一种正性光刻胶用纤维素基成膜树脂的制备方法技术

本发明专利技术公开了一种正性光刻胶用纤维素基成膜树脂的制备方法。采用方法的要点是以溶解浆纤维素为基础原料，对其进行酯化改性，制备环境友好的正性光刻胶用纤维素基成膜树脂。本发明专利技术在制备正性光刻胶用成膜树脂的原料中引入溶解浆纤维素，扩充了其原料范围，在保证成膜树脂良好性能的基础上，降低了正性光刻胶用成膜树脂的生产成本，提高了经济效益；同时有利于提升成膜树脂产品的生物可降解性，具有良好的经济和社会效益。

A preparation method of cellulose based film forming resin for positive photoresist

【技术实现步骤摘要】
一种正性光刻胶用纤维素基成膜树脂的制备方法
本专利技术涉及一种成膜树脂的制备方法，特别涉及一种正性光刻胶用纤维素基成膜树脂的制备方法，属于有机高分子材料

技术介绍
近半个世纪以来，微电子技术凭借飞快的发展速度和强大的生命力成为本世纪最具发展潜力的技术，深入到人类社会的各个领域，并成为世界各国竞相发展的产业。美国和日本等发达国家相继把微电子视为优先发展的产业。微电子技术已经成为当今信息社会的核心竞争力，并成为衡量国家科技进步和综合国力的重要标志。集成电路是微电子制造技术的核心。光刻胶(又称光致抗蚀剂，photoresist)是微电子技术中微细图形加工的关键材料。光刻胶由树脂、感光剂、溶剂和添加剂组成。正性光刻胶是其中一种，经曝光后，曝光部分溶解性大大提高。目前，市场上应用最多的正性光刻胶主要是酚醛树脂-重氮萘醌，由线性酚醛树脂作为成膜树脂；而酚醛树脂原料主要来源于石油化工产品，造成这类光刻胶成本高，不可生物降解，对环境危害大。由于石油资源有限、不可再生，再加上温室效应日益严重，利用天然有机高分子化合物制备环境友好的新型正性光刻胶用成膜树本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种正性光刻胶用纤维素基成膜树脂的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：/n1)将溶解浆板经微型植物粉碎机粉碎，筛滤得到尺寸为0.04-0.07mm的溶解浆纤维素；/n2)取1g步骤1)中得到的尺寸为0.04-0.07mm的溶解浆纤维素溶解于溶剂中，在100-120℃下机械搅拌2-4h，使其均匀分散，得到溶解浆纤维素悬浮液；/n3)将步骤2)中得到的溶解浆纤维素悬浮液冷却至90℃，加入4-6g无机盐体系，在机械搅拌下自然冷却至室温，得到溶解浆纤维素均相溶液；/n4)向步骤3)中得到的溶解浆纤维素均相溶液中依次加入4-8mmol 4-二甲氨基吡啶和6-9mmol单体，在25-60℃下机械搅拌3...

【技术特征摘要】
1.一种正性光刻胶用纤维素基成膜树脂的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
1)将溶解浆板经微型植物粉碎机粉碎，筛滤得到尺寸为0.04-0.07mm的溶解浆纤维素；
2)取1g步骤1)中得到的尺寸为0.04-0.07mm的溶解浆纤维素溶解于溶剂中，在100-120℃下机械搅拌2-4h，使其均匀分散，得到溶解浆纤维素悬浮液；
3)将步骤2)中得到的溶解浆纤维素悬浮液冷却至90℃，加入4-6g无机盐体系，在机械搅拌下自然冷却至室温，得到溶解浆纤维素均相溶液；
4)向步骤3)中得到的溶解浆纤维素均相溶液中依次加入4-8mmol4-二甲氨基吡啶和6-9mmol单体，在25-60℃下机械搅拌30h，得到反应混合溶液；
5)将步骤4)中得到的反应混合溶液用无水乙醇浸泡，静置，去除上清液得到沉淀溶液；
6)将步骤5)中得到的沉淀溶液用无水乙醇洗涤、离心3次，得到白色纤维状浆料...

【专利技术属性】
技术研发人员：张勇，陈超颖，张秀梅，姚菊明，
申请(专利权)人：浙江理工大学，
类型：发明
国别省市：浙江;33