【技术实现步骤摘要】
一种电子膜片清洗装置
本技术涉电子器件所用电子膜片清洗
，更具体的是，本技术涉及一种电子膜片清洗装置。
技术介绍
微电子产品在生产加工过程中会因各种因素的影响导致产品受到污染。一般情况下，这些污染物会通过物理吸附或化学吸附等方式存留在产品表面，对产品的质量和使用寿命会造成严重的影响。因此，在电子膜片使用在电子器件上之前，需要对电子膜片进行清洗，而电子膜片一般为柔性材质，如果像其他板类清洗方法(固定四角，在清洗液中翻转即可实现板状器件的清洗)，而电子膜片在固定四角之后中间部位仍为柔性材料，在完全打开情况下，在清洗液中翻转清洗时，很容易将清洗液置于电子膜片上，并对电子膜片进行变形或者膨胀，很容易造型电子膜片的损坏，因此，亟需一种电子膜片清洗装置，能够高效完成电子膜片的清洗，还不对膜片造成损坏。
技术实现思路
本技术设计开发了一种电子膜片清洗装置，能够将电子膜片间隙卷曲设置在容纳槽空心处，通过容纳槽在清洗槽的清洗液中的运动，既完成对电子膜片的清洗，又不会对电子膜片造成损伤。本技术提供的技术方案...
【技术保护点】
1.一种电子膜片清洗装置，其特征在于，包括：/n底板；以及/n清洗槽，其固定设置在所述底板上，用于盛装清洗液；/n支撑板，其间隔支撑设置在所述底板上，且一端设置有矩形缺口，用于容纳所述清洗槽；/n第一旋转轴和第二旋转轴，其位于所述清洗槽轴向两侧，且两端分别可旋转支撑设置在所述支撑板上；/n多个传送齿轮，其分别固定套设在所述第一旋转轴和第二旋转轴的轴向两侧，且位于所述第一旋转轴和第二旋转轴轴向同侧的传送齿轮与所述清洗槽轴向平行；/n第一传送链条和第二传送链条，其分别缠绕位于所述第一旋转轴和第二旋转轴轴向同侧的传送齿轮；/n多个固定片，其为L型，且短边一侧等间距固定设置在所述第...
【技术特征摘要】
1.一种电子膜片清洗装置，其特征在于，包括：
底板；以及
清洗槽，其固定设置在所述底板上，用于盛装清洗液；
支撑板，其间隔支撑设置在所述底板上，且一端设置有矩形缺口，用于容纳所述清洗槽；
第一旋转轴和第二旋转轴，其位于所述清洗槽轴向两侧，且两端分别可旋转支撑设置在所述支撑板上；
多个传送齿轮，其分别固定套设在所述第一旋转轴和第二旋转轴的轴向两侧，且位于所述第一旋转轴和第二旋转轴轴向同侧的传送齿轮与所述清洗槽轴向平行；
第一传送链条和第二传送链条，其分别缠绕位于所述第一旋转轴和第二旋转轴轴向同侧的传送齿轮；
多个固定片，其为L型，且短边一侧等间距固定设置在所述第一传送链条和第二传送链条上，长边一侧平行所述清洗槽底面设置并沿所述清洗槽径向设置；
多个容纳槽，其为空心长方体结构且空心处为圆柱形，其沿所述清洗槽径向设置，并沿所述清洗槽轴向阵列，所述容纳槽轴向两端分别与所述第一传送链条和第二传送链条上的固定片长边一侧固定连接；
多个清洗孔，其分别设置在所述容纳槽外端面和侧面，且与所述空心处连通；
从动轮，其固定套设在所述第一旋转轴轴向一端；
驱动机构，其固定设置在所述支撑板上，且输出端固定套设有主动轮；
传送带，其缠绕所述主动轮和所述从动轮，用于带动所述从动轮旋转。
2.如权利要求1所述的电子膜片清洗装置，其特征在于，还包括：
通槽，其设置在所述底板中心；
排水管，其设置在所述清洗槽底面中心，且与所述清洗槽连通，另一端穿出所述通槽；
排水阀，其设置在所述排水管上，用于选择性的开启或者关闭所述排水管。
3.如权利要求2所述的电子膜片清洗装置，其特征在于，还包括：
支撑横梁，其横穿所述第一传送链条和第二传送链条中心，且两端固定支撑设置在所述支撑板上；
支撑架，其为U型结构，且开口朝上，所述支撑架底面固定设置在支撑横梁上；
一对支撑滑道，其沿所述清洗槽轴向分别固定设置在所述支撑架U型两侧的顶...
【专利技术属性】
技术研发人员：苏莹，谢晓娇，张子刚，李楠，杨永庄，瞿建新，侯立峰，孙德轶，田鹏，赵维康，李颖，张庆贺，魏洪友，孙孚，肖勇，肖晶，杨捷轩，
申请(专利权)人：中国人民解放军陆军装甲兵学院士官学校，
类型：新型
国别省市：吉林;22
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