【技术实现步骤摘要】
一种便于钢瓶中MO源物料回收的辅助装置
本技术属于化工设备
,特别涉及一种便于钢瓶中MO源物料回收的辅助装置。
技术介绍
MO源即高纯金属有机化合物,是先进的金属有机化学气相沉积(简称MOCVD)、金属有机分子束外延(简称MOMBE)等技术生长半导体微结构材料的支撑材料。由于MO源产品要求纯度极高,而绝大多数MO源化合物对氧气、水汽极其敏感,遇空气可发生自燃,遇水可发生爆炸,且毒性大,所以MO源的研制是集极端条件下的合成制备、超纯纯化、超纯分析、超纯灌装等于一体的高新技术。MO源需要储存在一个对洁净度、密封性具有较高要求的容器罐中。目前,MO源的包装一般采用钢瓶盛装,钢瓶的材质一般为316L不锈钢,其内部进行镜面抛光。在常温下,MO源为固体颗粒,MO源在MOCVD机台使用后,需要对使用完后的钢瓶内的余料进行回收处理,以便于钢瓶的再次充装。现有回收方法一般为:在手套箱内通过人工使用金属杆捣出固体的MO源物料,然后使用有机溶剂在手套箱内对钢瓶内的物料进行溶解处理,或者直接使用有机溶剂溶解处理。这种方法存在如下的问题 ...
【技术保护点】
1.一种便于钢瓶中MO源物料回收的辅助装置,其特征在于:包括底座、支架组件、旋转轴组件、伸缩杆组件和夹板组件,支架组件设置于底座上,该支架组件包括位于底座左侧的左支架和位于底座右侧的右支架,所述伸缩杆组件包括左伸缩杆和右伸缩杆,旋转轴组件包括左旋转轴和右旋转轴,所述左伸缩杆通过左旋转轴可转动的安装于所述左支架上,所述右伸缩杆通过右旋转轴可转动的安装于所述右支架上,所述左伸缩杆和右伸缩杆相对于底座的中心线呈左右对称设置,所述夹板组件包括左夹板和右夹板,所述左夹板安装于所述左伸缩杆的外端部,所述右夹板安装于所述右伸缩杆的外端部,所述左伸缩杆和右伸缩杆上均安装有伸缩调节旋钮,左伸 ...
【技术特征摘要】
1.一种便于钢瓶中MO源物料回收的辅助装置,其特征在于:包括底座、支架组件、旋转轴组件、伸缩杆组件和夹板组件,支架组件设置于底座上,该支架组件包括位于底座左侧的左支架和位于底座右侧的右支架,所述伸缩杆组件包括左伸缩杆和右伸缩杆,旋转轴组件包括左旋转轴和右旋转轴,所述左伸缩杆通过左旋转轴可转动的安装于所述左支架上,所述右伸缩杆通过右旋转轴可转动的安装于所述右支架上,所述左伸缩杆和右伸缩杆相对于底座的中心线呈左右对称设置,所述夹板组件包括左夹板和右夹板,所述左夹板安装于所述左伸缩杆的外端部,所述右夹板安装于所述右伸缩杆的外端部,所述左伸缩杆和右伸缩杆上均安装有伸缩调节旋钮,左伸缩杆和右伸缩杆均能通过该伸缩调节旋钮进行伸缩,装有MO源物料的钢瓶夹持在左夹板和右夹板之间,左伸缩杆和右伸缩杆转动,可以带动钢瓶翻转。
2.根据权利要求1所述的一种便于钢瓶中MO源物料回收的辅助装置,其特征在于:所述左夹板的...
【专利技术属性】
技术研发人员:顾宏伟,茅嘉原,严金林,鲁宇天,
申请(专利权)人:苏州普耀光电材料有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏;32
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。