【技术实现步骤摘要】
用于MEMS器件的防尘结构及MEMS麦克风封装结构
本专利技术属于声电转换
，具体地，涉及一种用于MEMS器件的防尘结构及MEMS麦克风封装结构。
技术介绍
随着电声技术的快速发展，各种电声产品层出不穷。麦克风作为一种将声音信号转换为电信号的换能器件，是电声产品中非常重要的器件之一。如今，麦克风已经被广泛应用于手机、平板电脑、笔记本电脑、VR设备、AR设备以及智能穿戴等多种不同类型的电子产品中。近年来，对于麦克风封装结构的设计成为了本领域技术人员研究的重点和热点。现有的麦克风封装结构通常为：包括具有容纳腔的外壳，在容纳腔内收容固定有麦克风器件(例如，MEMS芯片和ASIC芯片)等元器件；并且，在外壳上还设置有声孔。因此，在长期的应用中发现，外界的灰尘、杂质等颗粒物和异物很容易经由声孔而被引入到麦克风的容纳腔中，这些外界的颗粒物、异物会对容纳腔中的麦克风器件等元器件造成一定的损伤，并且最终会影响到麦克风的声学性能以及使用寿命。针对上述技术问题，目前所采用的解决方案通常是，在麦克风封装结构的声孔上设置相应的...
【技术保护点】
1.一种用于MEMS器件的防尘结构，其特征在于，包括：/n网格膜，所述网格膜具有固定连接区、缓冲区和透声区，所述缓冲区环绕在所述透声区周围，所述固定连接区环绕在所述缓冲区周围，所述固定连接区位于所述网格膜的边缘，所述缓冲区上开设有贯穿所述网格膜的通孔；/n载体，所述载体具有贯通的开口，所述载体连接在所述固定连接区的一侧，所述开口与所述缓冲区和透声区的位置相对应。/n
【技术特征摘要】
1.一种用于MEMS器件的防尘结构，其特征在于，包括：
网格膜，所述网格膜具有固定连接区、缓冲区和透声区，所述缓冲区环绕在所述透声区周围，所述固定连接区环绕在所述缓冲区周围，所述固定连接区位于所述网格膜的边缘，所述缓冲区上开设有贯穿所述网格膜的通孔；
载体，所述载体具有贯通的开口，所述载体连接在所述固定连接区的一侧，所述开口与所述缓冲区和透声区的位置相对应。
2.根据权利要求1所述的防尘结构，其特征在于，所述透声区采用隔离网制成，所述隔离网被配置为供声音穿过。
3.根据权利要求2所述的防尘结构，其特征在于，所述隔离网为有机材料无纺布或金属筛网。
4.根据权利要求1所述的防尘结构，其特征在于，所述缓冲区上开设有多个所述通孔，多个所述通孔沿着环绕所述透声区的区域均匀分布。
5.根据权利要求1所述的防尘结构，其特征在...
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