滤光器的制造方法技术

本发明专利技术提供一种能够在由隔壁划分的区域内或与由隔壁划分的区域对应的位置精度良好地形成矩形性良好的像素的滤光器的制造方法。本发明专利技术的滤光器的制造方法包括：在具有隔壁且设置有由隔壁划分的多个区域的支承体上涂布着色感光性组合物来形成着色感光性组合物层的工序，该着色感光性组合物包含色材及固化性化合物且在总固体成分中含有10质量％以上的色材；使用扫描式曝光机对着色感光性组合物层照射波长为300nm以下的光而以图案状对着色感光性组合物层进行曝光的工序；及显影去除未曝光部的着色感光性组合物层，在由隔壁划分的区域内或与由隔壁划分的区域对应的位置形成像素的工序。

Manufacturing method of filter

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】滤光器的制造方法
本专利技术涉及一种滤光器的制造方法。
技术介绍
在摄像机、数码相机、带有相机功能的移动电话等中，正在使用CCD(电荷耦合元件)或CMOS(互补式金属氧化物半导体)。并且，对固体摄像元件正在使用具有利用着色感光性组合物来形成的像素的滤光器。作为着色感光性组合物，正在使用包含色材及固化性化合物的组合物(参考专利文献1)。并且，专利文献2中记载有以波长为193nm的光或波长为248nm的光进行第1阶段的曝光，接着，以波长为365nm的光等进行第2阶段的曝光之后进行显影来形成图案的内容。以往技术文献专利文献专利文献1：日本特表2012-532334号公报专利文献2：美国专利第9507264号公报近年来，正在研究在像素彼此之间设置隔壁来提高透射像素的光的集光性等的试验。作为在这些像素之间设置隔壁的滤光器的制造方法之一，存在使用光刻法在隔壁之间形成像素来进行制造的方法。具体而言，存在在具有隔壁的支承体上涂布像素形成用组合物来形成组合物层，并对该组合物层进行曝光及显影而在由隔壁划分的区域形成像素来进行制造的方法等。然而，通过这些方法在隔壁之间形成像素的情况下，对像素的图案化的精度或所形成的像素的矩形性的要求较高。若像素的图案化的精度或所形成的像素的矩形性不充分，则有时会在隔壁与像素之间产生间隙以及在隔壁上或在形成其他像素的予定的区域内形成已形成的相邻像素的一部分。并且，专利文献1、2中没有关于在隔壁之间形成像素的记载，也未进行研究。专利技术内容专利技术要解决的技术课题从而，本专利技术的目的在于提供一种能够在由隔壁划分的区域内或与由隔壁划分的区域对应的位置精度良好地形成矩形性良好的像素的滤光器的制造方法。用于解决技术课题的手段本专利技术人进行深入研究的结果，发现通过后述的方法能够实现上述的目的，从而完成了本专利技术。从而，本专利技术提供以下。＜1＞一种滤光器的制造方法，其包括：在具有隔壁且设置有由隔壁划分的多个区域的支承体上涂布着色感光性组合物来形成着色感光性组合物层的工序，该着色感光性组合物包含色材及固化性化合物且在总固体成分中含有10质量％以上的色材；使用扫描式曝光机对着色感光性组合物层照射波长为300nm以下的光而以图案状对着色感光性组合物层进行曝光的工序；及显影去除未曝光部的着色感光性组合物层，在由隔壁划分的区域内或与由隔壁划分的区域对应的位置形成像素的工序。＜2＞根据＜1＞所述的滤光器的制造方法，其中，支承体具有基板、形成于所述基板上的隔壁，在基板的表面设置有由隔壁划分的多个区域，形成像素的工序中，在基板上的由隔壁划分的区域内形成像素。＜3＞根据＜1＞所述的滤光器的制造方法，其中，支承体具有基板、形成于基板上的隔壁及覆盖基板和隔壁的至少一部分的保护层，在基板的表面设置有由隔壁划分的多个区域，并且隔壁通过保护层埋设于支承体内，形成像素的工序中，在保护层上的与由隔壁划分的区域对应的位置形成像素。＜4＞根据＜1＞至＜3＞中任一项所述的滤光器的制造方法，其中，波长为300nm以下的光为KrF射线。＜5＞根据＜1＞至＜4＞中任一项所述的滤光器的制造方法，其中，隔壁的底部宽度为通过着色感光性组合物形成的像素底部宽度的30％以下。＜6＞根据＜1＞至＜5＞中任一项所述的滤光器的制造方法，其中，隔壁包含选自钨、铜、铝、氧化铪、氧化钽、氮化硅、氧氮化硅、氧化钛、氧氮化钛、硅、硅氧烷树脂、氟树脂及二氧化硅中的至少一种。＜7＞根据＜1＞至＜6＞中任一项所述的滤光器的制造方法，其中，隔壁的对于波长为550nm的光的折射率小于通过着色感光性组合物形成的像素的折射率。＜8＞根据＜1＞至＜7＞中任一项所述的滤光器的制造方法，其中，着色感光性组合物层的对于波长为248nm的光的光密度为1.6以上。＜9＞根据＜1＞至＜8＞中任一项所述的滤光器的制造方法，其中，固化性化合物包含聚合性单体，聚合性单体的聚合性基团值为10.5mmol/g以上。＜10＞根据＜1＞至＜9＞中任一项所述的滤光器的制造方法，其包括：形成上述像素之后，在支承体上涂布与上述像素不同的种类的像素形成用第2着色感光性组合物来形成第2着色感光性组合物层的工序；以图案状对第2着色感光性组合物层进行曝光的工序；及显影去除未曝光部的第2着色感光性组合物层，在由隔壁划分的区域内的与形成有像素的位置不同的位置或与由隔壁划分的区域对应且与形成有像素的位置不同的位置形成第2像素的工序。＜11＞根据＜10＞所述的滤光器的制造方法，其中，使用步进式曝光机对第2着色感光性组合物层照射波长为365nm的光而以图案状对第2着色感光性组合物层进行曝光。专利技术效果根据本专利技术，能够提供一种能够在由隔壁划分的区域内或与由隔壁划分的区域对应的位置精度良好地形成矩形性良好的像素的滤光器的制造方法。附图说明图1为表示支承体的一实施方式的侧面剖视图。图2为从图1的支承体正上方观察的俯视图。图3为表示支承体的另一实施方式的侧面剖视图。图4为图3所示的支承体的变形例。图5为表示使用图1所示的支承体形成像素的状态的图。图6为表示使用图1所示的支承体形成第2像素的状态的图。图7为表示使用图3所示的支承体形成像素的状态的图。图8为表示使用图3所示的支承体形成第2像素的状态的图。具体实施方式以下，对本专利技术的内容进行详细说明。本说明书中，“～”是指，将记载于“～”前后的数值作为下限值及上限值而包含来使用。关于本说明书中的基团(原子团)的标记，未记录经取代及未经取代的标记同时包含不具有取代基的基团(原子团)和具有取代基的基团(原子团)。例如，“烷基”不仅包含不具有取代基的烷基(未经取代的烷基)，还包含具有取代基的烷基(取代烷基)。本说明书中“曝光”只要无特别限定，除了利用光的曝光以外，利用电子束、离子束等粒子束的描绘也包含于曝光中。并且，作为使用于曝光的光，通常可列举以汞灯的明线光谱、准分子激光器为代表的远紫外线、极紫外线(EUV光)、X射线、电子束等光化射线或放射线。本说明书中，“(甲基)烯丙基”表示烯丙基及甲基烯丙基这两者或其中任一个，“(甲基)丙烯酸酯”表示丙烯酸酯及甲基丙烯酸酯这两者或其中任一个，“(甲基)丙烯酸”表示丙烯酸及甲基丙烯酸这两者或其中任一个，“(甲基)丙烯酰基”表示丙烯酰基及甲基丙烯酰基这两者或其中任一个。本说明书中，重量平均分子量及数平均分子量为通过GPC(凝胶渗透色谱)法测量的聚苯乙烯换算值。关于GPC，能够遵照如下方法：使用HLC-8120(TosohCorporation制造)，作为管柱使用TSKgelMultiporeHXL-M(TosohCorporation制造，7.8本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种滤光器的制造方法，其包括：/n在具有隔壁且设置有由所述隔壁划分的多个区域的支承体上涂布着色感光性组合物来形成着色感光性组合物层的工序，所述着色感光性组合物包含色材及固化性化合物且在总固体成分中含有10质量％以上的所述色材；/n使用扫描式曝光机对所述着色感光性组合物层照射波长为300nm以下的光而以图案状对所述着色感光性组合物层进行曝光的工序；及/n显影去除未曝光部的所述着色感光性组合物层，在由所述隔壁划分的区域内或与由所述隔壁划分的区域对应的位置形成像素的工序。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20170929 JP 2017-1896331.一种滤光器的制造方法，其包括：
在具有隔壁且设置有由所述隔壁划分的多个区域的支承体上涂布着色感光性组合物来形成着色感光性组合物层的工序，所述着色感光性组合物包含色材及固化性化合物且在总固体成分中含有10质量％以上的所述色材；
使用扫描式曝光机对所述着色感光性组合物层照射波长为300nm以下的光而以图案状对所述着色感光性组合物层进行曝光的工序；及
显影去除未曝光部的所述着色感光性组合物层，在由所述隔壁划分的区域内或与由所述隔壁划分的区域对应的位置形成像素的工序。


2.根据权利要求1所述的滤光器的制造方法，其中，
所述支承体具有基板、形成于所述基板上的隔壁，在所述基板的表面设置有由所述隔壁划分的多个区域，
形成所述像素的工序中，在所述基板上的由所述隔壁划分的区域内形成所述像素。


3.根据权利要求1所述的滤光器的制造方法，其中，
所述支承体具有基板、形成于所述基板上的隔壁及覆盖所述基板和所述隔壁的至少一部分的保护层，在所述基板的表面设置有由所述隔壁划分的多个区域，并且所述隔壁被所述保护层埋设于支承体内，
形成所述像素的工序中，在所述保护层上的与由所述隔壁划分的区域对应的位置形成所述像素。


4.根据权利要求1至3中任一项所述的滤光器的制造方法，其中，
所述波长为300nm以下的光为KrF射线。


5.根据权利要求1至4中任一项所述的滤光器的制造方法，其中，
所述隔壁的底部宽度为由所述着色感光性组合...

【专利技术属性】
技术研发人员：奈良裕树，大河原昂广，
申请(专利权)人：富士胶片株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP