实施方式,一种光声传感器可包括:发射器模块,发射器模块包括被配置为发射光脉冲的发射器部件;检测器模块,检测器模块包括被配置为检测光脉冲被气体吸收的检测器部件;以及互联模块,位于发射器模块与检测器模块之间,互连模块包括连接发本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于光声传感器的互连模块,包括:/n支撑结构,被配置为位于所述光声传感器的发射器模块与所述光声传感器的检测器模块之间,/n其中所述发射器模块包括发射器部件,并且所述检测器模块包括检测器部件;以及/n导电元件,被配置为连接至所述发射器部件或所述检测器部件中的至少一个。/n

【技术特征摘要】
20181108 US 16/184,4121.一种用于光声传感器的互连模块,包括:
支撑结构,被配置为位于所述光声传感器的发射器模块与所述光声传感器的检测器模块之间,
其中所述发射器模块包括发射器部件,并且所述检测器模块包括检测器部件;以及
导电元件,被配置为连接至所述发射器部件或所述检测器部件中的至少一个。


2.根据权利要求1所述的互连模块,其中所述支撑结构由以下至少之一形成:
玻璃纤维环氧树脂材料;或者
陶瓷材料。


3.根据权利要求1所述的互连模块,其中所述导电元件对应于形成在所述支撑结构内的过孔。


4.根据权利要求1所述的互连模块,其中所述导电元件的第一端接合至所述发射器模块,并且所述导电元件的第二端接合至所述检测器模块,以使所述互连模块连接至所述发射器模块和所述检测器模块。


5.根据权利要求1所述的互连模块,其中所述支撑结构形成接收气体的腔体,并且
其中所述互连模块被配置为允许所述检测器模块基于从所述发射器模块吸收光脉冲的所述气体来检测所述腔体中的所述气体的组成。


6.根据权利要求1所述的互连模块,其中所述支撑结构包括:
第一框架,被配置为附接至所述发射器模块;
第二框架,被配置为附接至所述检测器模块;以及
一个或多个间隔件,位于所述第一框架与所述第二框架之间,
其中所述一个或多个间隔件被配置为在所述第一框架与所述第二框架之间形成开口。


7.根据权利要求1所述的互连模块,其中所述支撑结构包括:
第一侧壁,被配置为附接至所述发射器模块和所述检测器模块;
第二侧壁,被配置为附接至所述发射器模块和所述检测器模块;以及
一个或多个框架,连接至所述第一侧壁和所述第二侧壁,
其中所述一个或多个框架被配置为在所述第一侧壁与所述第二侧壁之间形成开口。


8.根据权利要求1所述的互连模块,其中所述导电元件被配置为提供以下至少之一:
所述发射器部件与所述光声传感器的控制部件之间的电连接,
所述检测器部件与所述光声传感器的所述控制部件之间的电连接,或者
所述发射器部件与所述检测器部件之间的电连接。


9.根据权利要求1所述的互连模块,其中所述互连模块被配置为通过表面安装技术SMT机器定位在所述发射器模块与所述检测器模块之间。


10.一种光声传感器,包括:
发射器模块,
其中所述发射器模块包括被配置为发射光脉冲的发射器部件;
检测器模块,
其中所述检测器模块包括被配置为检测所述光脉冲被气体吸收的检测器部件;以及
互连模块,位于所述发射器模块与所述检...

【专利技术属性】
技术研发人员:R·M·沙勒H·托伊斯
申请(专利权)人:英飞凌科技股份有限公司
类型:发明
国别省市:德国;DE

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