【技术实现步骤摘要】
本专利技术总的来说涉及一种惰化容器的至少一个内部空间的方法,具体地说,涉及一种提高容器内部空间的惰化速度的方法,尤其是当至少一个膜用作为惰性流体源时的情况。惰性流体,尤其是惰性气体,常被用来调节容器或贮器内部空间的气氛。例如,在用容器运输易腐烂的物品或在容器中制造半导体晶片时,通常用惰性流体中的氮气来惰化容器内部空间。为了向容器内部空间提供氮气或其它惰性气体,使用各种惰性气体源。这些惰性气体源包括钢瓶、液槽、膜气体分离装置以及变压或变温吸附装置。然而,对于具体的惰化方法,选择哪一种惰性气体源,取决于容器内部空间的惰化速率以及与惰化方法相关的能量(动力)消耗,因为在工业操作过程中,惰化速率和能量消耗是极为重要的因素。因此,不管使用哪种惰性气源,都要求提高容器内部空间的惰化速率,同时降低与惰化方法相关的动力消耗。根据本专利技术,上述要求可以通过变浓度净化(Phasedconcentrationpurge)来完成,包括(a)平稳地将一种富惰性流体物流引入到所述容器的所述内部空间,所述富惰性流体物流中的惰性流体浓度大于所述容器的所述内部空间中的惰性流体的浓度;(b) ...
【技术保护点】
惰化容器内部空间的方法,所述方法包括:(a)平稳地将富惰性流体物流引入所述容器的所述内部空间,所述富惰性流体物流中惰性流体的浓度大于所述容器的所述内部空间中的惰性流体浓度;(b)在所述富惰性流体物流引入所述容器期间,增加该富惰性流体 物流中惰性流体的浓度;并且(c)从所述容器的所述内部空间放出含有至少一种杂质和惰性气体的废气物流。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员:R普拉萨德,
申请(专利权)人:普拉塞尔技术有限公司,
类型:发明
国别省市:US[美国]
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